フィードバックステージコントローラ - シグマテック

フィードバックステージコントローラ 

FC-501 取扱説明書 

第4版 

2008/09/26 

SIGMA TECH

このたびは本製品をお買い上げいただきありがとうございます。 

この取扱説明書は本製品の正しい使い方や機能の説明、使用上の注意事項について記載してあります。 

適切な方法で操作していただくため、ご使用の前にこの取扱説明書を最後までよくお読みの上、正しくお使 

いください。 

また、お使いになっていく上で、わからないことがあった場合には、この取扱説明書がすぐに利用できるよ 

うに保管してください。 

保証について 

お買い上げから 1 年以内に当社の製造、納品に起因する不具合が発生した場合には、無償で修理させ 

ていただきます。 

故障時のサポートついて 

故障と思われるときには、ケーブル類のコネクタ接続を確認してから、当社又は代理店へご連絡ください。 

輸送中に破損しないように丁重に梱包し、故障内容等の症状も書き添えてください。なお、輸送中の破損に 

ついては保証しかねます。 

連絡先 

シグマテック株式会社 

埼玉県飯能市柳町 5-2 

TEL 042-975-3031 FAX 042-975-3032 

URL http://www.sigma-tech.co.jp 

Email info-s@sigma-tech.co.jp 

商標 

Windows2000 及びハイパーターミナルは米国マイクロソフト社の登録商標です。 

記載の会社名および商品名は、各会社の商標または登録商標です。 

- ⅰ -

使用上の注意 

ご使用の前に取扱説明書をよくお読みの上、正しくお使いください。その後大切に保存し、必要なときに 

お読みください。 

■ 本コントローラは精密機器です。お取り扱いには十分お気を付けください。 

■ 本体に衝撃を与えたり、無理な力がかからないように注意してください。 

■ 仕様にあった設置環境・場所を整備してください。特に下記の内容にはご注意ください。 

・丈夫で水平な場所に設置する。 

・側面の通風口をふさがないで設置する。 

・ラック等に組込んで使用する場合は、適切な方法で強制冷却を行う。 

安全についてのご注意必ずお守りください。 

お使いになる人や他の人への危害、財産への損害を未然に防止するため、必ずお守りいただくことを次 

のように説明しています。 

■ 表示内容を無視して誤った使い方をしたときに生じる危害や損害の程度を次の表示で区分し、説明して 

います。 

危険 

警告 

注意 

この表示の欄は「死亡または重症などを負う危険が切迫して生じることが想 

定される」内容です。 

この表示の欄は「死亡または重症などを負う可能性が想定される」内容で 

す。 

この表示の欄は「障害を負う可能性または物的損害のみが発生する可能性 

が想定される」内容です。 

■ お守りいただく内容の種類を、次の表示で区分し説明しています。 

この表示は、気をつけていただきたい「注意喚起」内容です。 

この表示は、してはいけない「禁止」内容です。 

この表示は、必ず実行していただく「強制」内容です。 

- ⅱ -

接地端子は必ず接地する 

警告 

感電の恐れがありますので接地端子は必ず接地してください。 

痛んだ電源コード・プラグを使用しない 

痛んだまま使用すると、感電・ショート・発火の恐れがあります。 

電源プラグは根元まで確実に差し込む 

差し込みが不完全な場合、感電や発熱による発煙、発火の恐れがあります。 

電源プラグのほこりなどは定期的にとる 

電源プラグにほこりなどがたまると、湿気などで絶縁不良となり、発煙、発火の 

恐れがあります。電源プラグを抜き、乾いた布でふいてください。 

規定された電源電圧で使用する 

取扱説明書で規定された電源電圧で使用してください。規定外の電圧で使用 

すると、発煙、発火の恐れがあります。 

規定されたヒューズを使用する 

規定された定格以外のものを使用すると、発煙・発火の恐れがあります。 

爆発性の雰囲気内では使用しない 

爆発・火災の恐れがあるので、可燃性・爆発性のガスまたは蒸気のある場所 

では絶対に使用しないでください。 

カバーを開けない 

感電や故障の原因になります。 

ぬれた手で電源プラグを抜き差ししない 

感電の恐れがあります。 

規定された以外のステージを接続しない 

感電や故障の原因・ステージの暴走、発煙・発火の恐れがあります。 

※当社以外のステージを使用する場合動作しない場合があります。 

故障・破損した状態で使用しない 

感電や発煙・発火の恐れがあります。直ちに電源をお切りください。 

- ⅲ -

保証について 

連絡先 

商標 

使用上の注意 

FC-501 について 

■ 箱の中身を確認する 

■ 各部の名称 

■ ステージをコントローラに接続する 

機能について 

■ MODE 

[ Mode ]スイッチ 

■ LOCAL MODE 

・JOG 

[ Origin ]スイッチ 

[ Zero ]スイッチ 

[ Speed ]スイッチ 

[ CCW ][ CW ]スイッチ 

・UTILITY 

[ Motor ]スイッチ 

[ Close ]スイッチ 

[ Setup ]スイッチ 

[ Enter ]スイッチ 

[ Cancel ]スイッチ 

[ F・1 ]スイッチ 



[ RESET ]スイッチ 

■ REMOTE MODE 

・接続例 

・コマンド一覧 

・コマンド説明 

制御に関するコマンド 

RESET: 

MODE: 

MODE? 

F: 

C: 

目次 

- ⅳ - 

ⅰ 

ⅰ 

ⅰ 

ⅱ 

1 

1 

2 

3 

4 

4 

4 

4 

5 

5 

5 

5 

6 

6 

7 

7 

7 

7 

7 

8 

8 

8 

8 

9 

9 

11 

12 

12 

12 

12 

12 

13 

13

状態出力に関するコマンド 

Q: 

!: 

P: 

SRQ: 

原点に関するコマンド 

H: 

R: 

Z: 

駆動に関するコマンド 

D: 

ACC: 

A: 

M: 

JG: 

G: 

JY: 

L: 

I/Oに関するコマンド 

I: 

O: 

パラメータ設定について 

■ パラメータ一覧 

■ パラメータ詳細 

■ パラメータ設定方法 

トラブルシューティング 

■ エラーメッセージ 

仕様 

■ 一般仕様 

■ モータドライバ 

■ インターフェース 

・RS-232C 

・GP-IB 

・汎用 I/O 

・緊急停止入力 

- ⅴ - 

14 

14 

15 

15 

16 

17 

17 

17 

18 

18 

18 

19 

19 

20 

20 

21 

21 

21 

22 

22 

23 

24 

24 

25 

29 

31 

31 

32 

32 

33 

34 

34 

35 

36 

37

FC-501 について 

■ 箱の中身を確認する 

箱を開けて、まず次のものがすべて同梱されているか確認してください。万一足りないものや損傷して 

いるものがある場合には、当社又は代理店へご連絡ください。 

オプション 

● コントローラ本体 

● 取扱説明書(本書) 

● ヒューズ 3A 

● 接地電線(3m) 

● 3P 電源ケーブル(2m) 

● 3P/2P 変換アダプタ 

※出荷時コントローラ本体に 1 本装着済み 

● エマージェンシーケーブル 

● 汎用 I/O ポート用コネクタ 

- 1 - 

1 

1 

3※ 

1 

1 

1

■ 各部の名称 

コントローラ本体のフロントパネルと、リアパネル各部の名称を説明します。 

・フロントパネル 

電源 ON/OFF 

ｽｲｯﾁ 

・リアパネル 

製品名 

ｼﾘｱﾙﾅﾝﾊﾞｰ 

1軸ﾓｰﾀｹｰﾌﾞﾙ 

接続ｺﾈｸﾀ 

1軸ｽｹｰﾙｹｰﾌﾞﾙ 


ｷｰｽｲｯﾁ部 

MODE 

液晶表示部 

(LCD) 

