Universidade Estadual de Campinas Instituto de Qu´ımica ...

que a região contendo os dopantes do tipo p (substrato) apresentasse coloração escura,
enquanto a região contendo os dopantes do tipo n permanecesse clara. Esta diferença de
tonalidade permitiu então com o auxílio do equipamento Philtec 2015 Sectioner, determi-
nar os pontos 1, 2, 3, 4 e através destes as distâncias ’a’ e ’b’ mostradas na ilustração 3.12.
A partir destes então calculou-se o valor de Xj utilizando-se a seguinte relação:
Xj = a2 − b 2
2R
(Eq.26)
onde R representa o raio do disco usado no desbaste mecânico. A resistência de folha
neste caso foi calculada conforme o procedimento descrito anteriormente e utilizando-se a
equação 24. A resistividade das lâminas foi determinada utilizando-se a Equação 23. Os
resultados destas são mostrados na Tabela 3.2.
Figura 3.12: Processo utilizado na determinação de Xj.
Tabela 3.2: Perfil do processo de implantação de 31 P + e caracteristicas elétricas das lâminas
de Si.
Xj(µm) (V/I)(Ω) Rs(Ω) ρ(mΩ.cm)
1.9 0.42 0.19 6.8
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