Universidade Estadual de Campinas Instituto de Qu´ımica ...
Universidade Estadual de Campinas Instituto de Qu´ımica ...
Universidade Estadual de Campinas Instituto de Qu´ımica ...
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Figura 3.5: Quarta máscara empregada na fabricação dos transistores. No canto esquerdo<br />
superior um <strong>de</strong>talhe da máscara. Abaixo uma foto <strong>de</strong> um <strong>de</strong>talhe <strong>de</strong>sta. No esquerdo<br />
inferior é mostrado uma sobreposição <strong>de</strong>sta com as três anteriores.<br />
recoberta com a fotoresina, ficando exposta apenas as regiões <strong>de</strong> porta.<br />
Figura 3.6: Quinta máscara empregada na fabricação dos transistores. No canto esquerdo<br />
superior um <strong>de</strong>talhe da máscara. Abaixo uma foto <strong>de</strong> um <strong>de</strong>talhe <strong>de</strong>sta. No esquerdo<br />
inferior é mostrado uma sobreposição <strong>de</strong>sta com as quatro anteriores.<br />
Aquintamáscara agora, étambém chamada <strong>de</strong> máscara <strong>de</strong> interconexões, pois foi<br />
com ela que <strong>de</strong>finiu-se as trilhas e as regiões<strong>de</strong>contatoelétrico para fonte e dreno. A<br />
sexta máscara por sua vez foi <strong>de</strong>signada para <strong>de</strong>finir as regiões <strong>de</strong> porta e contatos. Pois<br />
após a formação das interconexões,todaalâmina seria recoberta com Si3N4 para fins <strong>de</strong><br />
isolar-se os dispositivos. Por fim a última máscara foi <strong>de</strong>senhada para a formação futura<br />
<strong>de</strong> microcanais que conduzirão as espécies a serem <strong>de</strong>tectadas somente sobre a porta dos<br />
97