2軸ﾓｰﾀｹｰﾌﾞﾙ 


2軸ｽｹｰﾙｹｰﾌﾞﾙ 


汎用 I/O 

ｺﾈｸﾀ 

接地 

端子 

- 2 – 


JOG 

緊急停止入力ｺﾈｸﾀ 

RS-232C 


ﾋｭｰｽﾞ 

ｹｰｽ 

ｼﾞｮｲｽﾃｨｯｸ 


AC100V 

入力ｺﾈｸﾀ 

GP-IB 



UTILITY

■ ステージをコントローラに接続する 

電源 OFF 

1軸ﾓｰﾀ 2軸ﾓｰﾀ 

1軸ｽｹｰﾙ 2軸ｽｹｰﾙ 

①コントローラの電源 OFF を確認します。 

②ステージのモータケーブル、スケールケーブル 

をコントローラの接続コネクタに取付けます。 

・ 1 軸仕様の場合 

1 軸を STAGE1 へ接続してください。 

※1 軸のみの場合は、必ず。 

STAGE1 へ 

接続してください。 

・ 2 軸仕様の場合 

1 軸目を STAGE1 へ、2 軸目を STAGE2 へ 

接続してください。 

- 3 -

機能について 

これより、コントローラの仕様についての説明します。 

本コントローラには 2 つの制御モードがあります。このモード毎に機能を説明します。 

LOCAL MODE フロントパネルにあるキースイッチによりステージの制御を行います。 

REMOTE MODE 外部機器より各インターフェース(RS-232C,GP-IB)を介してステージの 

■ MODE 

制御を行います。 

LOCAL MODE 及び REMOTE MODE を切り換えるスイッチです。 

[ Mode ] スイッチ 

■ LOCAL MODE 

機能)制御モードを選択します。 

LOCAL MODEとREMOTE MODEを選択します。 

LOCAL MODE 選択時はフロントパネルのキースイッチによる 

ステージ制御が有効になり、REMOTE MODE 選択時は通信 

(RS-232C インターフェース or GP-IB インターフェース)による 

ステージ制御が有効になります。 

REMOTE MODEで使用するインターフェースの選択はパラメー 

タにて設定します。パラメータ設定の詳細は「パラメータ設定」 

をご参照ください。 

仕様)・電源投入時 

モード : REMOTE MODE(ﾊﾟﾗﾒｰﾀにて変更可) 

インターフェース : RS-232C(ﾊﾟﾗﾒｰﾀにて変更可) 

・スイッチ動作 

トグル動作 LOCAL MODE REMOTE MODE(RS-232C or GP-IB) 

フロントパネルのキースイッチ(JOG,UTILITY)によりステージを簡易的に制御するモードです。以下よ 

り各キースイッチの機能・仕様について説明します。 

- 4 -

・ JOG 

[ Origin ]スイッチ 

[ Zero ]スイッチ 

[ Speed ]スイッチ 

機能)機械原点座標への復帰動作を開始します。 

ステージ固有の機械原点座標を検出します。 

ステージはこの機械原点座標を基準に位置決めを行います。 

原点検出方法は Mode 0 から Mode 4 まであり、ﾊﾟﾗﾒｰﾀにて設 

定ができます。設定の詳細・原点検出シーケンスは、「ﾊﾟﾗﾒｰﾀ 

設定」をご参照ください。 

仕様)・スイッチ動作 

1 軸+2 軸接続時両軸同時機械原点復帰動作開始 

1 軸接続時 1軸のみ機械原点復帰動作開始 

・復帰動作停止方法 

RESETスイッチ 

[RESET]コマンド 

電源スイッチ OFF 

機能)現在の座標位置を電気原点に設定します。 

このスイッチを押すと、現在の座標を電気原点に設定し LCD 

(液晶表示部)の座標表示を “0”セットします。 


各軸独立電気原点設定(”0“セット) 

機能)CCW、CW スイッチのステージ移動速度を変速します。 

このスイッチを押しHigh Speed LED点灯時、ステージはﾊﾟﾗﾒｰ 

ﾀ(Jog Speed H)で設定された高速で移動します。High Speed 

LED消灯時、ステージはﾊﾟﾗﾒｰﾀ(Jog Speed L)で設定された低 

速で移動します。 

仕様)・電源投入時 

低速移動 High Speed LED 消灯 

・スイッチ動作 

各軸独立移動速度変速 

Jog Speed H Jog Speed L トグル動作 

- 5 -

[ CCW ] [ CW ]スイッチ 

・ UTILITY 

[ Motor ]スイッチ 

機能1)CCWスイッチステージがモータ側に移動します。 

CWスイッチステージが反モータ側に移動します。 

このスイッチを押すと、ステージは最小分解能値で移動し、 

押し続けると継続して移動します。 

移動速度は[ Speed ]スイッチの選択によって変速します。Limit 

LEDはステージがリミット位置にいるとき点灯します。 

仕様 1)・スイッチ動作 

押下時 : 最小分解能値で 1STEP 移動 

継続して押下時 : 押し続ける間[ Speed ]スイッチにより 

選択された移動速度でステージが移動 

機能 2)ﾊﾟﾗﾒｰﾀ設定時、ﾊﾟﾗﾒｰﾀの選択・移動・数値入力に使用します。 

詳細は「ﾊﾟﾗﾒｰﾀ設定」をご参照ください。 

機能)モータを励磁/解磁します。 


スイッチを押すごとに下記の動作を行います。 

1 軸接続時 

① 押下↓ : 1 軸解磁 

② 押下↓ : 1 軸励磁 

③ 押下↓ : ①に戻る 

・LED 

励磁されている軸が点灯します。 

・電源投入時 1・2 軸励磁(ﾊﾟﾗﾒｰﾀにて変更可) 

- 6 - 

1 軸+2 軸接続時 

① 押下↓ : 1・2 軸解磁 

② 押下↓ : 1 軸のみ励磁 

③ 押下↓ : 2 軸のみ励磁 

④ 押下↓ : 1・2 軸励磁 

⑤ 押下↓ : ①に戻る

[ Close ]スイッチ 

[ Setup ]スイッチ 

[ Enter ]スイッチ 

[ Cancel ]スイッチ 

機能)Close ループ制御/Open ループ制御を選択します。 


スイッチを押すごとに下記の動作を行います。 

1 軸接続時 

① 押下↓ : 1 軸 Open 

② 押下↓ : 1 軸 Close 

③ 押下↓ : ①に戻る 

・LED 

Close ループ制御が選択されている軸が点灯します。 

・電源投入時 1・2 軸 Close(ﾊﾟﾗﾒｰﾀにて変更可) 

- 7 - 

1 軸+2 軸接続時 

① 押下↓ : 1・2 軸 Open 

② 押下↓ : 1 軸のみ Close 

③ 押下↓ : 2 軸のみ Close 

④ 押下↓ : 1・2 軸 Close 

⑤ 押下↓ : ①に戻る 

機能)ﾊﾟﾗﾒｰﾀ設定へモードインします。(ダブルクリック) 


