Tesi di MASTER in - surfacetreatments.it
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Una volta caricato il precursore il proce<strong>di</strong>mento <strong>di</strong> s<strong>in</strong>tesi è il seguente:Si realizza il vuoto da lavoro all’<strong>in</strong>terno del reattoreSi scalda attraverso la muffola il precursore ad una temperatura <strong>in</strong> cui le veloc<strong>it</strong>à <strong>di</strong> evaporazionesiano significativeIl precursore <strong>in</strong> fase vapore risale verso l’alto a segu<strong>it</strong>o dei moti convettivi e dei gra<strong>di</strong>enti <strong>di</strong>concentrazione descr<strong>it</strong>ti nel cap<strong>it</strong>olo 5.Si riscalda il substrato attraverso il <strong>di</strong>to a contatto con la spira ad una temperatura maggiore <strong>di</strong>quella della muffola.La superficie calda del substrato funge da s<strong>it</strong>o attivo termicamente attivato su cui avviene unchemisorbimento dei vapori del precursore, con conseguente reazione chimica <strong>di</strong> decomposizionedel precursore e formazione del depos<strong>it</strong>o.5.4.Valutazioni del sistema L.P.C.V.D.Come si può vedere l’apparato è molto semplice anche se richiede <strong>in</strong>tr<strong>in</strong>secamente alcunecon<strong>di</strong>zioni non banali:o Il precursore deve presentare buona volatil<strong>it</strong>à per poter raggiungere e creare ilrivestimento con le veloc<strong>it</strong>à <strong>di</strong> cresc<strong>it</strong>a tipiche dei sistemi C.V.D. classici anche senza lapresenza <strong>di</strong> gas carrier.o Il sistema <strong>in</strong> realtà non depos<strong>it</strong>a solamente sul substrato ma anche su tutte quellezone che presentano una temperatura sufficientemente alta per farlo: la superficie rivoltaverso l’alto, il supporto <strong>di</strong> acciaio, le pareti del <strong>di</strong>to e dello Schlenk prossime allaresistenza, etc. In questo senso il tipo <strong>di</strong> reattore utilizzato è un po’ una mezza via tra ireattori a cold walls (ve<strong>di</strong> cap.4) (se consideriamo la parte alta del sistema <strong>in</strong> prossim<strong>it</strong>àdelle tubazioni da vuoto) e quelli hot walls (se consideriamo la parte bassa del sistema <strong>in</strong>cui tutte le pareti vengono scaldate per irragiamento. Def<strong>in</strong>irei qu<strong>in</strong><strong>di</strong> questo sistemacome un Hybride hot walls.