大流量手动气体调压阀HF 系列(MS-02-157;rev_5;zh-CN) - Swagelok

大 流 量 、 手 动 气 体 调 压 阀 789
大 流 量 , 手 动
气 体 调 压 阀
HF 系 列
■ 结 构 设 计 紧 凑 , 流 量 达 200 std L/min
■ 最 大 进 口 压 力 达 500 psig (34.4 bar)
■ 手 动 可 调 的 出 口 压 力 达 150 psig (10.3 bar)
调 压 阀 / 过 滤 器
■ 316L VIM-VAR 不 锈 钢 阀 体 用 于 超 高 纯 应 用
■ 1/4 in. VCR ® 金 属 面 密 封 ;1/4 in. 卡 套 管 对 焊 ;
1.5 in. 和 1.125 in. 模 块 化 表 面 安 装 端 接

790 调 压 阀 / 过 滤 器
特 点
世 伟 洛 克 ® (Swagelok ® ) HF 系 列 手 动 气
体 调 压 阀 的 特 点 在 于 , 加 载 弹 簧 与 独 特 的
压 力 传 感 组 件 相 配 合 以 精 确 控 制 出 口 压
力 。 可 以 很 方 便 地 通 过 转 动 手 柄 调 节 出
口 压 力 。
■ 紧 凑 型 大 流 量 设 计 使 您 可 以 减 小 系 统
部 件 和 工 艺 管 线 的 间 隔 。
■ 创 新 压 力 传 感 组 件 采 用 焊 接 隔 膜 , 压 力
衰 减 低 , 在 许 多 系 统 中 都 不 必 调 节 。
■ 高 纯 设 计 采 用 连 接 式 提 升 阀 芯 来 实 现
可 靠 关 断 和 金 属 对 金 属 的 对 大 气 密 封 ,
同 时 还 采 用 了 内 表 面 电 抛 光 至
5 µin. (0.13 µm) R a 的 316L VIM-VAR
不 锈 钢 阀 体 。
1.5 in. 模 块 化 表 面
安 装 型
1.125 in. 模 块 化 表
面 安 装 型
带 有 卡 套 管 对 焊 端
接 的 直 线 型
直 线 型 和 1.5 in. 模 块 化 表 面 安 装 型
■ 流 量 达 200 std L/min
■ 可 提 供 的 出 口 压 力 范 围 为 真 空 至 150 psig (10.3 bar), 配 备 有
四 个 可 互 换 的 颜 色 编 码 加 载 弹 簧
■ 模 块 化 表 面 安 装 调 压 阀 与 IGC 兼 容 。
自 对 中 提 升 阀 芯
■ 使 蠕 变 减 至 最 小
■ 采 用 PCTFE 材 料 以 实 现 无 泄 漏 关 断 。
窄 型 手 柄
■ 当 系 统 元 件 与 工 艺 管 线 之 间 空 间 很 小 时 , 用 此 手 柄 更 容 易 进 行
压 力 调 节
■ 指 尖 抓 紧 及 外 表 面 滚 花 设 计 保 证 可 靠 操 作 。
1.125 in. 模 块 化 表 面 安 装 型
■ 用 于 1.125 in. C 形 和 W 形 密 封 集 成 气 体 系 统
■ 流 量 达 160 std L/min
■ 提 供 两 种 压 力 范 围 的 产 品 : 真 空 至 30 psig (2.0 bar)
和 真 空 至 60 psig (4.1 bar)。
压 力 传 感 组 件
■ 采 用 全 氟 弹 性 体 提 升 阀 芯 , 具 有 卓 越 的 锁 止 性 能 。
出 口 压 力 可 调
■ 通 过 手 柄 微 调 调 整 出 口 压 力 。
■ 可 选 的 防 篡 改 手 柄 使 用 户 可 以 设 定 和 密 封 出 口 压 力 。
技 术 数 据
调 压 阀 / 过 滤 器
型 号
直 线 型 和
1.5 in. 模 块 化 表
面 安 装
1.125 in. 模 块 化
表 面 安 装
压 力 额 定 值
psig (bar)
➀ 进 口 压 力 每 改 变 100 psi 时 出 口 压 力 的 改 变 值 。
➁ 进 口 压 力 100 psig (6.8 bar) 和 出 口 压 力 30 psig (2.0 bar)。
温 度 额 定 值
°C (°F)
进 口 出 口 工 作 灸 烤
真 空 至
500 (34.4)
真 空 至
150 (10.3)
真 空 至
150 (10.3)
真 空 至
60 (4.1)
–23 至 65