ダブルクリック(0.5秒以内に 2 回押す)によりﾊﾟﾗﾒｰﾀ設定 

モードにモードインします。ﾊﾟﾗﾒｰﾀに関する詳細は、 

「ﾊﾟﾗﾒｰﾀ設定」をご参照ください。 

機能 1)ﾊﾟﾗﾒｰﾀ設定にて階層の下に移動します。 

機能 2)ﾊﾟﾗﾒｰﾀ設定にて設定した値の決定に使用します。決定を 

実行したあと、階層の上に移動します。 

機能)ﾊﾟﾗﾒｰﾀ設定にて設定した値の決定を実行しないで階層の上に 

移動します。




[ RESET ]スイッチ 

機能)テスト動作を開始します。 

ステージが正しく接続されているか確認する機能です。 


以下の動作を[RESET]スイッチを押下するまで実行します。 

原点復帰 5mm 10mm 15mm 20mm 

5mm 10mm 15mm 

機能)テスト動作を開始します。 

ステージが正しく接続されているか確認する機能です。 


以下の動作を[RESET]スイッチを押下するまで実行します。 

原点復帰 CCW 側リミット(CW 側リミット) CW側リミット(CCW側リミット) 

機能)未定義です。 

機能)コントローラをリセットします。 


電源の再投入と同じ動作を行います。 

- 8 -

■ REMOTE MODE 

コンピュータからRS-232Cまたは、GP-IBインターフェースを使用し、コマンドを送信することにより、ス 

テージを制御するモードです。 

・接続例 

パソコン(外部機器)を接続し、RS-232C インターフェースにてコントローラの制御を行う。 

接続構成 

コントローラ 

接続ステージ 

パソコン 

OS 

アプリケーション 

RS-232C 通信ポート 

RS-232C 通信速度 

RS-232C デリミタ 

データ長 

ストップビット 

パリティ 

①電源 OFF を確認します。 

:FC-501 

:FS-1050P 

:PC/AT 互換機 

:Windows2000 

:ﾊｲﾊﾟｰﾀｰﾐﾅﾙ 

(Windows2000 標準添付) 

:Com1 

:9600bps 

:CR+LF 

:8 ﾋﾞｯﾄ 

:1 ﾋﾞｯﾄ 

:なし 

②RS-232C、または GP-IB インターフェース接続ケーブ 

ルをコントローラの接続コネクタに取付けます。 

※ケーブルは取付けネジで確実に固定してください。 

- 9 - 

電源 OFF 

RS-232C 接続 GP-IB 接続 

コネクタ 

コネクタ

③ステージが正しく接続されているか確認します。 

電源を ON します。 

④LCD 表示を確認します。 

※LCD にオープニングタイトル表示後、“0.00000mm”以外が 

表示されたときは電源を OFF し、再度ステージの接続を 

確認してください。それでも現象が変わらない場合は 

トラブルシューティングをご参照ください。 

⑤Windos2000 上でﾊｲﾊﾟｰﾀｰﾐﾅﾙを起動させます。 

パソコンのキーボード上にて、コマンドを入力 

し、Enter キーを押すと、コマンドに応じた制 

御を行います。 

※コマンドについては「コマンド一覧」または 

「コマンド説明」をご参照ください。 

注意)GP-IB 通信はﾊｲﾊﾟｰﾀｰﾐﾅﾙでは実行できません。 

GP-IB通信専用のアプリケーションをご使用ください。 

- 10 - 

電源 ON 

オープニングタイトル 

状態/座標値表示

・コマンド一覧 

種類命令 ※1 機能 

ｺﾏﾝﾄﾞ受付条件 

ﾓｰﾄﾞｽﾃｰﾀｽ ※3 

RESET: コントローラのリセット Remote Ready, Busy 

MODE: 制御モードの選択 Remote , Local Ready 

MODE? 制御モードの問合せ Remote , Local Ready, Busy 

F: ステージ制御方法の選択 Remote Ready 

C: モータ励磁の有無 Remote Ready 

Q: ステータスの要求 Remote Ready , Busy 

!: 位置決め状態の要求 Remote Ready , Busy 

P: 座標値の要求 Remote Ready 

SRQ: ステージ状態の要求 Remote Ready , Busy 

H: 機械原点の検出 Remote Ready 

R: 電気原点の設定 Remote Ready 

Z: 電気原点の検出 Remote Ready 

D: 駆動速度の設定 Remote Ready 

ACC: 加減速度の設定 Remote Ready 

A: 絶対移動値の設定 Remote Ready 

M: 相対移動値の設定 Remote Ready 

JG: ﾊﾟﾙｽ指定の相対移動値の設定 Remote Ready 

G 駆動開始 ※2 Remote Ready 

JY: JOG駆動 Remote Ready 

L: 停止 Remote Ready , Busy 

I: 汎用入力の読込 Remote Ready 

O: 汎用出力の設定 Remote Ready 

制御に関する 

コマンド 

状態出力に関す 

るコマンド 

原点に関する 

コマンド 

駆動に関する 

コマンド 

I/Oに関する 

コマンド 

※1 ASCⅡコード 

※2 他の命令と異なり「 : 」がないことに注意してください。 

※3 “ Q:, !:, SRQ: “コマンドにて返信されます。 

Ready : 位置決め完了状態 

Busy : 位置決め未完了状態 

- 11 -

・コマンド説明 

以下よりコマンドの説明を行います。 

制御に関するコマンド 

RESET: コントローラのリセット 

送信形式 

機能 

例 

MODE: 制御モード選択 

送信形式 

機能 

例 

MODE: ① 

① LOCAL LOCALMODE選択 

REMOTE REMOTEMODE選択 

MODE? 制御モードの問い合わせ 

送信形式 

返信形式 

RESET: 

コントローラをリセットします。 

注意)このコマンドを実行すると、全ての座標データがクリアされます。 

コントローラをリセットします。 

送) RESET: 

コントローラのモードを LOCALMODE と REMOTEMODE から選択し、設定します。 

注意)既に選択している制御モードを選択すると”コマンドエラー“になります。 

“コマンドエラー”については、トラブルシューティングをご参照ください。 

LOCALMODE を選択する。 

送) MODE:LOCAL 

MODE? 

① 

① 現在の制御モード LOCAL LOCALMODE 選択中 

REMOTE REMOTEMODE 選択中 

機能コントローラの現在のモードを問い合わせます。 

例 LOCALMODE が選択されているときに“MODE?”コマンドを送信した場合。 

送) MODE? 

返) LOCAL 

- 12 -

F: ｽﾃｰｼﾞ制御方法の選択 

送信形式 F: ①② 

① 1 1軸選択 

2 2軸選択 

例 

② 

機能コントローラのループ制御をオープンループ制御とクローズループ制御か選択し、 

設定します。 

1 軸をオープンループ制御にする 

送) F: 10 

C: モータ励磁の有無 

送信形式 C: ①② 

① 1 1軸選択 

2 2軸選択 

w 1軸・2軸同時選択 

例 

② 

0 オープンループ制御 

1 クローズループ制御 ※1 

2 クローズループ制御 ※2 

※1 オープンループ制御(0)を設定し、その後クローズループ制御(1)にした 

場合、オープンループ制御設定時の位置へ戻ります。 

※2 オープンループ制御(0)を設定し、その後クローズループ制御(2)にした 

場合、移動した位置に対しフィードバック制御します。 

0 解磁 

1 励磁 

機能モータの励磁、解磁を選択し、設定します。 

注意)ﾊﾟﾗﾒｰﾀ設定の軸数が 1 軸設定になっている場合、①にて“2”,“w”を 

選択すると、“コマンドエラー”となります。 

1 軸・2 軸を解磁します。 

送) C: w0 

- 13 -

状態出力に関するコマンド 

Q: ステータスの要求 

送信形式 Q: 

返信形式 ①,②,③,④,⑤,⑥,⑦ 

① 1 軸座標値 ±******** (1 桁の符号,8 桁の数値,最小桁 10nm) 

② 2 軸座標値 ±******** (1 桁の符号,8 桁の数値,最小桁 10nm) 

