先进氮化专家系统的应用 - Stange Elektronik GmbH

软 件 包 括 STANGE 氮 化 专 家 系 统 , 其 中 含 有 传 统 渗 氮 专 家 模 块 、 氮 碳 共 渗 专 家 模 块 、 后 氧 化 专 家 模 块 及 渗 氮 层 深 模块 等 。氢 探 头 在 线 检 测 气 氛 氢 含 量 , 由 SE-607 控 制 器 中 的 专 家 模 块 计 算 出 对 应 的 氮 势 Kn, 根 据 闭 环 控 制 原 理 , 依 据 氮 势偏 差 控 制 器 实 时 计 算 出 所 需 的 各 种 气 氛 的 流 量 (NH3、 裂 解 NH3、CO2,N2), 并 驱 动 对 应 的 MFC( 质 量 流 量 控 制 器 ) 来精 确 调 节 各 气 体 的 质 量 流 量 , 使 实 际 氮 势 和 设 定 值 保 持 一 致 。 氮 化 专 家 模 块 包 括 :1) 传 统 渗 氮 预 先 计 算 专 家 模 块 : 以 Lehrer 相 图 为 理 论 基 础 , 显 示 传 统 渗 氮 过 程 中 氮 势 Kn 和 温 度 及 气 体 流 量 的 关系 , 帮 助 实 现 传 统 渗 氮 工 艺 预 先 设 定 和 氮 势 Kn 在 线 控 制 。图 二 :Lehrer 相 图Fig. 2 Lehrer Phase Diagram2) 氮 碳 共 渗 预 先 计 算 专 家 模 块 : 以 Kunze 相 图 为 理 论 基 础 , 显 示 氮 碳 共 渗 过 程 中 氮 势 Kn、 温 度 、 气 体 流 量 和Kc( 水 煤 气 反 应 中 的 碳 势 ) 的 关 系 , 帮 助 实 现 氮 碳 共 渗 工 艺 预 先 设 定 和 氮 势 Kn 在 线 控 制 。图 三 :Kunze 相 图Fig. 3 Kunze Phase Diagram3) 后 氧 化 专 家 模 块 : 以 Berg 相 图 为 理 论 基 础 , 显 示 后 氧 化 过 程 中 , 温 度 和 氧 探 头 的 毫 伏 信 号 之 间 的 最 佳 匹 配 ,帮 助 后 氧 化 工 艺 预 先 设 定 。