(–10 至 150)
0 至 150
(32 至 302)
150
(302)
0 至 150
(32 至 302)
供 压
效 应
(SPE)➀
流 量 系 数
(C v )
流
速 ➁
std L/min
1.6 0.2 200
1.5 0.1 160
孔 径
in. (mm)
0.120
(3.0)
0.090
(2.3)
内
容 积
in. 3 (cm 3 )
0.32 (5.2) 带
VCR 端 接
0.172 (2.8)

工 艺 规 范
大 流 量 、 手 动 气 体 调 压 阀 791
关 于 工 艺 过 程 , 工 艺 控 制 和 工 艺 验 证 的 细 节 请 参 阅 世 伟 洛 克 规 范 特 殊 清 洁 与 包 装 (SC-11), MS‐06‐63 和 超 高 纯 工 艺 规 范 (SC‐01),
MS‐06‐61。
清 洁 装 配 与 包 装 工 艺 代 号 工 艺 规 范 润 湿 表 面 粗 糙 度 (R a ) 测 试
采 用 全 程 监 控 的 去 离 子 水 超 声
波 清 洁 系 统 进 行 超 高 纯 清 洁
非 臭 氧 损 耗 化 学 品 的
特 殊 清 洁
在 ISO 等 级 4 工 作 区 内 操 作 ,
调 压 阀 在 无 尘 室 袋 中 进 行 双 重
包 装 与 真 空 密 封 。
在 特 殊 清 洁 区 域 中 操 作 ,
调 压 阀 单 独 包 装 。
P
P1
超 高 纯 工 艺 规 范
(SC‐01)
特 殊 清 洁 与 包 装
(SC‐11)
机 加 工 和 电 抛 光 的 平 均
值 为 5 µin. (0.13 µm)
向 内 氦 气 泄 漏 测 试 的
泄 漏 率 为 1 10 –9
std cm 3 /s
结 构 材 料
直 线 型 和
1.5 in. 模 块 化 表 面
安 装 型
3
5
10
11
13
14 9
16
15 17
21
1.125 in. 模 块 化
表 面 安 装
型
12
6
13
16
21
1
2
3
4
5
8
10
17
18
1
2
4
6
7
8
19
20
22
元 件
1 标 签
( 未 显 示 )
与 介 质 接 触 元 件 用 斜 体 表 示 。
➀ 最 低 允 许 延 伸 率 20 %。
直 线 型 和 1.5 in. 模 块 化
表 面 安 装 型
铝
材 料 等 级 / ASTM 规 范
1.125 in. 模 块 化
表 面 安 装 型
聚 丙 烯
( 防 篡 改 手 柄 )
2 标 准 手 柄 蓝 色 尼 龙 铝 6061-T6 / B211
选 购 手 柄 铝 6061-T6 / B211 —
设 定 螺 钉
( 没 有 显 示 )
—
合 金 钢 / ANSI 18.3
( 防 篡 改 手 柄 )
3 加 载 盘 S17400 SS / A564 聚 醚 酰 亚 胺 / D5205
4 加 载 弹 簧 S17700 SS / A313
5 阀 帽 螺 母 镀 银 316 SS / A479
6 平 衡 弹 簧 S17700 SS / A313
7 减 震 器 轴 316 SS / A479 —
8 O 形 圈 碳 氟 FKM
9 O 形 圈 夹 黄 铜 360 / B16 —
10 阀 帽 S17400 SS / A564
11 支 承 环 黄 铜 360 / B16 —
12 复 位 盘 — 聚 醚 酰 亚 胺 / D5205
13 隔 膜 合 金 625 / AMS 5879
14 面 板
316L SS VIM-VAR /
SEMI F20-0305
超 高 纯 ➀
15 提 升 阀 芯 保 持 片 合 金 X-750 / B637 —
16 阀 杆 316L SS / A479
17 提 升 阀 芯 PCTFE / AMS 3650 全 氟 弹 性 体 FFKM
18 提 升 阀 芯 内 芯 — 316L SS / A479
19 提 升 阀 芯 孔 口 密 封 合 金 C-276 / B574 —
20 提 升 阀 芯 孔 口 堵 塞 316 SS / A479 —
21 阀 体
22 焊 接 端 接
316L SS VIM-VAR /
SEMI F20-0305
超 高 纯 ➀
316L SS VIM-VAR /
SEMI F20-0305 超 高 纯 ➀
—
—
调 压 阀 / 过 滤 器

