σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace
σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace
σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
4.3. Οπτικός <strong>και</strong> δομικός χαρακτηρισμός με φ. Raman<br />
Εικόνα 28: Σχηματική απεικόνιση των δύο διατάξεων Raman. (a) Η διάταξη Macro-Raman, ό-<br />
που: 1,5,6,8,11,13,14,15,17: Κάτοπτρα. 2: Μονοχρωμάτορας. 3: Πολωτής μεταβαλλόμενης πόλωσης.<br />
4: Πολωτής. 7: Κυλινδρικός αντικειμενικός Φακός εστίασης. 10: Φακός εστίασης της σκεδαζόμενης<br />
από το δείγμα δέσμης. 12,14: Διαφράγματα. (b) Η διάταξη micro-Raman.<br />
Από την μέχρι τώρα μελέτη των δειγμάτων μας με τις τεχνικές SEM <strong>και</strong> XRD<br />
αποκτήσαμε μία καλή γνώση για την μορφολογία <strong>και</strong> τη δομή των δειγμάτων μας.<br />
Δεν καταφέραμε όμως να προχωρήσουμε σε μία πιο λεπτομερή ποσοτική ανάλυση<br />
των δομικών χαρακτηριστικών των δειγμάτων μας όσον αφορά το ποσοστό<br />
κρυσταλλικότητας, τα μεγέθη των νανοκρυσταλλιτών <strong>και</strong> την σταδιακή μεταβολή<br />
τους με την αύξηση του πάχους της στρώσης του μcSi. Αυτή την δυνατότητα μας<br />
την παρέχει η φ. Raman.<br />
Στο τομέα Φυσικής του ΕΜΠ έχουμε στη διάθεσή μας δύο διατάξεις, μία<br />
Macro-Raman <strong>και</strong> μία micro-Raman. Η σχηματική απεικόνιση αυτών φαίνεται<br />
στην Εικ. 28. Η βασική διαφορά των δύο αυτών διατάξεων είναι το οπτικό μικροσκόπιο<br />
που χρησιμοποιείται στη δεύτερη για την εστίαση της προσπίπτουσας<br />
δέσμης στο δείγμα <strong>και</strong> την συλλογή, μέσω αυτού, της σκεδαζόμενης από το δείγμα<br />
δέσμης. Δίνεται έτσι η δυνατότητα καλύτερης χωρικής διακριτικής ικανότητας,<br />
καθώς μπορεί να μελετηθεί περιοχή επιφάνειας 1μm 2 . Επιπρόσθετα η διάταξη<br />
micro-Raman είναι εφοδιασμένη με ψυχώμενη CCD κάμερα για την ανίχνευση<br />
της αναλυόμενης από τριπλό φασματογράφο σκεδαζόμενης δέσμης, με αποτέλεσμα<br />
τη μεγάλη απόδοση ανίχνευσης <strong>και</strong> τον εξαιρετικό λόγο Σήμα/Θόρυβος.<br />
Με την διάταξη του Macro-Raman μελετήθηκαν <strong>και</strong> καθορίστηκαν βασικές παράμετροι<br />
που παίζουν ρόλο στο χαρακτηρισμό με φ. Raman, όπως το μήκος κύματος,<br />
η ισχύς της διεγείρουσας δέσμης <strong>και</strong> η επαγόμενη από τη διεγείρουσα δέσμη<br />
θερμοκρασία. Με την διάταξη micro-Raman προχωρήσαμε στο πιο λεπτομερή<br />
δομικό χαρακτηρισμό των δειγμάτων μας <strong>και</strong> σε χαρτογράφηση της επαγόμενης<br />
από την ανόπτηση με Laser κρυσταλλικότητας στα δείγματα αμόρφου πυριτίου.<br />
59
Change language