σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace

More documents

Recommendations

Info

H πυκνότητα ενέργειας για κάθε προσομοίωση υπολογίστηκε ως εξής: προσδιορίσθηκε πειραματικά η ενέργεια της δέσμης στα 266 nm, με τη βοήθεια ενεργομέτρου, το οποίο τοποθετήθηκε μετά τον καθρέφτη 2 (Εικ. 11) και την αποκοπή μέσω μάσκας. Η διάμετρος του σποτ μετρήθηκε στα 400 μm. Η πυκνότητα ενέργειας που προκύπτει είναι κοντά στα 750 mJ/cm 2 . Επειδή, προηγούμενες προσομοιώσεις κατέδειξαν ότι αυτή η πυκνότητα ενέργειας οδηγεί στην εισαγωγή πολύ υψηλών θερμοκρασιών στην επιφάνεια του δείγματος, αποφασίστηκε η προσομοίωση να γίνει στην μισή πυκνότητα ενέργειας. Η τελική πυκνότητα ενέργειας που τίθεται ως είσοδος στο λογισμικό προκύπτει από τον πολλαπλασιασμό των 375 mJ/cm 2 , επί το (1-R), όπου R είναι η ανακλαστικότητα του άμορφου πυριτίου στο αντίστοιχο μήκος κύματος. Οι κατανομές αυτές ελήφθησαν στο χρονικό διάστημα εκείνο, στο οποίο η επιφανειακή θερμοκρασία, στο τμήμα του πυριτίου φτάνει στην μέγιστη τιμή της. Από τα αποτελέσματα στην Εικ. 12 προκύπτει, ότι η ακτινοβόληση με μικρά μήκη κύματος οδηγεί αναπόφευκτα σε εντοπισμό της θερμότητας σε ένα πολύ μικρό όγκο, πλησίον της επιφάνειας του άμορφου πυριτίου. Η αναπτυσσόμενη θερμοκρασία ξεπερνά κατά πολύ την θερμοκρασία τήξης του άμορφου πυριτίου (1200 ο C). Το αποτέλεσμα λοιπόν, της ακτινοβόλησης στο υπεριώδες και στο ο- ρατό είναι ουσιαστικά η εξάχνωση των επιφανειακών στρωμάτων και η τήξη ενός σημαντικού τμήματος του άμορφου υμενίου. Ταυτόχρονα, καθώς όλη η θερμότητα κατανέμεται στα πρώτα νανόμετρα, το υπόλοιπο τμήμα δεν φτάνει στην θερμοκρασία των ~550 0 C, κατά την οποία ξεκινά η κρυστάλλωση του άμορφου πυριτίου. Ο εντοπισμός αυτός της θερμότητας στην επιφάνεια της, οφείλεται αφενός μεν στις σχετικά υψηλές τιμές του συντελεστή οπτικής απορρόφησης σε αυτά τα μήκη κύματος (που οδηγεί σε πολύ μικρό μήκος οπτικής απορρόφησης), και στην πολύ μικρή θερμική διαχυτότητα του άμορφου πυριτίου. Έτσι, η οπτική ενέργεια μετασχηματίζεται σε θερμική πολύ κοντά στην επιφάνεια, και στη συνέχεια δεν διαδίδεται εύκολα προς τον όγκο του υλικού. Από αυτά τα συμπεράσματα προκύπτει ότι το πιο πολλά υποσχόμενο μήκος κύματος είναι αυτό των 1064 nm, καθώς δίνει την δυνατότητα να ανακρυσταλλώσουμε το άμορφο πυρίτιο στα επιθυμητά βάθη χωρίς ταυτόχρονα να ξεπεράσουμε την θερμοκρασία τήξης στα επιφανειακά στρώματα. Εικόνα 13: Θερμοκρασιακή κατανομή μέσα στον όγκο του υλικού, για μήκος κύματος στα 1064nm και διαφορετικές τιμές της πυκνότητας ενέργειας, όπως έχουν προκύψει από την προσομοίωση με βάση τις πιο πρόσφατες τιμές για τους συντελεστές απορρόφησης (α aSi =1.5x10 4 cm -1 , α ZnO =308cm -1 ). Τα στιγμιότυπα έχουν ληφθεί κατά τη στιγμή που η επιφανειακή θερμοκρασία μεγιστοποιείται. 28