792 调 压 阀 / 过 滤 器
工 作 性 能
直 线 型 和 1.5 in. 模 块 化 表 面 安 装 型
最 大 进 口 和 出 口 压 力 时 的 加 载 弹 簧 范 围
每 个 加 载 弹 簧 的 工 作 范 围 包 括 每 条 线 下 面 的 区 域 。
1.125 in. 模 块 化 表 面 安 装 型
平 均 锁 止 压 力
例 如 : 对 于 200 std cm 3 /min 的 流 速 , 下 游 流 动 关 断 后 出 口 压 力
的 变 化 约 为 0.9 psi (0.06 bar)。
进 口 压 力 , bar
32.0
31.8
31.6
500 std cm 3 /min
2.20
2.18
2,2
2,1
出 口 压 力 , psig
出 口 压 力 , bar
出 口 压 力 , psig
31.4
31.2
31.0
30.8
30.6
30.4
30.2
200 std cm 3 /min
10 std cm 3 /min
0.9 psi
2.16
2.14
2.12
2.10
2.08
出 口 压 力 , bar
2,1
2,1
2,1
2,1
2,0
进 口 压 力 , psig
30.0
29.8
0 4 10 20 30 40 50 60
时 间 , 秒
下 游 关 断 点
USA
2.06
2,0
加 载 弹 簧
出 口 压 力 范 围
psig (bar)
弹 簧 颜 色
A 真 空 至 25 (1.7) 红 色
B 5 至 50 (0.34 至 3.4) 白 色
C 10 至 100 (0.68 至 6.8) 蓝 色
D 20 至 150 (1.3 至 10.3) 黄 色
0.220
0.218
0.216
0.214
0.212
2.2
2.2
2.2
2.1
2.1
0.210
2.1
流 量 数 据
这 些 图 表 说 明 了 出 口 压 力 随 着 流 速 增 高 和 进 口 压 力 下 降 的 变 化 或 者 说 “ 衰 减 ”。
直 线 型 和 1.5 in. 模 块 化 表 面 安 装 型
1.125 in. 模 块 化 表 面 安 装 型
0.208
0.206
0 4 10 20 30 40 50 60
2.1
2.1
进 口 压 力
500 psig (34.4 bar)
100 psig (6.8 bar)
例 如 : 如 果 出 口 压 力 为 30 psig, 那 么 当 流 速 从 10 增 高 至 60 std
JAPAN
L/min 时 , 出 口 压 力 差 或 者 说 “ 衰 减 ” 约 为 3.5 psi (0.24 bar)。
80
5.5
5,5
80
70
5.0
5,0
70
70
60
4.5
4.0
4,5
60
4,0
进 口 压 力
100 psig (6.8 bar)
4.5
60
4.0
4,5
4,0
调 压 阀 / 过 滤 器
出 口 压 力 , psig
50
40
30
20
3.5
3.0
2.5
2.0
1.5
出 口 压 力 , bar
出 口 压 力 , psig
3,550
3,0
40
2,5
2,030
1,5
20
3.5 psi
50 3.5
3.0
40
2.5
30
2.0
1.5
20
出 口 压 力 , bar
3,5
3,0
2,5
2,0
1,5
10
1.0
0.5
1.0
10
0,5
1.0
10
0.5
1,0
0,5
0
0
00
0
0 50 100 150 200 00
2050 40 100 60 150 80 200 100
空 气 流 量 , std L/min
空 气 流 量 , std L/min
0
0
USA
0.55
5.5
0.55
0.50
5.0
0.50
0.45
0.45
4.5
0.45
4.5
0.40
0.40
4.0
0.40
4.0
0.35
0.35
3.5
0.35
3.5

大 流 量 、 手 动 气 体 调 压 阀 793
尺 寸
尺 寸 以 in. (mm) 为 单 位 表 示 , 仅 供 参 考 , 可 能 有 变 动 。
直 线 型
低 扭 矩 手 柄
标 准 手 柄
2.00
(50.8)
直 径
底 部
1.00 (25.4)
螺 栓 圆 周
1.48
(37.6)
直 径
4.12
(105)
最 大
4.17
