Tesi di MASTER in - surfacetreatments.it
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alcuna variazione lungo il reattore. La <strong>di</strong>stanza necessaria per il raggiungimento <strong>di</strong> tali con<strong>di</strong>zioni<strong>di</strong>pende dalla viscos<strong>it</strong>à del gas, dalla sua veloc<strong>it</strong>à <strong>di</strong> flusso e <strong>di</strong>ametro del reattore.Strato lim<strong>it</strong>eProfilo veloc<strong>it</strong>àFlusso dei gas reagentiFig.4.5.Profili <strong>di</strong> veloc<strong>it</strong>à e strati lim<strong>it</strong>eLa figura 4.6. mostra la variazione del profilo <strong>di</strong> temperatura lungo un reattore CVD a pareti calde.Strato lim<strong>it</strong>eProfilo temperaturaFlusso dei gasFig.4.6. Andamento del profilo <strong>di</strong> temperatura <strong>in</strong> un reattore CVD a pareti calde. Le frecce <strong>in</strong><strong>di</strong>cano i valori dellatemperatura nelle <strong>di</strong>verse posizioni.Nell’istante successivo al suo <strong>in</strong>gresso nel reattore, il gas a contatto con le pareti si riscalda, ma alcentro del reattore la temperatura è ancora sostanzialmente <strong>in</strong>variata. Si realizza, qu<strong>in</strong><strong>di</strong>, lapropagazione del calore, per conduzione, dalle pareti del reattore al gas; dopo una certa <strong>di</strong>stanzacr<strong>it</strong>ica il profilo <strong>di</strong> temperatura <strong>di</strong>viene costante. Lo strato lim<strong>it</strong>e per la temperatura è cost<strong>it</strong>u<strong>it</strong>o dallaregione <strong>in</strong> cui quest’ultima varia dal valore <strong>di</strong> <strong>in</strong>gresso a quello delle pareti del reattore. La <strong>di</strong>stanza