12.07.2015 Views

Листа на стоки и технологии со двојна употреба

Листа на стоки и технологии со двојна употреба

Листа на стоки и технологии со двојна употреба

SHOW MORE
SHOW LESS
  • No tags were found...

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.

a. Пулс<strong>и</strong>рачк<strong>и</strong> CVD;b. Контрол<strong>и</strong>рано топлотно таложење <strong>на</strong> јадра <strong>на</strong>кр<strong>и</strong>стал<strong>и</strong>зац<strong>и</strong>ја (CNTD); <strong>и</strong>л<strong>и</strong>c. CVD збогатено <strong>со</strong> плазма <strong>и</strong>л<strong>и</strong> <strong>со</strong> помош <strong>на</strong> плазма; <strong>и</strong>2. Која г<strong>и</strong> <strong>и</strong>ма с<strong>и</strong>те следн<strong>и</strong> о<strong>со</strong>б<strong>и</strong>н<strong>и</strong>:a. Рот<strong>и</strong>рачк<strong>и</strong> запт<strong>и</strong>вк<strong>и</strong> за в<strong>и</strong><strong>со</strong>к вакуум (ед<strong>на</strong>ков <strong>и</strong>л<strong>и</strong> помалод 0,01 Pa); <strong>и</strong>л<strong>и</strong>b. Контрола <strong>на</strong> дебел<strong>и</strong><strong>на</strong>та <strong>на</strong> горн<strong>и</strong>от слој <strong>на</strong> самото место;b. Про<strong>и</strong>зводстве<strong>на</strong> опрема која служ<strong>и</strong> за јонска <strong>и</strong>мплантац<strong>и</strong>ја <strong>на</strong>струја <strong>со</strong> млаз од 5 mA <strong>и</strong>л<strong>и</strong> повеќе;c. Про<strong>и</strong>зводстве<strong>на</strong> опрема која служ<strong>и</strong> за ф<strong>и</strong>з<strong>и</strong>чко таложење одгас<strong>на</strong> фаза <strong>со</strong> сноп <strong>на</strong> електрон<strong>и</strong> (EB-PVD), заедно <strong>со</strong> погонск<strong>и</strong>с<strong>и</strong>стем<strong>и</strong> <strong>со</strong> јач<strong>и</strong><strong>на</strong> <strong>на</strong>д 80 kW, која <strong>и</strong>ма ко<strong>и</strong> б<strong>и</strong>ло од следн<strong>и</strong>веелемент<strong>и</strong>:1. „Ласерск<strong>и</strong>“ с<strong>и</strong>стем за контрола <strong>на</strong> н<strong>и</strong>вото <strong>на</strong> течност ворезервоарот, <strong>со</strong> кој прец<strong>и</strong>зно се регул<strong>и</strong>ра брз<strong>и</strong><strong>на</strong>та <strong>на</strong>поместување <strong>на</strong> <strong>и</strong>нгот<strong>и</strong>те; <strong>и</strong>л<strong>и</strong>2. Компјутерск<strong>и</strong> контролен уред кој работ<strong>и</strong> <strong>на</strong> пр<strong>и</strong>нц<strong>и</strong>п <strong>на</strong>фотолум<strong>и</strong>н<strong>и</strong>сценц<strong>и</strong>ја <strong>на</strong> јон<strong>и</strong>з<strong>и</strong>ран<strong>и</strong> атома во струењето <strong>на</strong><strong>и</strong>спарувач<strong>и</strong>те <strong>со</strong> цел контрола <strong>на</strong> брз<strong>и</strong><strong>на</strong>та <strong>на</strong> таложење <strong>на</strong>горн<strong>и</strong>от слој кој <strong>со</strong>држ<strong>и</strong> два <strong>и</strong>л<strong>и</strong> повеќе елемент<strong>и</strong>;d. Про<strong>и</strong>зводстве<strong>на</strong> опрема која служ<strong>и</strong> за распрскување <strong>на</strong> плазма,која <strong>и</strong>ма која б<strong>и</strong>ло од следн<strong>и</strong>ве о<strong>со</strong>б<strong>и</strong>н<strong>и</strong>:1. Работ<strong>и</strong> во контрол<strong>и</strong>ра<strong>на</strong> атмосфера <strong>со</strong> <strong>на</strong>мален пр<strong>и</strong>т<strong>и</strong><strong>со</strong>к(ед<strong>на</strong>ков <strong>и</strong>л<strong>и</strong> помал од 10 kPa, мерено <strong>на</strong>д <strong>и</strong> <strong>на</strong> растојан<strong>и</strong>е од300 mm од <strong>и</strong>злезот <strong>на</strong> вшпр<strong>и</strong>цувачот од п<strong>и</strong>штолот), вовакуумска комора која може да пост<strong>и</strong>гне пр<strong>и</strong>т<strong>и</strong><strong>со</strong>к до0,01 Pa пред проце<strong>со</strong>т <strong>на</strong> вшпр<strong>и</strong>цување; <strong>и</strong>л<strong>и</strong>2. Контрола <strong>на</strong> дебел<strong>и</strong><strong>на</strong>та <strong>на</strong> горн<strong>и</strong>от слој <strong>на</strong> самото место;е. Про<strong>и</strong>зводстве<strong>на</strong> опрема која служ<strong>и</strong> за таложење <strong>со</strong>распрскување, <strong>со</strong> густ<strong>и</strong>н<strong>и</strong> <strong>на</strong> струја од 0,1 mA/mm 2 <strong>и</strong>л<strong>и</strong>поголем<strong>и</strong>, <strong>со</strong> брз<strong>и</strong><strong>на</strong> <strong>на</strong> таложење од 15 μm/h <strong>и</strong>л<strong>и</strong> поголема;f. Про<strong>и</strong>зводстве<strong>на</strong> опрема која служ<strong>и</strong> за таложење <strong>со</strong> помош <strong>на</strong>катоден лак, <strong>со</strong> електромагнет<strong>на</strong> мрежа за управување <strong>со</strong>132

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!