(106)
最 大
四 个 安 装 孔 ,
M5 3 0.8 螺 纹 ,
0.25 (6.4) 深 。
M5 3 0.8 孔 口 适 用 于
10-32 安 装 螺 钉 。
端 接
A, in. (mm)
A
对 焊 端 接
0.44
(11.2)
A
VCR 端 接
0.44
(11.2)
对 焊 2.15 (54.6)
VCR, 短 接 管 2.78 (70.6)
VCR, 长 接 管 3.70 (94.0)
模 块 化 表 面 安 装 型
1.50 in. 平 台
1.125 in. 平 台
标 准 手 柄
3.97
(101)
最 大
C 形 密 封 平 台
底 部
1.50
(38.2)
A
最 大
C 形 密 封 平 台
底 部
1.125
(28.6)
W 形 密 封 平 台
底 部
1.125
(28.6)
1.50
(38.2)
1.125
(28.6)
1.125
(28.6)
四 个 直 通 孔 ,
0.22 (5.6) 直 径
四 个 直 通 孔 ,
0.17 (4.4) 直 径
四 个 直 通 孔 ,
0.17 (4.4) 直 径
手 柄 A, in. (mm)
标 准 3.66 (93.0)
防 篡 改 3.57 (90.7)
调 压 阀 / 过 滤 器

794 调 压 阀 / 过 滤 器
订 购 信 息
直 线 型 和 1.5 in. 模 块 化 表 面 安 装 型
欲 订 购 一 套 完 整 组 件 , 要 订 购 调 压 阀 和 弹 簧 成 套 件 。 库 存 的 调 压 阀 带 有 窄 型 蓝 色 尼 龙 手 柄 , 但 不 带 弹 簧 成 套 件 。
SS – HFM3B – VCR4 – P
阀 体 材 料
316L VIM-VAR 不 锈 钢
型 号
HFM3B = 直 线 型
MSM-HFM3B = 模 块 化 表 面 安 装
端 接
VCR4 = 1/4 in. VCR 短 接 管 ➀
VCR4L = 1/4 in. VCR 长 接 管 ➀
BW4 = 1/4 in. 卡 套 管 对 焊
无 = C 密 封 表 面 安 装 ( 仅 MSM-HFM3B)
➀ 世 伟 洛 克 VCR 拼 合 螺 母 组 件 必 须 分 开 订 购 。 参 见 以 下 内 容 。
工 艺
P = 世 伟 洛 克 超 高 纯 工 艺 规 范
(SC‐01); 电 抛 光 , R a 平 均
5 µin. (0.13 µm)
P1 = 世 伟 洛 克 特 殊 清 洁 与 包 装
(SC-11); 电 抛 光 , R a 平 均
5 µin. (0.13 µm)
弹 簧 成 套 件
弹 簧 成 套 件 包 括 加 载 弹 簧 , 加 载 盘 , 标
签 和 安 装 说 明 书 。 订 购 时 , 按 照 要 求 的
调 压 阀 出 口 压 力 范 围 选 择 弹 簧 成 套 件
订 购 型 号 。
出 口 压 力 范 围
psig (bar)
真 空 至 25 (1.7)
➀ 参 阅 第 P 795 页 低 扭 力 手 柄 。
弹 簧 成 套 件
订 购 号
177-13K-HFM-A
5 至 50 (0.34 至 3.4) 177-13K-HFM-B
10 至 100 (0.68 至 6.8) 177-13K-HFM-C
20 至 150 (1.3 至 10.3) 177-13K-HFM-D➀
世 伟 洛 克 VCR 拼 合 螺 母 组 件
世 伟 洛 克 VCR 拼 合 螺 母 技 术 所 具 有 的 优 势 :
■ 贮 存 方 便 灵 活
■ 较 短 的 末 端 对 末 端 连 接 尺 寸
■ 可 转 动 的 非 焊 接 端 接 件
要 订 购 一 带 有 VCR 端 接 的 调 压 阀 , 必 须 单 独 订 购 VCR 拼 合 螺
母 组 件 。 VCR 拼 合 螺 母 组 件 可 现 场 装 配 。 订 购 时 , 选 择 一 外 螺 纹
组 件 或 内 螺 纹 组 件 订 购 型 号 。
外 螺 纹 拼 合 螺 母 组 件
订 购 号 :
SS-4-VCR-4-SN
外 螺 纹 拼 合 螺 母 组 件
订 购 号 :
SS-4-VCR-1-SN
调 压 阀 / 过 滤 器
1.125 in. 模 块 化 表 面 安 装 型
按 所 示 顺 序 排 列 代 号 形 成 调 压 阀 订 购 号 。
