Universidade Estadual de Campinas Instituto de Qu´ımica ...

onde t representa a espessura das lâminas utilizadas, neste caso esta foi de 325 µm, (V/I)
aresistência das mesmas e o valor de 4,53 é um fator de correção inerente ao método de
medida de resistência por quatro pontas 23 . Este último, éométodo mais comum e o mais
bem conceituado para a medida de resistividade, pois nele quatro pontas de tungstênio são
igualmente espaçadas lado a lado, onde duas destas (pontas externas) servem para aplicar
uma corrente (I) constante, enquanto que as outras duas (pontas internas) medem a tensão
(V) gerada por essa corrente. Este método é mais acurado que o de duas pontas, uma vez
que este último apresenta interferências de contato e propagação de corrente durante as
medidas.
A partir do valor da resistividade, calculou-se então o valor da resistência de folha,
também conhecida como a resistência de substratos finos uniformes, utilizando-se para
tanto a seguinte equação 23 :
Rs = ρ
t
(Eq.24)
A concentração inicial de impurezas foi determinada através da equação 25 23 :
NA,D = 1
qρµp,n
(Eq.25)
Nesta, os termos q, µp,n representam a carga do elétron e a mobilidade das lacunas que
é de aproximadamente 435 cm 2 /V.s, respectivamente. Na Tabela 3.1 são mostrados os
resultados destes.
Conforme esta, o valor de resistividade encontrada está dentro da faixa fornecida pelo
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