Universidade Estadual de Campinas Instituto de Qu´ımica ...

1.10 Ilustração demonstrando a similaridade em tamanho de espécies químicas,
biológicas e materiais em escala nanoestruturada. . . . . . . . . . . . . . . 39
1.11 Características geométricas e confinamento em nanofios com dimensões de
Dmenoresque10nm. ............................. 41
1.12 Dependência da condutância em função do comprimento de Debye em uma
estrutura com dimensões nanoscópicas. .................... 43
1.13 Arranjo atômico nos três principais planos cristalográficos em uma estrutura
CFC........................................ 44
1.14 Estrutura geral de uma camada de alumina crescida anódicamente sobre um
substrato de alumínio. Os termos δ eld correspondem a espessura de uma
camada barreira criada durante a anodização e a altura dos poros formados,
respectivamente. ................................ 47
2.1 Representação de um forno térmicoconvencional............... 56
2.2 Forno de oxidação convencional disponívelnoCCS. ............. 57
2.3 Fotoalinhadora Karl Suss MJB 3 com uma lâmpada de Hg de 200 W e λ
de 405 nm equipada com um microscópio SUSS M 204. . . . . . . . . . . . 59
2.4 Ilustração do processo de litografia óptica empregando-se resinas positivas
enegativas. ................................... 61
2.5 (a) Implantador de íons GA-4204 EATON disponível no CCS.(b) Esquema
descrevendo o funcionamento de um implantador de íons........... 64
2.6 Redes cristalinas das orientações , ), e rotação da
e efeito da canalização dos íons..................... 65
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