บทที่3 เทคโนโลยีวงจรรวม
บทที่3 เทคโนโลยีวงจรรวม
บทที่3 เทคโนโลยีวงจรรวม
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
61<br />
Polycrystalline silicon<br />
n<br />
รูปที่<br />
3.7 การกัดผิวใหเปนรองบริเวณดานลางของเวเฟอร<br />
Polycrystalline silicon<br />
n<br />
รูปที่<br />
3.8 การสรางชั้นซิลิกอนโพลีคริสตอลไลน<br />
n n n<br />
Grind off starting wafer<br />
รูปที่<br />
3.9 การตัดและขัดผิวเวเฟอร<br />
n n n<br />
Polycrystalline silicon<br />
Emitter<br />
Base<br />
Collector<br />
รูปที่<br />
3.10 การมาสคเบส<br />
Oxide isolation<br />
SiO2<br />
SiO2<br />
SiO2<br />
SiO2