σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace

Το γεγονός αυτό έστρεψε το ενδιαφέρον μας στο ακριβή προσδιορισμό του
συντελεστή απορρόφησης του άμορφου πυριτίου καθώς και στην εύρεση της ε-
ξάρτησης του από την θερμοκρασία, κάτι που δεν είχαμε λάβει υπόψη μας στις
μέχρι τότε προσομοιώσεις. Η ενασχόληση λοιπόν προς αυτήν την κατεύθυνση
άφησε πίσω την παραγωγή δειγμάτων με ανόπτηση και γι’ αυτό το λόγο θα περιορίσουμε
την παρούσα ανάλυση σε δείγματα που ακτινοβολήθηκαν με δέσμη στα
266nm και πυκνότητες ενέργειας μεταξύ 100-200mJ/cm 2 , όπου καταφέραμε να
έχουμε κρυσταλλοποίηση του αμόρφου.
Εικόνα 21: Εικόνες από οπτικό μικροσκόπιο των ακτινοβολημένων περιοχών με δέσμη μήκους
κύματος 266nm στα (a) 100mJ/cm 2 και (b) 200mJ/cm 2 .
Οι αρχικές αυτές δοκιμές πραγματοποιήθηκαν στην διάταξη που παρουσιάσαμε
στην Εικ. 11, με την χρήση τετραγωνικής μάσκας στη θέση (4) και χρήση ενός
Plano-convex φακού (f=10cm) για την απεικόνιση της μάσκας. Οι αποστάσεις μεταξύ
μάσκας φακού και δείγματος, έδωσαν ως τελικό αποτέλεσμα μία τετραγωνική
δέσμη πλευράς 220μm με την οποία σαρώναμε περιοχές 20x20 ακτινοβολήσεων
με ένα παλμό ανά ακτινοβόληση. Οι πυκνότητες ενέργειας που χρησιμοποιήθηκαν
ήταν 100, 150, 200mJ/cm 2 με την μικρότερη να δίνει πιο ήπια και κοντά
στο επιθυμητό κρυσταλλοποίηση. Για το λόγο αυτό και καθώς είχαμε μεγάλη
ανομοιομορφία λόγο περιθλάσεων και ασταθειών της δέσμης, προχωρήσαμε σε
ανάλυση με SEM των περιοχών που ακτινοβολήθηκαν με τα 100 και 200mJ/cm 2 .
Για να δώσουμε μία καλύτερη αίσθηση για αυτές τις πρώτες δοκιμές και για να
γίνουν πιο κατανοητές οι εικόνες SEM που προέρχονται από αυτά τα δείγματα
48