Nederland proeftuin voor slim verkeer

Nieuws
Nee, hij verwacht niet dat hij er een concurrent
mee uitschakelt. ‘Het is zoiets
als een procedure bij de Raad van State
of een gebouw wel of niet gebouwd had
mogen worden. Dat gebouw blijft heus wel
staan, maar je kunt er toch je recht mee halen’,
zegt CEO Jaap Beijersbergen van Levitech.
Het tikje dat hij zijn concurrent ermee
uitdeelt, is ook meegenomen.
Op aandringen van Levitech stelde de Europese
Commissie onlangs een onderzoek in
naar mogelijk onrechtmatige staatssteun bij
TNO, waar de wortels liggen van Levitechs
concurrent Solaytec. Volgens Beijersbergen
heeft TNO de Europese subsidieregels, die
voorschrijven dat het onderzoek binnen
een bepaalde tijd niet vercommercialiseerd
mag worden, niet nageleefd. ‘Kennisinstellingen,
zoals TNO, zouden onderzoek moeten
doen ter ondersteuning en bevordering
van het Nederlandse bedrijfsleven, in plaats
van een concurrent in de markt te zetten’,
vindt Beijersbergen. TNO maakte gebruik
Machinebouw
Brussel stelt onderzoek in
naar TNO-spin-off Solaytec
PV-machinebouwer Levitech vindt dat TNO zich niet aan de subsidieregels heeft
gehouden toen het concurrent Solaytec op eigen benen zette. Nu de partijen er
onderling niet zijn uitgekomen, buigt de Europese Commissie zich over de zaak.
Paul van Gerven
van de Kenniswerkersregeling en het Pieken
in de Delta-programma.
Marktconform
Levitech en Solaytec ontwikkelen beide een
machine voor supersnelle atoomlaagdepositie
(ALD). Gewoonlijk is ALD een cyclisch
proces waarin het substraat afwisselend aan
twee reactieve gassen wordt blootgesteld,
waarop zich een atoomscherpe laag afzet.
Het vullen en weer legen van de reactor is
echter een tijdrovend proces. Voor de chipindustrie
wist Levitechs moederbedrijf
ASMI dat op te vangen door vele wafers
tegelijk te behandelen in een batchproces,
maar voor de hoge lucratieve volumes van de
PV-industrie is dat ontoereikend. Jammer,
want onderzoek aan de TU Eindhoven heeft
aangetoond dat een ALD-laagje aluminiumoxide
de eciëntie van silicium zonnecellen
met een aantrekkelijk percentage verhoogt.
Door wafers langs verschillende gaszones
te transporteren, kan ALD echter worden
getransformeerd in een volcontinu proces.
TNO heeft met dit concept onder de arm
aangeklopt bij ASMI – de meest voor de hand
liggende partij, want reeds met ALD-activiteiten
in huis. Om onduidelijke redenen
is de Almeerse machinebouwer toen niet
op dat voorstel ingegaan, om later toch een
‘spatiële’ ALD-activiteit te beginnen. Deze
staat sinds 2009 op eigen benen als Levitech,
vernoemd naar ASMI’s Levitor-machine
voor een supersnelle hittebehandeling
van wafers. In de Levitor zweven die op een
gaskussen, een principe dat Levitech ook gebruikt
om de plakken te transporteren.
In het voorjaar van 2010 kwam aan
het licht dat TNO het concept op eigen
gelegenheid is gaan uitwerken. Nog hetzelfde
jaar werd dat onderzoek geïntensiveerd
met onder meer een Pieken in de
Delta-subsidie. Later bleken zeven bedrijven
zich als partner en investeerder achter
spin-o Solaytec te scharen. De machine
van Solaytec werkt eveneens met gaskussens
die wafers langs verschillende zones
vervoeren, maar daarbij shuttelen ze heen
en weer, waar ze bij Levitech continu in dezelfde
richting bewegen.
TNO benadrukte destijds het ALD-onderzoek
volgens de regels en marktconform op
eigen benen te hebben gezet. Levitech zag
dat anders en kaartte de in zijn ogen illegale
staatssteun aan bij het ministerie van Economische
Zaken. Die klacht noch de communicatie
tussen Levitech en TNO/Solaytec
heeft echter een bevredigend resultaat
opgeleverd, vindt Beijersbergen. Hij stapte
daarom afgelopen december naar de EC en
kreeg deze maand te horen dat zijn klacht
in behandeling wordt genomen. Maar, zegt
hij, ‘het is niet de manier waarop ik dit het
liefst had afgehandeld en ik sta nog altijd
open voor een compromis.’
Solaytec en TNO wilden geen commentaar
geven, anders dan dat ze de uitspraak
van de EC met vertrouwen tegemoetzien.
Als de zaak geen prioriteit krijgt, laat die
een tot twee jaar op zich wachten.
3 | 15