Tesi di MASTER in - surfacetreatments.it
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o Diretta conseguenza della valutazione precedente è che servono <strong>di</strong>screte quant<strong>it</strong>à <strong>di</strong>precursore per realizzare dei rivestimenti, proprio a causa <strong>di</strong> questa caratteristica delreattore nella parte <strong>in</strong>feriore che <strong>in</strong>duce deposizioni non solo sul substrato.o Modellizzazione accurato delle temperature e delle <strong>di</strong>stanze tra la zona ove ilprecursore sublima e quella ove si depone per ottimizzarne le prestazioni.
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