σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace

More documents

Recommendations

Info

4.1.2. Δείγματα με αυξανόμενο πάχος μcSi Εικόνα 20: Εικόνες SEM των επιφανειών των δειγμάτων με αυξανόμενο πάχος μcSi. (a) Η επιφάνεια του δείγματος με 300nm μcSi σε δύο διαφορετικές μεγεθύνσεις, (b) 600nm και (c) 900nm. Τα δείγματα με το αυξανόμενο πάχος του υμενίου του μcSi μας δίνουν την δυνατότητα να μελετήσουμε την διαδοχική ανάπτυξη του. Σε αυτή τη σειρά μετρή- 46
σεων δεν επιστρώσαμε με αγώγιμο στρώμα χρυσού και γι’ αυτό οι εικόνες εμφανίζονται πιο θορυβώδεις από των υπολοίπων μετρήσεων, χωρίς όμως να χάνουμε κάποια σημαντική πληροφορία. Παρατηρούμε, στην Εικ. 20, ότι και στις τρεις περιπτώσεις πάχους, η μορφολογία της επιφάνειας εμφανίζεται ίδια με αυτή της μικροκρυσταλλικής επιφάνειας στην ολοκληρωμένη δομή. Έχουμε συσσωματώματα μικρότερων στοιχείων με σχήματα που προσεγγίζουν σφαιρικές μορφές, το μέσο μέγεθος των οποίων αυξάνεται όσο αυξάνεται το πάχος. Το γεγονός αυτό αποτελεί άλλη μία ένδειξη για την ανάστροφα κωνοειδής μορφή ανάπτυξης του υμενίου στην μικρομετρική κλίμακα. Στα 300nm παρατηρούμε ότι το μέγεθος και το σχήμα των συσσωματωμάτων ποικίλλει και ακολουθεί σε μεγάλο βαθμό την ανώμαλη επιφάνεια του αμόρφου πάνω στην οποία αναπτύσσεται. Στο ενδιάμεσο πάχος των 600nm φαίνεται πως κυριαρχούν τα πιο σφαιρικά σχήματα και ιδιαίτερα στα μεγαλύτερα σε μέγεθος συσσωματώματα. Στο μεγαλύτερο πάχος των 900nm έχουμε πλέον ξεκάθαρα την παρουσία μεγάλων σχεδόν σφαιρικών συσσωματωμάτων με μικρότερα και ακανόνιστου σχήματος να γεμίζουν τις περιοχές μεταξύ αυτών. Το γεγονός ότι στο υμένιο των 900nm παρατηρούνται ακόμα συσσωματώματα με μεγέθη συγκρίσιμα με εκείνα που κυριαρχούν στα 300nm μπορεί να μας οδηγήσει στο να υποθέσουμε ότι και στα τρία πάχη θα υπάρχουν περιοχές οι οποίες αποτελούνται από πιο ανεπτυγμένα συσσωματώματα (μεγαλύτερα και πιο σφαιρικά) και άρα θα περιέχουν πιο ανεπτυγμένους νανοκρυσταλλίτες και περιοχές με λιγότερο αναπτυγμένα συσσωματώματα (μικρότερα και πιο τυχαίου σχήματος) που θα αποτελούνται από μικρότερους και λιγότερο ανεπτυγμένους νανοκρυσταλλίτες. Η υπόθεση αυτή μπορεί να δικαιολογεί την ανάγκη που προέκυψε να εισάγουμε μία επιπρόσθετη μικροκρυσταλλική ζώνη στην ανάλυση των φ.Raman των δειγμάτων μας. Θα επανέλθουμε σε αυτήν την υπόθεση με περισσότερη λεπτομέρεια όταν θα μελετήσουμε τα ποσοστά των ζωνών στα φ.Raman. 4.1.3. Δείγματα ύστερα από ανόπτηση με laser Στα πλαίσια αυτής της διπλωματικής θα παρουσιαστούν οι πρώτες δοκιμές που κάναμε στην προσπάθεια μας να δημιουργήσουμε το πολυκρυσταλλικό υμένιο με ανόπτηση άμορφου πυριτίου. Ο στόχος αυτών των δοκιμών ήταν ο έλεγχος της αξιοπιστίας των αποτελεσμάτων των προσομοιώσεων που είχαμε τρέξει μέχρι εκείνη την στιγμή. Από αυτές τις προσομοιώσεις, τις οποίες παρουσιάσαμε σε προηγούμενο κεφάλαιο, προέκυψε ότι το ιδανικό μήκος κύματος για κρυσταλλοποίηση στα επιθυμητά βάθη, ήταν τα 1064nm με πυκνότητα ενέργειας στη περιοχή των 100- 200mJ/cm 2 . Τα αποτελέσματα όμως των πρώτων πειραμάτων ανόπτησης έρχονται σε σύγκρουση με αυτά τα συμπεράσματα, καθώς σε αυτές τις πυκνότητες ενέργειας δεν μπορέσαμε να παρατηρήσουμε καμία αλλαγή στη δομή του υλικού. 47