阀 体 材 料
316L VIM-VAR 不 锈 钢
型 号
手 动 气 体 调 压 阀 ,
1.125 in. 模 块 化 表 面 安 装
密 封
无 = C 形 密 封
-W = W 形 密 封
SS – MSM-HFE
手 柄
-TR = 防 篡 改 手 柄 ( 参 阅 下 页 )
无 = 标 准 手 柄
– P – A
手 柄 颜 色
-BK = 黑 色
-GR = 绿 色
-OR = 橙 色
-WH = 白 色
-YW = 黄 色
无 = 蓝 色
出 口 压 力 范 围
A = 真 空 至 30 psig (2.0 bar)
B = 真 空 至 60 psig (4.1 bar)
工 艺
世 伟 洛 克 超 高 纯 工 艺 规 范 (SC‐01);
电 抛 光 , 平 均 R a 5 µin. (0.13 µm)

大 流 量 、 手 动 气 体 调 压 阀 795
选 购 件 和 附 件
直 线 型 和 1.5 in. 模 块 化 表 面 安 装 型
工 厂 安 装 加 载 弹 簧
可 订 购 带 有 工 厂 安 装 加 载
弹 簧 的 调 压 阀 。 订 购 时 , 在
调 压 阀 订 购 型 号 中 添 上 弹
簧 代 号 。
例 :
SS-HFM3B-VCR4-P-A
出 口 压 力 范 围
psig (bar)
弹 簧 代 号
真 空 至 25 (1.7) -A
5 至 50 (0.34 至 3.4) -B
10 至 100 (0.68 至 6.8) -C
20 至 150 (1.3 至 10.3) -D
1.125 in. 模 块 化 表 面 安 装 型
防 篡 改 手 柄
■ 设 定 - 使 用 手 柄 顶 部
的 设 定 螺 钉 调 整 出
口 压 力 。
■ 密 封 — 使 用 手 柄 标
签 使 其 不 会 碰 到 设
定 螺 钉 。
设 定
密 封
铝 制 手 柄
窄 型 手 柄
标 准 的 窄 型 手 柄 可 以 使 用 铝 材 ,
并 有 七 种 涂 环 氧 树 脂 的 颜 色 供
选 择 。
如 需 订 购 工 厂 安 装 的 窄 型 铝 制
手 柄 HF 系 列 手 控 调 压 阀 , 将 手
柄 颜 色 代 号 添 加 在 调 压 阀 订 购
型 号 中 即 可 。
例 如 :SS-HFM3B-VCR4-P-BK
手 柄 颜 色 代 号
黑 色 -BK
蓝 色 -BL
绿 色 -GR
橙 色 -OG
红 色 -RD
白 色 -WH
黄 色 -YW
低 扭 矩 手 柄
可 以 通 过 选 择 六 瓣 型 手 柄 来 降 低 启 动 扭 矩 。 低 扭 矩 手 柄 为 环 氧
树 脂 铝 材 制 成 并 有 七 种 不 同 的 颜 色 供 选 择 。
该 低 扭 矩 手 柄 可 与 20 至 150 psig (1.3 至 10.3 bar) 弹 簧 成 套 件
配 合 使 用 。 该 手 柄 直 径 2.00 in. (50.8 mm), 如 第 P 793 页 所 示 ,
不 推 荐 用 于 模 块 化 表 面 安 装 调 压 阀 。
如 需 订 购 工 厂 安 装 的 低 扭 矩 铝 制 手 柄 , 在 调 压 阀 订 购 号 内 添 加
L 和 颜 色 代 号 。
例 如 :SS-HFML3B-VCR4-P-BK
维 护 成 套 件
直 线 型 和 1.5 in. 模 块 化 表 面 安 装 型
提 升 阀 芯 成 套 件
提 升 阀 芯 成 套 件 包 括 提 升 阀 芯 , 提 升
阀 芯 孔 口 密 封 件 和 安 装 说 明 书 。
订 购 号 :MS-3K-HFM3
氧 气 服 务 危 险 性
如 要 获 得 更 多 有 关 富 氧 系 统 危 险 性 的 信 息 , 请 参 阅 世 伟 洛 克 氧
气 系 统 安 全 技 术 报 告 (MS-06-13C4), P 852。
提 升 阀 芯 工 具
安 装 提 升 阀 芯 需 要 提 升 阀 芯 替 换
工 具 。
订 购 号 :MS-TOOL-HFM3
调 压 阀 / 过 滤 器
注 意 : 切 勿 将 零 件 与 其 它 制 造 厂 生 产 的 相 混 用 或 互 换 。
MS-02-157C4, R5

关 于 此 文 件
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