③ エラー状態の表示 K 正常 

1 コマンドエラー 

2 スケールエラー 

3 リミット停止 

4 オーバースピードエラー 

5 オーバーフローエラー 

6 エマージェンシーエラー 

7 MN102 エラー 

8 リミットエラー 

9 システムエラー 

※エラーの詳しい内容はトラブルシューティングをご参照ください。 

④ 1 軸状態表示 

K 正常停止状態 

M 正常動作状態 

C CW リミット停止状態 

W CCW リミット停止状態 

⑤ 2 軸状態表示 





D パラメータ AXIS Select が「1」になっている場合 

⑥ システム予約 **** (4 桁の数値) 

※システムメンテナンス用です。通常は“0000”です。 

⑦ｽﾃｰｼﾞ位置決め状態 B ビジー状態位置決め未完了状態 

R レディ状態位置決め完了状態 

機能ｽﾃｰｼﾞの座標値,状態を問い合わせます。 

注意)ビジー状態のとき、“Q:, !:, SRQ:, L:, RESET:, MODE?”命令のみ受け付けます。 

それ以外の命令を送信すると、“コマンドエラー”になります。 

例 

1 軸が-10nm(-0.00001mm)の位置で停止中かつ、2 軸が 12.34561mm の位置を動 

作中のときに“Q:”コマンドを送信した場合 

送) Q: 

返) -00000001,+01234561,K,K,M,0000,B 

- 14 -

!: 位置決め状態の要求 

送信形式 !: 

返信形式 ① 

① ｽﾃｰｼﾞ位置決め状態 B ビジー状態位置決め未完了 

R レディ状態位置決め完了 

機能ｽﾃｰｼﾞの位置決め状態を問い合わせます。 



例 

1軸が動作中に送信した場合 

送) !: 

返) B 

P: 座標値の要求 

送信形式 P: ① 

① 

返信形式 ②、③ 

② 1 軸座標値 

機能 

例 

③ 2 軸座標値 

1 1軸選択 

2 2軸選択 


±******** (1 桁の符号,8 桁の数値,最小桁 10nm) 

※送信形式“P:1”,“P:w”の場合、1 軸座標値を表示します。 

±******** (1 桁の符号,8 桁の数値,最小桁 10nm) 

※送信形式“P:2”,“P:w”の場合、2 軸座標値を表示します。 

現在のｽﾃｰｼﾞ座標値を問い合わせます。 

注意)ビジー状態のとき、この命令を送信すると、“コマンドエラー”になります。 

1 軸が-10nm(-0.00001mm)、2 軸が 12.34561mm の位置で停止中のときに“P:w” 

“P:1”,“P:2”コマンドを送信した場合 

・P:w の場合 

送) P:w 

返) -00000001,+01234561 

・P:1 の場合 

送) P:1 

返) -00000001 

・P:2 の場合 

送) P:2 

返) +01234561 

- 15 -

SRQ: ｽﾃｰｼﾞ状態の要求 

送信形式 SRQ: 

返信形式 ①,②,③,④,⑤ 

① エラー状態の表示 

K 正常 

1 コマンドエラー 

2 スケールエラー 

3 リミット停止 

4 オーバースピードエラー 

5 オーバーフローエラー 

6 エマージェンシーエラー 

7 MN102 エラー 

8 リミットエラー 

9 システムエラー 

※エラーの詳しい内容はトラブルシューティング 

をご参照ください。 

② 1 軸状態表示 





③ 2 軸状態表示 





D パラメータ AXIS Select が「1」になっている場合 

④ システム予約 

**** (4 桁の数値) 

※システムメンテナンス用です。通常は“0000”です。 

⑤ ｽﾃｰｼﾞ位置決め状態 

B ビジー状態位置決め未完了状態 

R レディ状態位置決め完了状態 

機能ｽﾃｰｼﾞの状態を問い合わせます。 



例 

1 軸が停止中かつ、2 軸が動作中のときに“SRQ:”コマンドを送信した場合 

送) SRQ: 

返) K,K,M,0000,B 

- 16 -

原点に関するコマンド 

H: 機械原点の検出 

送信形式 H: ① 

① 

例 

1 1軸選択 

2 2軸選択 


(無し) 組み込み済みの軸全て選択 

機能機械固有の基準点(原点)を検出し、カウンタをゼロセットします。 

注意 1)ﾊﾟﾗﾒｰﾀ設定の軸数が 1 軸設定になっている場合、①にて“2”,“w”を選択すると 

“コマンドエラー”になります。 

注意 2)原点検出シーケンスは、ﾊﾟﾗﾒｰﾀ設定をご参照ください。 

注意 3)原点検出モードはﾊﾟﾗﾒｰﾀの設定によって決まります。 

1 軸,2 軸の原点検出を開始する。 

送) H:w 

R: 電気原点の設定 

送信形式 R: ① 

① 

例 

1 1軸選択 

2 2軸選択 



機能任意の位置を電気原点に設定し、カウンタをゼロセットします。 

注意)ﾊﾟﾗﾒｰﾀ設定の軸数が 1 軸設定になっている場合、①にて“2”,“w”を選択すると 


1 軸,2 軸の電気原点を設定する。 

送) R:w 

- 17 -

Z: 電気原点の検出 

送信形式 Z: ① 

① 

例 

駆動に関するコマンド 

1 1軸選択 

2 2軸選択 



機能電気原点設定にてゼロセットされた位置を検出します。速度はパラメータの Org Spd M 

に準じます。 

注意)ﾊﾟﾗﾒｰﾀ設定の軸数が 1 軸設定になっている場合、①にて“2”,“w”を選択すると 


1 軸,2 軸の電気原点を検出を開始する。 

送) Z:w 

D: 駆動速度設定 

送信形式 

例 

D: ①F② (1 軸,または 2 軸選択) 

① 軸選択 1 1軸選択 

2 2軸選択 

② 駆動速度 0~******** 1 軸 or 2 軸駆動速度 

D: wF③F④ (1 軸,2 軸同時選択) 

③ 1 軸駆動速度 0~******** 1 軸駆動速度 

④ 2 軸駆動速度 0~******** 2 軸駆動速度 

機能通信上のｽﾃｰｼﾞ駆動速度を設定します。 

注意 1)ここで設定できる範囲は、ﾊﾟﾗﾒｰﾀ “Max Speed”を超えることはできません。 

注意 2)設定された速度は、コントローラの電源を OFF したり “RESET:” を実行すると、 

初期化されます。 

※初期化値はﾊﾟﾗﾒｰﾀ “Max Speed” の設定値になります。 

1 軸の駆動速度を 2mm/s,2 軸の駆動速度を 1mm/s に設定する場合 

送) D:wF200000F100000 

- 18 -

ACC: 加減速設定 

送信形式 ACC: ①_② 

① 軸選択 

例 

② 加減速時間 

1 1軸選択 

2 2軸選択 

10 ~ 2000 [ ms ] 

機能ｽﾃｰｼﾞの加減速時間を設定します。 

注意 1)コマンド送信の際、①と②の間にスペースがあることに注意してください。 

注意 2)設定された速度は、コントローラの電源を OFF したり “RESET”を実行すると 


※初期化値はパラメータの “Acc.Time” の設定値になります。 

1 軸の加減速を 200ms に設定する場合 

送) ACC:1 200 

A: 絶対移動値の設定 

送信形式 A: ①②P③ 

① 軸選択 

例 

② 符号 

③ 移動先座標 

A: w④P⑤⑥P⑦ 

④⑥ 符号 

⑤ 1 軸移動先座標 

⑦ 2 軸移動先座標 

(1 軸、または 2 軸選択) 

