Листа на стоки и технологии со двојна употреба
Листа на стоки и технологии со двојна употреба
Листа на стоки и технологии со двојна употреба
- No tags were found...
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
втората алатка <strong>и</strong> <strong>на</strong> третата алатка <strong>со</strong> автоматско полнење <strong>на</strong>централн<strong>и</strong>те с<strong>и</strong>стем<strong>и</strong> за ракување <strong>со</strong> плочка <strong>со</strong> повеќекомотр<strong>и</strong>.f. Опрема за л<strong>и</strong>тограф<strong>и</strong>ја, како што следува:1. Опрема за порамнување <strong>и</strong> фаза <strong>на</strong> експоз<strong>и</strong>ц<strong>и</strong>ја <strong>и</strong>повторување (д<strong>и</strong>рект<strong>на</strong> фаза <strong>на</strong> плочката), <strong>и</strong>л<strong>и</strong> чекор <strong>и</strong>скен<strong>и</strong>рање, <strong>со</strong> кор<strong>и</strong>стење фотоопт<strong>и</strong>чк<strong>и</strong> метод<strong>и</strong> <strong>и</strong>л<strong>и</strong>рендгенск<strong>и</strong> зрац<strong>и</strong> <strong>и</strong> <strong>и</strong>ма ко<strong>и</strong> б<strong>и</strong>ло од следн<strong>и</strong>ве о<strong>со</strong>б<strong>и</strong>н<strong>и</strong>:a. Извор <strong>на</strong> светл<strong>и</strong><strong>на</strong> <strong>со</strong> бранова долж<strong>и</strong><strong>на</strong> пократка од 245nm; <strong>и</strong>л<strong>и</strong>b. Можност за пр<strong>и</strong>зводство <strong>на</strong> шаблон <strong>со</strong> ‘м<strong>и</strong>н<strong>и</strong>мумразреше<strong>на</strong> карактер<strong>и</strong>ст<strong>и</strong>ка’ (MRF) <strong>со</strong> голем<strong>и</strong><strong>на</strong> од 95 nm<strong>и</strong>л<strong>и</strong> помала;Техн<strong>и</strong>чка збелешка:Голем<strong>и</strong><strong>на</strong>та <strong>на</strong> ‘м<strong>и</strong>н<strong>и</strong>мум разреше<strong>на</strong> карактер<strong>и</strong>ст<strong>и</strong>ка’ (MRF)се пресметува според след<strong>на</strong>ва формула:( бранова долж<strong>и</strong><strong>на</strong> <strong>на</strong> <strong>и</strong>зворот <strong>на</strong> <strong>и</strong>зложувачка светл<strong>и</strong><strong>на</strong>)× ( фактор К)МРФ =нумер<strong>и</strong>чк<strong>и</strong> отворкаде фактор K = 0,352. Л<strong>и</strong>тографска опрема за от<strong>и</strong><strong>со</strong>к спо<strong>со</strong>б<strong>на</strong> за про<strong>и</strong>зводство<strong>на</strong> карактер<strong>и</strong>ст<strong>и</strong>к<strong>и</strong> од 95 nm <strong>и</strong>л<strong>и</strong> помалку;Забелешка: 3B001.f.2. опфаќа:— М<strong>и</strong>кроконтактн<strong>и</strong> алатк<strong>и</strong> за печатењеТопл<strong>и</strong> алатк<strong>и</strong> за релјеф— Л<strong>и</strong>тографск<strong>и</strong> алатк<strong>и</strong> за <strong>на</strong>но-от<strong>и</strong><strong>со</strong>ц<strong>и</strong>— Чекор<strong>и</strong> <strong>и</strong> <strong>и</strong>нструмент<strong>и</strong> за бл<strong>и</strong>ц Л<strong>и</strong>тографскопечатење (S-FIL)3. Опрема посебно проект<strong>и</strong>ра<strong>на</strong> за <strong>и</strong>зработка <strong>на</strong> маск<strong>и</strong> <strong>и</strong>л<strong>и</strong> заобработка <strong>на</strong> полупроводн<strong>и</strong>чк<strong>и</strong> уред<strong>и</strong> <strong>со</strong> <strong>употреба</strong> <strong>на</strong>метод<strong>и</strong> <strong>на</strong> п<strong>и</strong>шување, ко<strong>и</strong> г<strong>и</strong> <strong>и</strong>маат следн<strong>и</strong>ве о<strong>со</strong>б<strong>и</strong>н<strong>и</strong>:a. Со кор<strong>и</strong>стење <strong>на</strong> отстапка <strong>на</strong> фокус<strong>и</strong>ран електрон<strong>и</strong>207
Change language