Universidade Estadual de Campinas Instituto de Qu´ımica ...

para assegurar que todo o TCE utilizado anteriormente fosse eliminado. Adicionalmente,
as lâminas foram expostas a N2 (passos 6 e 7) para corrigir e eliminar possíveis cargas
presas no óxido, bem como para garantir a reconstrução da rede cristalina das lâminas.
Terminado este processo, mediu-se as espessuras do óxido utilizando-se um elipsômetro.
Terceira etapa de litografia e corrosão do óxido das regiões de fonte e dreno
O terceiro processo de fotolitografia para a definição de canal (porta) e contatos (fonte
e dreno), foi então realizado. As condições experimentais deste foram as mesmas realizadas
nas etapas de litografia anteriores, com a excessão que nesta a fotoresina utilizada foi o
AZ 5214-E, a qual após 30 segundos à 7000 rpm rendeu uma camada de polímero de
aproximadamente 1,4 µm de espessura sobre as lâminas. O processo de pré-cura desta foi
realizado em chapa de aquecimento a 100 o C durante 60 segundos e seu tempo de exposição
na fotoalinhadora foi de 25 segundos. A revelação foi também executada utilizando o
revelador AZ 312 MIF diluído em águanaproporção de 1:1. Ressalva-se que a utilização
desta fotoresina que também é positiva e não a da AZ 1350 J, foi devido a sua melhor
resolução, ou seja, como a região da porta deveria ser protegida com o polímero, este deve
apresentar uma espessura muito fina após o processo de rotação no spinner, espessura tal,
que somente éalcançada utilizando-se o AZ 5214-E. Após estas, realizou-se um processo de
pós-cura. Este processo foi executado colocando-se as lâminas numa chapa de aquecimento
a 120 o C durante 60 segundos. Esse procedimento foi necessário para melhorar a aderência
e a resistência mecânica e química da fotoresina. O próximo passo consistiu na corrosão
do óxido sobre os contatos de fonte e dreno. Para tanto, repetiu-se o mesmo processo
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