1 

1 軸選択 

2 

2 軸選択 

+ 

CCW 方向(+の場合省略可) 

- 

CW 方向 

0~******** 1 軸 or 2 軸移動先座標 

(1 軸・2 軸同時選択) 

+ 

- 

0~******** 

0~******** 

機能移動先の座標を原点からの絶対値で設定します。 

注意 1)移動値設定を行っても、“G”コマンドを送信するまでｽﾃｰｼﾞは動作しません。 

注意 2) “D:”にて速度設定していない場合。ﾊﾟﾗﾒｰﾀの“Max Speed”にて動作します。 

1 軸を原点から 20mm CCW(+)方向、2 軸を原点から 1μm CW(-)方向に移動させる 

送 1) A:w+P2000000-P100 

送2) G 

※送 2)の “G” はコマンド “G” をご参照ください。 

- 19 - 


CW 方向 

1 軸移動先座標 

2 軸移動先座標

M: 相対移動値の設定 

送信形式 M: ①②P③ 

① 軸選択 

例 

② 符号 

③ 移動先座標 

M: w④P⑤⑥P⑦ 

④⑥ 符号 

⑤ 1 軸移動先座標 

⑦ 2 軸移動先座標 

(1 軸、または 2 軸選択) 

1 

1 軸選択 

2 

2 軸選択 

+ 


- 

CW 方向 

0~******** 1 軸 or 2 軸移動先座標 

(1 軸・2 軸同時選択) 

+ 

- 

0~******** 

0~******** 

機能移動先の座標を現在位置からの相対値で設定します。 

注意 1)移動値設定を行っても、“G”コマンドを送信するまでｽﾃｰｼﾞは動作しません。 

注意 2) “D:”にて速度設定していない場合。ﾊﾟﾗﾒｰﾀの“Max Speed”にて動作します。 

1 軸を現在位置から 20mm CCW(+)方向、2 軸を現在位置から 1μm CW(-)方向に移動 

させる 

送 1) M:w+P2000000-P100 

送2) G 

※送 2)の “G” はコマンド “G” をご参照ください。 

1 

2 

w 

+ 

- 

0 ~ 1000 [pls] 

- 20 - 


CW 方向 



JG: ﾊﾟﾙｽ指定の相対移動値の設定 

送信形式 JG: ①_②③ 

① 軸選択 

機能指定したﾊﾟﾙｽだけ動作させます。 

注意 1)コマンド送信の際、①と②の間にスペースがあることに注意してください。 

注意 2) 速度は設定できません。 

例 

② 符号 

③移動ﾊﾟﾙｽ数 

1 軸を現在の位置から+10 ﾊﾟﾙｽ移動させる 

送) JG:1 +10 

1 軸選択 

2 軸選択 

1 軸・2 軸同時選択 


CW 方向 

移動ﾊﾟﾙｽ数

G 駆動開始 

送信形式 G 

機能 “A:”,“M:”コマンドで設定された移動先座標への移動を開始します。 

注意)他のコマンドと異なり、“:(コロン)”の無い事にご注意してください。 

例 1 軸を現在位置から 10mm CCW(+)方向に移動させる 

送 1) M:1+P1000000 

送 2) G 

JY: JOG駆動 

送信形式 JY:①_②③ 

① 軸選択 1 

1 軸選択 

2 

2 軸選択 

② 符号※1 + 

CCW 方向 

- 

CW 方向 

③ｼﾞｮｸﾞ速度段階 1 ~ 9 

ﾊﾟﾗﾒｰﾀｼﾞｮｸﾞ速度段階 

※ 符号で設定した方向はﾊﾟﾗﾒｰﾀの「Joy GENERAL」の Right Dir 及び Top Dir 

によって動作方向が変わります。 

機能ｼﾞｮｸﾞ速度指定して一定ﾊﾟﾙｽで駆動させます。 

注意)ｼﾞｮｸﾞ速度はﾊﾟﾗﾒｰﾀ「Joy AXIS」にて設定できます、ご参照ください。 

例 

L: 停止 

送信形式 L: ① 

① 軸選択 

例 

1 軸をｼﾞｮｸﾞ速度段階「1」を指定して駆動させます。 

送 1) JY:1 +1 

1 1軸選択 

2 2軸選択 


E 1 軸・2 軸緊急停止 (LCD 表示 → EMERGENCY) 


機能駆動中のｽﾃｰｼﾞを停止させます。 

注意)緊急停止 “L:E” 実行すると、ｽﾃｰｼﾞは直ちに停止します。コントローラを再起動 

するにはコントローラをリセットしてください。EMERGENCY時のモータの 

励磁/解磁はﾊﾟﾗﾒｰﾀの“EMG Mot Sel”の設定によって決まります。 

※コントローラリセットは “RESET” コマンドかフロントパネルのRESETスイッチ 

を送信、または実行してください。 

ｽﾃｰｼﾞ駆動中、1 軸を停止させる 

送) L:1 

- 21 -

I/Oに関するコマンド 

I : 汎用入力命令 

送信形式 I: 

返信形式 ① 

①汎用入力状態 0 ~ 7 汎用入力ポート状態 

※ 汎用入力状態の値は下記の表の①に対応しています。 

機能汎用入力ポートの状態を問い合わせます。 

注意 1)汎用入力ポートに入力がない場合、返信は “0” になります。 

注意 2)入力回路は “インターフェース仕様” をご参照ください。 

例 

① 

汎用入力 1 汎用入力 2 汎用入力 3 

9pin 10pin 11pin 

0 OFF OFF OFF 

1 ON OFF OFF 

2 OFF ON OFF 

3 ON ON OFF 

4 OFF OFF ON 

5 ON OFF ON 

6 OFF ON ON 

7 ON ON ON 

ON : スイッチ ON 状態 

OFF : スイッチ OFF 状態 

図の回路で、入力ポートを読み込む (SW1・SW2 が押された状態) 

送) I: 

返) 3 

- 22 -

O : 汎用出力命令 

送信形式 O:① 

機能汎用出力ポートを制御します。 

注意)出力回路は “インターフェース仕様” をご参照ください。 

例 

①汎用出力状態 0 ~ 7 汎用出力ポート状態 

※ 汎用出力状態の値は下記の表の①に対応しています。 

① 

汎用出力 1 汎用出力 2 汎用出力 3 

1pin 2pin 3pin 

0 OFF OFF OFF 

1 ON OFF OFF 

2 OFF ON OFF 

3 ON ON OFF 

4 OFF OFF ON 

5 ON OFF ON 

6 OFF ON ON 

7 ON ON ON 

ON : フォトカプラ LED 点灯 

OFF : フォトカプラ LED 消灯 

出力ポートに接続された LED1,LED2 を点灯させ、LED3 を消灯させる 

送) O:3 

- 23 - 

LED: TLR123(TOSHIBA)

パラメータ設定について 

インターフェースの選択、設定その他コントローラの初期設定を行います。 

■パラメータ一覧 

種類項目機能 

デフォルト値※ 

I / F s e l e c t ｲﾝﾀﾌｪｰｽ選択 GP-IB RS-232C RS-232C 

R S - 2 3 2 C S p d RS-232C通信速度 2400 9600 19200 38400 9600 

[ COMMUNICATION ] 

通信設定 

[ GENERAL ] 

一般設定 

[ AXIS ] 

軸毎の設定 

[Joy GENERAL] 

ジョイスティックの設定 

[Joy AXIS] 

