Universidade Estadual de Campinas Instituto de Qu´ımica ...

More documents

Recommendations

Info

Lista de Tabelas 1.1 Alumina Anódica: CaracterísticasGerais................... 50 2.1 Processo de oxidação úmida a 1000 o C .................... 74 2.2 Processo de recozimento e oxidação úmida a 1000 o C ............ 79 2.3 Processo de oxidaçãodeporta,fonteedreno................. 81 3.1 Características elétricas e concentração inicial de impurezas nos substratos de Si ................................... 104 3.2 Perfil do processo de implantação de 31 P + e caracteristicas elétricas das lâminasdeSi................................... 107 3.3 Características geométricas da alumina anódica produzida sobre a porta dostransistores.................................. 113 3.4 Resultados dos coeficientes de textura calculados para os planos crista- lográficos de Ag e Au observados na Figura 3.24 . . . . . . . . . . . . . . . 132 3.5 Características elétricas de fonte e dreno durante o efeito pinch-off. . . . . 137 3.6 Características elétricas gerais dos transistores controle (MOSFETs). . . . 139 xxviii
Sumário 1 INTRODUÇÃO 1 1.1 A Miniaturização e os Microssistemas .................. 6 1.1.1 Os microssensores .......................... 9 1.1.2 ISFETs e MOSFETs ........................ 11 1.2 ISFETs: Arquitetura e a Física do Estado Sólido ........... 13 1.2.1 Geometria vs propriedades elétricas ............... 14 1.2.2 Oóxido de porta e a performance do transistor ....... 15 1.2.3 ISFETs: Isolamento ......................... 16 1.2.4 ISFET: Conceitos físicos ...................... 17 1.2.5 Onível de Fermi e os potenciais de interface ......... 23 1.3 Propriedades Elétricas: A Função Trabalho nos FETs ....... 29 1.4 Transistores de Efeito Campo - Modo de Operação ......... 33 1.5 Como Modular a Função Trabalho de um ISFET .......... 36 1.6 Nanoestruturas Metálicas Como Nanoeletrodos de Porta ..... 38 1.6.1 Nanoestruturas metálicas: propriedades elétricas gerais .. 40 1.6.2 Propriedades gerais de superfície ................. 44 xxix
Page 1 and 2: Universidade Estadual de Campinas I
Page 3 and 4: Agradecimentos Ao Instituto de Qu
Page 5 and 6: DEDICO ESTA DISSERTAÇÃO aos meus
Page 7 and 8: 2003-2004 Universidade Regional de
Page 9 and 10: Resumo Título : Desenvolvimento de
Page 11 and 12: Lista de Figuras 1.1 Prognóstico d
Page 13 and 14: 2.7 Evaporadora térmica (Edwards)
Page 15 and 16: 3.13 Imagem superficial de SiO2 (55
Page 17 and 18: 3.26 (a) Conjunto de transistores d
Page 19: 3.34 Detecção de glutationa (GSH)
Page 23 and 24: 3.2.1 A escolha da orientação cri
Page 25 and 26: INTRODUÇÃO O desenvolvimento de t
Page 27 and 28: Além destes, existem ainda os sens
Page 29 and 30: diversos microcomponentes, otimizan
Page 31 and 32: 1.1.1 Os microssensores História H
Page 33 and 34: sistores de efeito de campo, abriu
Page 35 and 36: dreno. A primeira aplicação para
Page 37 and 38: MOSFET, as dimensões de fonte e dr
Page 39 and 40: Para tanto, ”trilhas”de algum m
Page 41 and 42: dos preenchidos, o material não ap
Page 43 and 44: atribuída aos elétrons n em Ec, o
Page 45 and 46: VA resultam numa variação do nív
Page 47 and 48: Fisicamente, na fase sólida a dife
Page 49 and 50: sólido é dada por ¯µi = µi + z
Page 51 and 52: 1.3 Propriedades Elétricas: A Fun
Page 53 and 54: curvarão ainda mais para baixo, de
Page 55 and 56: planasejaalcançada, um potencial c
Page 57 and 58: estabelecido. A condutância (gm) n
Page 59 and 60: somente pela modulação de VT . Ad
Page 61 and 62: se como ferramentas alternativas e