Page 1:
ΕΘΝΙΚΟ ΜΕΤΣΟΒΙΟ ΠΟ
Page 4 and 5: ...................................
Page 6 and 7: Abstract In this master thesis are
Page 8 and 9: 4.1.2. Δείγματα με αυξ
Page 10 and 11: μοποιούν απευθείας
Page 12 and 13: νουσες οπές στην ΖΣ
Page 14 and 15: σχετίζεται με το πο
Page 16 and 17: 1.4. Το περίγραμμα τη
Page 18 and 19: Παρόλο που οι δύο ε
Page 20 and 21: ηλεκτρονική μεταφο
Page 22 and 23: σικό ρόλος που παίζ
Page 24 and 25: των 800nm της στρώσης
Page 26 and 27: εναπόθεσης καθώς κ
Page 28 and 29: φορά τους στην επιφ
Page 30 and 31: φαρμογές φωτοβολτα
Page 32 and 33: Οι θερμοκρασιακές
Page 34 and 35: ρουμε τις βασικές π
Page 36 and 37: H πυκνότητα ενέργει
Page 38 and 39: Κεφάλαιο 3: Φασματο
Page 40 and 41: a a a Q sin( t) ... a sin( t) ... 0
Page 42 and 43: ενέργειας του αδια
Page 44 and 45: Από την σχέση (19) πρ
Page 46 and 47: ρυφής (Full Width at Half Maxi
Page 48 and 49: Για την απλοποίηση
Page 50 and 51: Εικόνα 18: (a) Σύγκρισ
Page 52 and 53: Στην ολοκληρωμένη
Page 56 and 57: Το γεγονός αυτό έστ
Page 58 and 59: Εικόνα 22: Εικόνες SEM
Page 60 and 61: τις εντάσεις στις ο
Page 62 and 63: Παρατηρούμε ότι οι
Page 64 and 65: να αναλύσουμε με με
Page 66 and 67: προκύπτει ένας μέσ
Page 68 and 69: 4.3.1. Επιλογή βέλτισ
Page 70 and 71: 480cm -1 για το αSi και μ
Page 72 and 73: Παρακινούμενοι λοι
Page 74 and 75: 4.3.2. Μελέτη βασικών
Page 76 and 77: 4.3.2.2. Διαδοχικά στρ
Page 78 and 79: τερα προσεκτικοί γ
Page 80 and 81: από το μήκος κύματο
Page 82 and 83: Η ζώνη του ncSi με την
Page 84 and 85: Εξάρτηση από την ισ
Page 86 and 87: Εξάρτηση από την ισ
Page 88 and 89: Από την μέχρι τώρα
Page 90 and 91: Ένας σφαιρικός φακ
Page 92 and 93: στο οποίο διαθέτου
Page 94 and 95: κληρωμένης δομής (Ε
Page 96 and 97: Εδώ τα φάσματα κατα
Page 98 and 99: κρυσταλλικού πυριτ
Page 100 and 101: φαιρέσουμε από την
Page 102 and 103: παρατηρήσεις (Εικ. 5
Page 104 and 105:
Σε αυτή τη κατηγορί
Page 106 and 107:
Μεταξύ των δύο μηκώ
Page 108 and 109:
Στην Εικ. 54 απεικον
Page 110 and 111:
Σειρά μετρήσεων με
Page 112 and 113:
4.3.4. Πειράματα Laser α
Page 114 and 115:
N G w Z (34) j ij i i 1 Με βάσ
Page 116 and 117:
Τα ποσοστά των τριώ
Page 118 and 119:
Στη περίπτωση των 30
Page 120 and 121:
Δείγμα της 3 ης κατη
Page 122 and 123:
Ο αριθμός των παλμώ
Page 124 and 125:
οχή σε μεγαλύτερη μ
Page 126 and 127:
Εικόνα 69: Εικόνες τ
Page 128 and 129:
Η μείωση της πυκνότ
Page 130 and 131:
Για τον δομικό χαρα
Page 132 and 133:
Παράρτημα Α: Χαρακτ
Page 134 and 135:
Crystallographic parameters Crystal
Page 136 and 137:
Παράρτημα Β: Διάταξ
Page 138 and 139:
Παράρτημα Γ: Επαναλ
Page 140 and 141:
2 η Επανάληψη Εικόν
Page 142 and 143:
Παράρτημα Δ: Βασικά
Page 144 and 145:
1 ( x, y) ( zi z j) 2 N( x, y) ( i,
Page 146 and 147:
[19] S.N.R. Kazmi, A.Y. Kovalgin, A
show all

σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace

Create successful ePaper yourself

Delete template?

Save as template?