各軸のジョイスティック 

設定 

R S - 2 3 2 C D e l RS-232C ﾃﾞﾘﾐﾀ CR+LF CR CR+LF 

G P - I B A d d r GP-IB ｱﾄﾞﾚｽ 1 ~ 30 8 

G P - I B D e l GP-IB ﾃﾞﾘﾐﾀ CR+LF EOI CR LF CR+LF 

G P - I B E O I GP-IB EOI OFF ON ON 

G P - I B S R Q GP-IB SRQ OFF ON ON 

A X I S S e l e c t 軸数 1 1+2 1+2 

I n i R e m / L o c ｲﾆｼｬﾗｲｽﾞモード選択 Remote Local Remote 

B E E P S e l e c t ﾋﾞｰﾌﾟ音制御 OFF ON ON 

L C D L i g h t LCDﾊﾞｯｸﾗｲﾄ点灯 OFF ON ON 

A c c . C o n t 加減速制御 S-Curve Linear S-Curve 

A c c . T i m e 加減速時間 10 ~ 2000 ms 100ms 

O R G D i r 機械原点方向 CCW+ CW+ CW+ 

P o s D i r LCDカウント方向 CCW+ CW+ CCW+ 

I N P o s R a n g e ｲﾝﾎﾟｼﾞｼｮﾝ範囲 ±1 ±3 ±7 counts ±1 counts 

U N I T S e l e c t LCD表示単位 um mm ﾟ off Double point mm 

P l a c e S e l 有効桁数の選択 6 places 7 places 8 places 8 places 

A x i s N a m e LCD軸名表示 1 ~ 9、A ~ Z 1 | 2 

M a x S p e e d 最大移動速度 0.000100 ~ 200.000000 mm/sec 50mm/sec 

J o g S p d H JOGｽﾋﾟｰﾄﾞ(High) 0.000100 ~ 200.000000 mm/sec 10mm/sec 

J o g S p d L JOGｽﾋﾟｰﾄﾞ(Low) 0.000100 ~ 200.000000 mm/sec 1mm/sec 

O r g S e l 機械原点復帰選択 mode 0 1 2 3 4 None mode 0 

Mo de 3 Po s 原点Mode3の指定位置 0.000100 ~ 200.000000 mm 0.5mm 

O r g S p d H 原点検出移動速度H 0.000100 ~ 200.000000 mm/sec 10mm/sec 

O r g S p d M 原点検出移動速度M 0.000100 ~ 200.000000 mm/sec 5mm/sec 

O r g S p d L 原点検出移動速度L 0.000100 ~ 200.000000 mm/sec 0.5mm/sec 

R o t L i m i t 回転ｽﾃｰｼﾞのｿﾌﾄﾘﾐｯﾄ 0.000100 ~ 999.999900 ° 345° 

S / D C o n t ｽﾛｰﾀﾞｳﾝ機能 Disable Enable Disable 

E M G M o t S e l EMGのﾓｰﾀ励磁 Disable Enable Disable 

A c c l S p d s e l 加速制御の選択 SD accl IM accl SD accl 

L < - > R S e l 左右側のｽﾃｰｼﾞ選択 None Stage1 Stage2 Stage 1 

T < - > B S e l 上下側のｽﾃｰｼﾞ選択 None Stage1 Stage2 Stage 2 

R i g h t D i r 右方向のｶｳﾝﾄ方向 Plus Minus Plus 

T o p D i r 上方向のｶｳﾝﾄ方向 Plus Minus Plus 

H / L S e l H/Lのﾓｰﾄﾞ選択 Low High Low 

J o y S p d 1 ｼﾞｮｲｽﾃｨｯｸ 1 速度 0.0001 ~ 200.0000 mm/sec 0.0001mm/sec 








J o y S p d 9 ｼﾞｮｲｽﾃｨｯｸ 9 速度 0.0001 ~ 200.0000 mm/sec 3mm/sec 

J o y S p d H ｼﾞｮｲｽﾃｨｯｸ Hﾓｰﾄﾞ速度 0.0001 ~ 200.0000 mm/sec 

COMMUNICATION,GENERAL,AXIS 

5mm/sec 

set default OK 

,Joy GENERAL,Joy AXiSのﾊﾟﾗﾒｰﾀが 


- 

[ DEFAULT ] デフォルト値※へ復帰 

save OK 

[ SAVE ] 設定項目保存 

RESET to START 

※ デフォルト値はコントローラが初期値として持っているパラメータ設定値です。 

出荷時のパラメータとは設定が異なる場合があります。 

※ 出荷時のパラメータについては、当社又は代理店へお問い合わせください。 

- 24 - 

RESET或いは電源の再投入により、 

設定したﾊﾟﾗﾒｰﾀが有効になります。 

-

■パラメータ詳細 

パラメータの設定を説明します。 

種類項目名選択肢説明 

[COMMUNICATION] I/F Select インターフェース選択 

通信設定 GP-IB 通信制御インターフェースをGP-IB 

RS-232C 通信制御インターフェースをRS-232C 

RS-232C Spd RS-232C通信速度 

2400bps RS-232C通信速度2400bps 




RS-232C Del RS-232Cデリミタ 

CR+LF RS-232CデリミタをCR+LFに設定する 

CR RS-232CデリミタをCRに設定する 

GP-IB Addr GP-IBアドレス 

1~30 GP-IBアドレスの設定 

GP-IB Del GP-IBデリミタ 

CR+LF GP-IBデリミタをCR+LFに設定する 

EOI GP-IBデリミタをEOIに設定する 

CR GP-IBデリミタをCRに設定する 

LF GP-IBデリミタをLFに設定する 

GP-IB EOI GP-IB EOI 

OFF GP-IB EOI使用OFF 

ON GP-IB EOI使用ON 

GP-IB SRQ GP-IB SRQ 

OFF 位置決め完了時に信号を出力しない 

ON 位置決め完了時に信号を出力する 

[GENERAL] AXIS Select 軸数 

一般設定 1 1軸仕様 

1+2 2軸仕様 

Ini Rem/Loc イニシャライズモード選択 

Remote POWERをONにしたときのモードがRemote 

Local POWERをONにしたときのモードがLocal 

BEEP Select ビープ音制御 

OFF ビープ音を鳴らさない 

ON ビープ音を鳴らす 

LCD Light LCDバックライト点灯 

OFF LCDバックライトを点灯させない 

ON LCDバックライトを点灯させる 

[AXIS] Acc. Cont 加減速制御 

軸毎の設定 S-Curve S字制御 

Linear 台形制御 

Acc. Time 加減速時間 

10~2000ms 加減速時間時間設定 

ORG Dir 機械原点方向 

CCW+ 機械原点復帰方向をCCW側とする 

CW+ 機械原点復帰方向をCW側とする 

Pos Dir LCDカウント方向 

CCW+ CCW移動でプラスカウント 

CW+ CW移動でプラスカウント 

- 25 -

[AXIS] INPos Range インポジション範囲 

軸毎の設定 ±1counts インポジション範囲を±1ｶｳﾝﾄに設定 

±3counts インポジション範囲を±3ｶｳﾝﾄに設定 

±7counts インポジション範囲を±7ｶｳﾝﾄに設定 

UNIT Select LCD表示単位 

um 表示単位をum単位にする 

mm 表示単位をmm単位にする 

° 表示単位を°単位にする 

OFF 単位を表示します 

Double Point mm,umの区切点を表示(mm単位表示) 

Place Sel 有効桁数の選択 

6places 特殊な場合使用 

7places 特殊な場合使用 

8places 通常使用 

Axis Name LCD軸名表示 

1~9,A~Z LCD表示の各軸名を変更する 

Max Speed 最大移動速度 

0.000100~ JOGスピードの最大設定値を設定する 

200.00000mm/sec 

Jog Spd H JOGスピード(High) 

