Universidade Estadual de Campinas Instituto de Qu´ımica ...

químico descrito nas etapas anteriores.
Metalização
Para formação dos contatos elétricos, realizou-se a evaporação de alumínio sobre as
lâminas utilizando-se a técnica de deposição por feixe de elétrons que garantiu assim um
alumínio de alta pureza sobre estas (Figura 2.8(j)). A deposição foi conduzida em uma
evaporadora da marca Edwards ajustando-se os seguintes parâmetros:
Pressão na base = 3 x 10 −7 mbar
Taxa de deposição = 12 nm/min
Corrente do feixe = 180 mA
Temperatura de deposição = 25 o C
Aevaporação foi interrompida com 400 segundos, o que rendeu uma camada de alumínio
com espessura de 80 nm.
Quarta etapa de litografia e definição das regiões de anodização
Na sequência, realizou-se o quarto processo de litografia que teve a finalidade de definir
regiões de porta a serem anodizadas em uma etapa posterior. Para tanto, o processo de
litografia agora foi conduzido utilizando-se a fotoresina AZ-4620, a qual permite com
que maiores espessuras do polímero possam ser alcançadas após sua deposição e ainda
assegurar assim que durante a anodização apenas as regiões expostas fossem anodizadas.
Desta maneira, cerca de 6 gotas de AZ-4620 foram depositadas sobre as lâminas em sala
limpa (classe 100) com umidade relativa de 53 %, e então rotacionadas num spinner por
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