utilrap2008. - Aandrijvenenbesturen.nl
utilrap2008. - Aandrijvenenbesturen.nl
utilrap2008. - Aandrijvenenbesturen.nl
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
32<br />
STW-projecten 1997 / Utilisatierapport STW 2008<br />
SILICON DRIFT SENSORS<br />
RELIABILITY OF MICROMECHANICAL<br />
STRUCTURES; TECHNOLOGY,<br />
DESIGN AND 1ST LEVEL PACKAGING<br />
IDENTIFICATION AND PREDICTIVE<br />
CONTROL OF NON-LINEAR SYSTEMS<br />
IN THE PROCESS INDUSTRY<br />
03736<br />
BBA<br />
03780<br />
ABA<br />
03891<br />
BAA<br />
projectleider Prof.dr.ir. C.W.E. van Eijk totale toewijzing in<br />
projectleider Dr.ir. A. Bossche<br />
totale toewijzing in euro<br />
projectleider Prof.dr.ir. M.H.G. Verhaegen<br />
totale toewij-<br />
euro 412.715,00 contracten Bijdrage: Bruker<br />
Nonius BV; Philips Analytical BV inkomsten in euro<br />
77.142,63<br />
433.551,33<br />
zing in euro 436.539,33<br />
doelstelling Ontwikkeling van Silicon drift-sensoren<br />
(SDD) voor de detectie van laag-energetische<br />
Röntgen-straling, geladen deeltjes en licht. Deze<br />
sensoren geven zeer nauwkeurige positie-informatie<br />
(1D of 2D) uit de tijdspanne die elektronen, vrijgemaakt<br />
op de plaats van interactie met de straling,<br />
nodig hebben om naar de collector-elektrode te<br />
driften. De zeer lage capaciteit van de sensor<br />
levert een extreem goede signaal/ruis verhouding.<br />
Toepassingen zijn bijvoorbeeld röntgendiffractie voor<br />
materiaal-analyses, medische diagnostiek en in de<br />
hoge-energie fysica. Gebruikers zijn producenten van<br />
allerlei apparatuur voor element- en structuur-analyse.<br />
resultaat na 5 jaar<br />
Het productieproces voor de SDD<br />
is geoptimaliseerd en uitgebreid met een integratiestap<br />
voor de versterker. De ruisbronnen zijn<br />
gekarakteriseerd. De energieresolutie is echter<br />
nog beperkt, hoewel de oorzaken inmiddels zijn<br />
geïdentificeerd. Het onderzoek naar verbetering van<br />
de resolutie loopt nog, thans in samenwerking met<br />
een Fins bedrijf.<br />
resultaat na 10 jaar<br />
Er zijn geen verdere gegevens bekend.<br />
gebruiker(s)<br />
Bruker AXS BV, Delft / PANalytical BV,<br />
Almelo / Philips Research Europe - Eindhoven /<br />
Rijksuniversiteit Groningen / Technische Universiteit<br />
Delft<br />
doelstelling De afgelopen jaren heeft de ontwikkeling<br />
van MEMS (microelectromechanical systems) een<br />
stormachtig verloop gekend. Over hun betrouwbaarheid<br />
is echter nog weinig bekend. Dit onderzoek is<br />
gericht op: (1) Het bestuderen van de betrouwbaarheid<br />
van druksensoren, versnellingssensoren en resonatoren.<br />
(2) Onderzoek naar packaging technieken.<br />
resultaat na 5 jaar<br />
De lange-termijnstabiliteit van<br />
resonatoren is bestudeerd. De resultaten wijzen er<br />
op dat depositie van een dunne oxidelaag op de<br />
siliciumnitridebalkjes de door oxidatie veroorzaakte<br />
verstijving tegengaat. Een sensor is ontwikkeld die<br />
kleine stofdeeltjes in lucht kan meten. Verder is een<br />
nieuwe etsmethode ontwikkeld voor de fabrikage van<br />
micromechanische structuren en sensoren. Groot<br />
voordeel van deze methode is het gebruik van slechts<br />
één etsstap, zonder gebruik te maken van een hoge<br />
dotering, externe elektroden en speciale etshouders.<br />
resultaat na 10 jaar<br />
Een andere uitkomst van het<br />
project was dat bij micro-mechanische structuren<br />
(dunner dan 1 micrometer) oppervlakteeffecten zoals<br />
adsorptie/de-adsorptie een grote invloed hebben op<br />
de stabiliteit en dus de betrouwbaarheid van deze<br />
structuren. Dit heeft geleid tot een vervolgonderzoek<br />
in het MicroNed project: Integrity of Microelectromechanical<br />
Systems, waarin nauwkerig gekeken gaat<br />
worden naar de fysiche processen die zich aan het<br />
oppervlak afspelen. Dit project loopt nog tot 2011.<br />
gebruiker(s)<br />
Gefran Sensori, Provaglio (Italië) / Melexis<br />
R&D Center, Tessenderlo (België) / Philips Research<br />
Europe, Eindhoven / Technische Universiteit Delft /<br />
Universiteit Twente, Enschede / Universiteit Utrecht /<br />
Xensor Integration BV, Delfgauw<br />
doelstelling In het project zijn methoden ontwikkeld<br />
om de procesindustrie in staat te stellen de huidige<br />
in gebruik zijnde Model Predictive Controller (MPC)<br />
schema’s uit te breiden voor belangrijke categorieën<br />
van niet-lineaire systemen. Deze systemen bevatten<br />
processen, die zelfs voor een beperkt bereik een<br />
niet-lineair gedrag vertonen alsook systemen die<br />
door een beter economisch gebruik niet-lineaire,<br />
dynamische transities ondergaan. Voorbeelden zijn<br />
hoge zuiverheid distillatiekolommen en bioreactoren.<br />
resultaat na 5 jaar<br />
Concrete initiatieven werden tijdens<br />
het project genomen om de relevantie te demonstreren<br />
in een industriële procesindustrie-context. Een<br />
van de genomen initiatieven werd uitgevoerd in<br />
samenwerking met Ipcos en betrof de schatting<br />
van de economische voordelen, die de ontwikkelde<br />
methoden konden hebben voor een hoge zuiverheid<br />
distillatiekolom. De onderzoeksresultaten hebben<br />
niet direct tot producten geleid. Echter ze hebben<br />
wel een stimulans gevormd om de Nederlandse<br />
MPC technologieontwerpers te helpen de richting<br />
te bepalen waarin productvernieuwingen ontwikkeld<br />
zullen worden.<br />
resultaat na 10 jaar<br />
Er is geen verdere informatie<br />
beschikbaar.<br />
gebruiker(s)<br />
DSM Engineering Plastics BV, Geleen /<br />
Esso Nederland BV, Botlek / IPCOS Technology BV,<br />
Boxtel / Tai-Ji Control, Eindhoven / Technische<br />
Universiteit Delft / TNO, Delft / Unilever R & D,<br />
Vlaardingen / Universiteit Twente, Enschede