Universidade Estadual de Campinas Instituto de Qu´ımica ...
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Feito esta e após os processos <strong>de</strong> pós-cura, as regiões expostas foram corroídas àtem-<br />
peratura ambiente utilizando-se uma solução mista <strong>de</strong> H3PO4 e HNO3 concentrados na<br />
proporção <strong>de</strong> 95:5, respectivamente. As lâminas foram imersas e <strong>de</strong>ixadas nesta até que<br />
todo Al exposto fosse removido, este processo foi acompanhado através <strong>de</strong> um microscópio<br />
óptico. Depois <strong>de</strong>sta, a fotoresina AZ 1350 J foi removida através da limpeza orgânica.<br />
Éválido ressaltar que durante o processo <strong>de</strong> corrosão, as regiões <strong>de</strong> porta dos transis-<br />
tores contendo a alumina anódica e nanoestruturas <strong>de</strong> Ag e Au estavam protegidas com<br />
a fotoresina, assim, não houve dissolução por parte da solução ácida <strong>de</strong>stas conforme<br />
observações no MEV. Cumpridas estas etapas, os transistores estavam prontos para a<br />
caracterização elétrica e primeiros testes com soluções<strong>de</strong>diferentespHsesoluções com<br />
amostras <strong>de</strong> interesse biológico.<br />
Medidas Elétricas<br />
A caracterização elétrica dos transistores produzidos foi realizada utilizando-se um<br />
Semiconductor characterization system 4200 e um CV analyzer 590 da Keithley, equipado<br />
a um microscópio <strong>de</strong> alta performance Microzoom II (Cambridge Instruments) e acoplado<br />
a um micromanipulador mo<strong>de</strong>lo 600 (MM). As medidas foram executas à temperatura<br />
ambiente na presença <strong>de</strong> luz. Para as primeiras medidas <strong>de</strong> líquidos sobre os ISFETs,<br />
soluções <strong>de</strong> tampão fosfato 20 mmol/L contendo NaCl 100 mmol/L com diferentes valores<br />
<strong>de</strong> pH foram utilizadas. Estas medidas foram todas também realizadas à temperatura am-<br />
biente. Como amostras <strong>de</strong> interesse biológico, foram utilizadas soluções <strong>de</strong> glutationa com<br />
diferentes concentrações. O isolamento dos dispositivos foi realizado com a fotoresina AZ<br />
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