0.000100~ JOGスピード(High)の速度を設定する 

200.00000mm/sec 

Jog Spd L JOGスピード(Low) 

0.000100~ JOGスピード(Low)の速度を設定する 

200.00000mm/sec 

Org Sel 機械原点復帰選択 

mode0 

(mode0選択時動作) 

mode1 


- 26 -

[AXIS] Org Sel mode2 

軸毎の設定 (mode2選択時動作) 

mode3 


mode4 


None 機械原点復帰OFF 

Mode3 Pos 原点Mode3の指定位置 

0.000100~ 原点復帰mode3の指定位置を設定する 

200.00000mm 

Org Spd H 原点検出移動速度H 

0.000100~ 機械原点復帰Hの速度を設定できる 

200.00000mm/sec 

Org Spd M 原点検出移動速度M 

0.000100~ 機械原点復帰Mの速度を設定できる 

200.00000mm/sec Org Spd H を超えた設定はできません。 

Org Spd L 原点検出移動速度L 

0.000100~ 機械原点復帰Lの速度を設定できる 

200.00000mm/sec Org Spd M を超えた設定はできません。 

- 27 -

[AXIS] Rot Limit 回転ステージのソフトリミット 

軸毎の設定 0.000100~ 

999.999900° 

回転時のソフトリミットの設定 

S/D Cont スローダウン機能 

Disable スローダウン機能OFF 

Enable スローダウン機能ON 

EMG Mot Sel EMGのモータ励磁 

Disable 緊急停止時のモータ励磁OFF 

Enable 緊急停止時のモータ励磁ON 

[Joy GENERAL] Accl Spd sel 加速制御の選択 

ｼﾞｮｲｽﾃｨｯｸの設定 SD accl 速度切り替え時ｽﾛｰｱｯﾌﾟ・ｽﾛｰﾀﾞｳﾝ切り替え 

IM accl 速度切り替え時即切り替え 

L R Sel 左右側のｽﾃｰｼﾞ選択 

None 左右側ｽﾃｰｼﾞ選択無し 

Stage1 左右側ｽﾃｰｼﾞをStage1に指定 

Stage2 左右側ｽﾃｰｼﾞをStage2に指定 

T B Sel 上下側のｽﾃｰｼﾞ選択 

None 上下側ｽﾃｰｼﾞ選択無し 

Stage1 上下側ｽﾃｰｼﾞをStage1に指定 

Stage2 上下側ｽﾃｰｼﾞをStage2に指定 

Right Dir 右方向のｶｳﾝﾄ方向 

Plus 右方向ｶｳﾝﾄPlusに指定 

Minus 右方向ｶｳﾝﾄMinusに指定 

Top Dir 上方向のｶｳﾝﾄ方向 

Plus 上方向ｶｳﾝﾄPlusに指定 

Minus 上方向ｶｳﾝﾄMinusに指定 

H/L Sel H/Lのﾓｰﾄﾞ選択 

Low 初期動作Lowに指定 

High 初期動作Highに指定 

[Joy AXIS] Joy Spd 1 ｼﾞｮｲｽﾃｨｯｸ1速度 

各軸の 0.0001~ ｼﾞｮｲｽﾃｨｯｸ1速度を設定 

ｼﾞｮｲｽﾃｨｯｸ設定 200.0000mm/sec Joy Spd 2を超えた設定はできません。 

Joy Spd 2 ｼﾞｮｲｽﾃｨｯｸ2速度 

0.0001~ ｼﾞｮｲｽﾃｨｯｸ2速度を設定 

200.0000mm/sec Joy Spd 3を超えた設定はできません。 





















200.0000mm/sec Joy Spd Hを超えた設定はできません。 

Joy Spd H ｼﾞｮｲｽﾃｨｯｸH速度 

0.0001~ 

200.0000mm/sec 

ｼﾞｮｲｽﾃｨｯｸH速度を設定 

- 28 -

■パラメータ設定方法 

パラメータは階層構造になっています。変更したい項目を選択して変更してください。 

※変更箇所をよく確認し仕様にあった変更を行ってください。また、設定よってはステージが動作しなくな 

る場合があります。 

・キースイッチの説明 

・設定方法 

[ Setup ] :ダブルクリックにてパラメータ設定に 

モードイン 

[ Enter ] :階層の下層へ移動します。また変更値 

を確定し、上層へ移動します。 

[ Cancel ] :階層の上層へ移動します。また変更値 

を確定しないで、上層へ移動します。 

[ 1 軸 CCW ・CW ] :種類・項目名・選択肢・数値の 

桁を選択します。 

[2 軸 CCW ・CW ] :数値の値を変更します。 

[RESET] :通常モードへ 

下記のように設定を行ってください。 

- 29 -

・設定例 

通信インターフェースの設定を変更します。設定手順は下記に示してあります。 

以上で設定完了。 

- 30 -

トラブルシューティング 

■ エラーメッセージ一覧 

LCD に表示されるエラーメッセージと原因、その復旧方法を説明します。 

エラーメッセージ 

(LCD表示) 

[ COMMAND ER ] 

※Q:コマンド ③-1 

[ SCALE ER ] 


[ OVER SPEED ] 


[ OVER FLOW ] 


[ EMERGENCY ] 


[ MN102 ] 


[ LIMIT ER ] 


※“Q:, SRQ:”コマンドをご参照ください。 

エラー内容復旧方法 

・定義されていないコマンドが 

送信された場合 

・スケールケーブルが接続さ 

れていない場合 

・カウントパルス(EA,EB)入力 

が同時に変化した場合 

・ステージが脱調した場合 

・ステージに過大な速度・衝 

撃・振動が加わった場合 

・モータケーブルが接続されて 

いない場合 

- 31 - 

正しいコマンドが送信されると復帰します。 

LCDにエラー表示が出ていてもコマンドは 

送信できます。 

スケールケーブルが正しく接続されている 

かを確認し、[ RESET ]スイッチを押す。 

安全を確認した後、[ RESET ]スイッチを押 

す。 

脱調の原因を取除き[ RESET ]スイッチを 

押す。 

・ステージを緊急停止した場合緊急停止の原因を取除き、安全を確認し 

た後、[ RESET ]スイッチを押す。 

ステージに過大な速度・衝撃・振動が加わ 

らないように設置し、安全を確認した後、[ 

RESET ]スイッチを押す。 

モータケーブルが正しく接続されているか 

確認し、[ RESET ]スイッチを押す。

仕様 

■ 一般仕様 

型式 

一般 

FC-501 

電源 AC90~110V 50/60Hz 

質量 5kg 

外形寸法(幅×高さ×奥行) 220×100×300mm 

消費電流あるいは電力 50VA 

動作温度 0℃~40℃ 

保存温度 

機能 

-10℃~70℃ 

制御軸数 2軸(同時制御可能) 

インポジション範囲 ±10,±30,±70nm 

指令周波数 500kpps max 

指令単位 10nm/パルス 

移動量最大設定範囲 16777215パルス 

フィードバックパルス 10nm/パルス 

エラー検出 

インターフェイス 

RS-232C 

ｵｰﾊﾞｰｽﾋﾟｰﾄﾞ,ｵｰﾊﾞｰﾗﾝ,脱調 etc 

転送レート 2400,9600,19200,38400 bps 

データ長 8ビット 

パリティなし 

ストップビット 1 

デリミタ 

GP-IB 

CR+LF,CR 

アドレス 1~30 

サービスリクエスト有効,無効 

デリミタ CR+LF,EOI,CR,LF 

緊急停止入力 A接点 

汎用入力 3ポート(フォトカプラ) 

汎用出力 3ポート(フォトカプラ) 

