Tesi di MASTER in - surfacetreatments.it

necessaria per il raggiungimento delle condizioni stazionarie dipende dalla velocità di flusso delgas, dalla sua conducibilità termica e dal diametro del reattore.4.8. Concentrazione dei reagentiLo strato limite per la concentrazione del precursore è rappresentato in figura 4.7.(reattore conpareti calde). Appena il precursore entra nel reattore si ha immediatamente la reazione alle pareti,provocando, così, un calo di concentrazione in prossimità di queste zone. Se la velocità di reazionealle pareti è molto più elevata della velocità con cui il gas diffonde verso di esse dal centro delreattore, la concentrazione del reagente diminuisce progressivamente dal centro del reattore allepareti. Il profilo risultante ha un andamento approssimativamente parabolico, e la sua curvaturatende via via a diminuire finché, al limite, tutto il reagente viene consumato. La distanza necessariaaffinché ciò avvenga dipende dalla velocità di flusso del gas, dal coefficiente di diffusione dellespecie in fase vapore e dal diametro del reattore.Strato limite per laconcentrazioneFlusso dei gasFig.4.7. Andamento del profilo di concentrazione del reagente in un reattoreCVD a pareti calde. Ciascuna freccia rappresenta il valore locale dellai d lE’ necessario comunque precisare, che lo strato limite per la concentrazione non esiste in tutte lecondizioni operative; se, infatti, la reazione alle pareti procede molto più lentamente delladiffusione del gas dal centro del reattore, la formazione dello strato limite non avviene poiché ilprecursore consumato nella reazione viene progressivamente rimpiazzato dal flusso in direzioneradiale.