Page 63 and 64: dutância elétrica (G) através de
Page 65 and 66: Fisicamente, o comprimento de Debye
Page 67 and 68: e portanto sua reatividade é esper
Page 69 and 70: Figura 1.14: Estrutura geral de uma
Page 71 and 72:
seja condutor, como no caso da elet
Page 73 and 74:
amostras contendo as espécies de i
Page 75 and 76:
CAPÍTULO 2 EXPERIMENTAL 53 1
Page 77 and 78:
2.2.1 Oxidação Aoxidação térmi
Page 79 and 80:
uma estrutura amorfa, e portanto, n
Page 81 and 82:
de campo escuro apresentam seus pad
Page 83 and 84:
Tipos de Dopagem Difusão Térmica
Page 85 and 86:
modo de funcionamento. Figura 2.5:
Page 87 and 88:
apenas em uma pequena profundidade
Page 89 and 90:
impurezas que podem estar no ambien
Page 91 and 92:
Figura 2.8: Representação esquem
Page 93 and 94:
Etapa II Esta etapa consiste no uso
Page 95 and 96:
do substrato. Desta maneira, a impl
Page 97 and 98:
tribuição do polímero fotosensí
Page 99 and 100:
mais 10 minutos. Na sequência as l
Page 101 and 102:
de íons. Em seguida, realizou-se o
Page 103 and 104:
para assegurar que todo o TCE utili
Page 105 and 106:
40 segundos a 4000 rpm. Nesta veloc
Page 107 and 108:
de uma solução mista de AgNO3 100
Page 109 and 110:
Feito esta e após os processos de
Page 111 and 112:
CAPÍTULO 3 RESULTADOS E DISCUSSÃO
Page 113 and 114:
Figura 3.1: (a) Ilustração geral
Page 115 and 116:
Figura 3.3: Segunda máscara empreg
Page 117 and 118:
Figura 3.7: Sexta máscara empregad
Page 119 and 120:
Figura 3.9: a) Sobreposição do la
Page 121 and 122:
Onde os termos VFB, κ, NA,D, ni co
Page 123 and 124:
Tabela 3.1: Características elétr
Page 125 and 126:
da lâmina foi realizada proposital
Page 127 and 128:
Observando-se os valores destes, ve
Page 129 and 130:
É importante destacar que a qualid
Page 131 and 132:
Figura 3.14: Imagens de microscopia
Page 133 and 134:
Figura 3.15: Morfologia da camada d
Page 135 and 136:
O estresse mecânico e a organizaç
Page 137 and 138:
Figura 3.17: Imagem de MEV da camad
Page 139 and 140:
de nanopartículas de Ag com diâme
Page 141 and 142:
propriedades ópticas diferentes da
Page 143 and 144:
detecção de macromoléculas biol
Page 145 and 146:
Crescimento Dois aspectos important
Page 147 and 148:
Nas Figuras 3.24 (a) e (b) são mos
Page 149 and 150:
interações de van der Waals e con
Page 151 and 152:
Tabela 3.4: Resultados dos coeficie
Page 153 and 154:
de transistores. Nas Figuras 3.26 (
Page 155 and 156:
Figura 3.27: Curvas de ID xVDS com
Page 157 and 158:
Figura 3.29: Curva de ID xVGS com V
Page 159 and 160:
é, quanto maior esta, maior mobili
Page 161 and 162:
Esta diferença é explicada nos me
Page 163 and 164:
Figura 3.32: Detecção de pH com o
Page 165 and 166:
levar à corrosão e portanto forma
Page 167 and 168:
Figura 3.33: Estrutura molecular de
Page 169 and 170:
característica observada em todas
Page 171 and 172:
comprimento de Debye foi estimado e
Page 173 and 174:
4. CONCLUSÕES • A configuração
Page 175 and 176:
nanoestruturas de Ag e Au, nos quai
Page 177 and 178:
5. TRABALHOS FUTUROS • Como etapa
Page 179 and 180:
Referências Bibliográficas [1] B.
Page 181 and 182:
[14] K. D. Wise, J. B. Angell, A. S
Page 183 and 184:
[31] A. Huczko, Template-based synt
Page 185 and 186:
[45] S. R. Ekanayake, M. B. Cortie,
Page 187 and 188:
[60] F. Patolsky, G. Zheng, O. Hayd
Page 189 and 190:
[77] T. Fujimoto, S. Terauchi, H. U
Page 191:
[92] A. Poghossian, M. H. Abouzar,
show all

Universidade Estadual de Campinas Instituto de Qu´ımica ...

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

Delete template?

Save as template?