インポジション出力 2軸(フォトカプラ) 

- 32 -

■ モータドライバ設定 

モータドライバの分割数の設定は1軸・2軸各軸設定になります。 

※1 ドライバ設定スイッチはコントローラの正面から見て右側面にあります。左が1軸、右側が2軸に 

なります。モータドライバの設定を変更する場合には、弊社へお問い合わせください。 

・停止電流の設定 ( STOP ) 

SW No. 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 A B C D E F 

% 27 31 36 40 45 50 54 58 62 66 70 74 78 82 86 90 

停止電流の設定値は駆動電流の設定値に対するパーセント(%)です。[標準設定 No,5 (50%)] 

・駆動電流の設定 ( RUN ) 

SW No. 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 A B C D E F 

電流値 (A) 0.5 0.58 0.66 0.75 0.81 0.88 0.96 1.03 1.1 1.15 1.25 1.3 1.4 1.47 1.53 1.6 

駆動時の電流値です。[標準設定 No,0 (0.5A)] 

・マイクロステップの設定 (M) 

分解能 = ネジピッチ×ステップ角/360 

※マイクロステップの設定は出荷時に接続するステージに合わせて設定しておりますので、変更は 

しないでください。 

- 33 -

■ インターフェース仕様 

・ RS-232C 

● 転送速度 [ bit/S ] : 2400 , 9600 , 19200 , 38400 

● データ長 [ bit ] : 8 ( 固定 ) 

● パリティ : なし 

●ピンアサイン、回路図 

1 

2 

3 

4 

5 

6 

7 

8 

9 

出力 

入力 

―― 

入力 

出力 

TxD 送信データ 

RxD 受信データ 

S.G 

ｼｸﾞﾅﾙｸﾞﾗﾝﾄﾞ 

CTS 送信許可 

RTS 送信要求 

( 固定 ) 

● ｽﾄｯﾌﾟﾋﾞｯﾄ [ bit ] : 1 ( 固定 ) 

● フロー制御 : なし ( 固定 ) 

● 使用コネクタ 

● 適合プラグ 

: DDK D-Sub 9ピン 

オス 

●コンピュータとの接続 

コンピュータとの接続はストレートケーブルを使用します。 

ケーブル配線図 

1 

2 

3 

4 

5 

6 

7 

8 

9 

1 

2 

3 

4 

5 

6 

7 

8 

9 

: D-Sub 9ピン 

メス 

1 

2 

3 

4 

5 

6 

7 

8 

9 

ｼｰﾙﾄﾞ 

MAX202ECSE Vcc 

16 

0.1u 

4 

1 

0.1u 

5 

3 

2 

0.1u 

RS-232C 

D-Sub 9 ﾋﾟﾝｵｽ 

11 

12 

10 

9 

15 

14 

13 

7 

8 

6 

220Ω 

220Ω 

2 

3 

8 

7 

5 

TxDATA 

RxDATA 

RTS 

CTS 

GND 

0.1u 

- 34 - 

8 

3 

2 

20 

7 

6 

4 

5 

22 

1ｼｰﾙﾄﾞ . 

1 

6 9 

5

・ GP-IB 

Vcc 

TMS99C14A 

Vcc SN75160 

/ACCRQ Vcc 

/ACCGR TR 

PE GND 

/CE DIO1 

DIO1 DIO1 

DIO2 

DIO2 DIO2 

/WE DIO3 

DIO3 DIO3 

DBIN DIO4 

DIO4 DIO4 

DIO5 

DIO5 DIO5 

DIO6 

DIO6 DIO6 

DIO7 

DIO7 DIO7 

DIO8 DIO8 DIO8 

Vcc TE 

RS0 

RS1 

RS2 /CONT 

SRQ 

/INT ATN 

D0 (MSB) EOI 

D1 DAV 

D2 NRFD 

D3 NDAC 

D4 IFC 

D5 REN 

D6 

D7 (LSB) 

/ CLK 

/RESET 

Vss 

TE 

- 35 - 

Vcc 

SN75161 

DC GND 

SRQ SRQ 

ATN ATN 

EOI EOI 

DAV DAV 

NRFD NRFD 

NDAC NDAC 

IFC IFC 

REN REN 

NC TE 

Vcc SC 

Vcc 

18 

19 

20 

12 

24 

IEEE.488準拠ｺﾈｸﾀ 

1 

DIO1 

2 

DIO2 

3 

DIO3 

4 

DIO4 

13 

DIO5 

14 

DIO6 

15 

DIO7 

16 

DIO8 

GND ( 6) 

GND ( 7) 

GND ( 8) 

10 

SRQ 

11 

ATN 

5 

EOI 

6 

DAV 

7 

NRFD 

8 

NDAC 

9 

IFC 

17 

REN 

21 

22 

23 

GND ( 9) 

GND (10) 

GND (11) 

24 

12 

GND 

LOGIC 

SHIELD 

1 

13

・汎用 I/O 

●機能 : 汎用入力 × 3 

: 汎用出力 × 3 

: インポジション出力 × 2軸 

●使用コネクタ : 住友スリーエム(株) 

50 ﾋﾟﾝﾊｰﾌﾋﾟｯﾁｺﾈｸﾀ 10250-5202 

●適合プラグ : 住友スリーエム(株) 

50 ﾋﾟﾝﾊｰﾌﾋﾟｯﾁｺﾈｸﾀ 10150-3000PE (はんだ付用) 

10150-6000EL ( ﾌﾗｯﾄｹｰﾌﾞﾙ用) 

: その他、上記類似品が適応 

ピンアサイン、入出力回路図 

1 汎用出力 1 



4 1軸ｲﾝﾎﾟｼﾞｼｮﾝ 

5 2軸ｲﾝﾎﾟｼﾞｼｮﾝ 

6 汎用出力 COMMON 

7 システム予約 


9 汎用入力 1 



12 汎用入力COMMON 


14 +5V 

15 +5V 

16 GND 

17 GND 

18 NC 

19 NC 

20 NC 

21 NC 

22 NC 

23 NC 

24 NC 

25 NC 

26 NC 

27 NC 

28 NC 

29 NC 

30 NC 

31 NC 

32 NC 

33 NC 

34 NC 

35 NC 

36 NC 

37 NC 

38 +5V 

39 +5V 

40 NC 

41 NC 

42 NC 

43 NC 

44 NC 

45 NC 

46 NC 

47 NC 

48 GND 

49 GND 

50 NC 

PS2702-4 (NEC) 

PS2702-4 (NEC) 

システム予約には、メンテナンス用の信号がアサインされて 

います。信号を加えないようご注意ください。 

- 36 - 

25 

50 

1.2KΩ (1/4W) 

汎用入力 

COMMON 

COMMON 

汎用出力 

インポジション出力 

1 

26

・緊急停止入力 

●機能 : 緊急停止 (A接点) 

2端子間短絡することにより、AESステージの駆動を即時停止し、 

励磁を解除する。LCDには " EMERGENCY " と表示され、以降 

全ての制御を受付けない。復帰は電源の再投入、リセット実行 

●使用コネクタ : SMK株式会社 LGP6531-0400 

●適合プラグ 

項目仕様 

●ピンアサイン、入出力回路図 

外側: GND 

内側: 入力 

: SMK株式会社 LLP-0080-2000 

EMG 

- 37 – 

5.1K 

Vcc 

74HC14

シグマテック株式会社 

埼玉県飯能市柳町 5-2 

TEL 042-975-3031 FAX 042-975-3032 

URL http://www.sigma-tech.co.jp 

Email info-s@sigma-tech.co.jp

フィードバックステージコントローラ - シグマテック

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