σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace

αυτή την ποικιλία ήταν η μελέτη της επίδρασης των επιπρόσθετων στρώσεων
στη διαδικασία της ανόπτησης.
Εδώ έχουμε άμορφο πυρίτιο και χρησιμοποιήσαμε την αντίστοιχη σχέση για το
γ(Τ). Με την ίδια επαναληπτική μέθοδο που χρησιμοποιήσαμε και παραπάνω
υπολογίσαμε τις θερμοκρασίες αυτών των δειγμάτων υπό ακτινοβόληση, από
τους λόγους των εντάσεων S/AS. Τα αποτελέσματα παρουσιάζονται γραφικά
στην Εικ. 46. Παρατηρούμε ότι η χρήση του Σφαιρικού φακού συνεπάγεται επαγόμενη
θέρμανση των δειγμάτων ακόμα και σε μικρές τιμές της ισχύος του laser.
Οι τρεις διαφορετικές σειρές δειγμάτων εμφανίζουν παρόμοια συμπεριφορά με
την αύξηση της πυκνότητας ισχύος. Φαίνεται πως το n-layer εμποδίζει την διάχυση
της θερμότητας προς τα μέσα, καθώς το δείγμα χωρίς αυτό εμφανίζει μεγαλύτερες
θερμοκρασίες από τα άλλα δύο. Ακόμα καλύτερη ‘προστασία’ από την ακτινοβόληση
φαίνεται να παρέχει η λεπτή στρώση ncSi, καθώς τα δείγματα στα ο-
ποία έχει εναποτεθεί, εμφανίζουν την μικρότερη θερμοκρασία στις μεγάλες τιμές
ισχύος του laser.
Δείγμα Glass-aSi(200nm)-ncSi (laser annealed)
Εικόνα 47: Η θερμοκρασία υπό ακτινοβόληση ως προς την πυκνότητα ισχύος κρυσταλλοποιημένου
δείγματος αμόρφου πυριτίου πάχους 200nm, όπως προέκυψαν από τα φάσματα Stokes &
Anti-Stokes που πήραμε με μήκος κύματος στα 488nm και σφαιρικό φακό εστίασης. Εδώ χρησιμοποιήθηκε
η εξάρτηση γ(Τ) που προέκυψε από την εργασία των R. Tsu, J.G. Hernandez [47].
Το τελευταίο δείγμα στο οποίο μελετήσαμε την θερμοκρασία υπό ακτινοβόληση,
ήταν ένα δείγμα αμόρφου πυριτίου πάχους 200nm στο οποίο προκαλέσαμε
κρυστάλλωση με ανόπτηση με παλμικό laser Nd-YAG στα 1064nm.
87