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o Diretta conseguenza della valutazione precedente è che servono discrete quantità diprecursore per realizzare dei rivestimenti, proprio a causa di questa caratteristica delreattore nella parte inferiore che induce deposizioni non solo sul substrato.o Modellizzazione accurato delle temperature e delle distanze tra la zona ove ilprecursore sublima e quella ove si depone per ottimizzarne le prestazioni.
Capitolo seiPrecursorieCoatings via LPCVD
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