Στην Εικ. 13 απεικονίζονται τα αποτελέσματα για διαφορετικές πυκνότητες ε- νέργειας της δέσμης στα 1064nm. Από αυτά προκύπτει ότι η περιοχή μεταξύ των 100 και 200 mJ/cm 2 φαίνεται να είναι η κατάλληλη για το επιθυμητό αποτέλεσμα της ανόπτησης. 29
Page 1: ΕΘΝΙΚΟ ΜΕΤΣΟΒΙΟ ΠΟ
Page 4 and 5: ...................................
Page 6 and 7: Abstract In this master thesis are
Page 8 and 9: 4.1.2. Δείγματα με αυξ
Page 10 and 11: μοποιούν απευθείας
Page 12 and 13: νουσες οπές στην ΖΣ
Page 14 and 15: σχετίζεται με το πο
Page 16 and 17: 1.4. Το περίγραμμα τη
Page 18 and 19: Παρόλο που οι δύο ε
Page 20 and 21: ηλεκτρονική μεταφο
Page 22 and 23: σικό ρόλος που παίζ
Page 24 and 25: των 800nm της στρώσης
Page 26 and 27: εναπόθεσης καθώς κ
Page 28 and 29: φορά τους στην επιφ
Page 30 and 31: φαρμογές φωτοβολτα
Page 32 and 33: Οι θερμοκρασιακές
Page 34 and 35: ρουμε τις βασικές π
Page 38 and 39: Κεφάλαιο 3: Φασματο
Page 40 and 41: a a a Q sin( t) ... a sin( t) ... 0
Page 42 and 43: ενέργειας του αδια
Page 44 and 45: Από την σχέση (19) πρ
Page 46 and 47: ρυφής (Full Width at Half Maxi
Page 48 and 49: Για την απλοποίηση
Page 50 and 51: Εικόνα 18: (a) Σύγκρισ
Page 52 and 53: Στην ολοκληρωμένη
Page 54 and 55: 4.1.2. Δείγματα με αυξ
Page 56 and 57: Το γεγονός αυτό έστ
Page 58 and 59: Εικόνα 22: Εικόνες SEM
Page 60 and 61: τις εντάσεις στις ο
Page 62 and 63: Παρατηρούμε ότι οι
Page 64 and 65: να αναλύσουμε με με
Page 66 and 67: προκύπτει ένας μέσ
Page 68 and 69: 4.3.1. Επιλογή βέλτισ
Page 70 and 71: 480cm -1 για το αSi και μ
Page 72 and 73: Παρακινούμενοι λοι
Page 74 and 75: 4.3.2. Μελέτη βασικών
Page 76 and 77: 4.3.2.2. Διαδοχικά στρ
Page 78 and 79: τερα προσεκτικοί γ
Page 80 and 81: από το μήκος κύματο
Page 82 and 83: Η ζώνη του ncSi με την
Page 84 and 85: Εξάρτηση από την ισ
Page 86 and 87:
Εξάρτηση από την ισ
Page 88 and 89:
Από την μέχρι τώρα
Page 90 and 91:
Ένας σφαιρικός φακ
Page 92 and 93:
στο οποίο διαθέτου
Page 94 and 95:
κληρωμένης δομής (Ε
Page 96 and 97:
Εδώ τα φάσματα κατα
Page 98 and 99:
κρυσταλλικού πυριτ
Page 100 and 101:
φαιρέσουμε από την
Page 102 and 103:
παρατηρήσεις (Εικ. 5
Page 104 and 105:
Σε αυτή τη κατηγορί
Page 106 and 107:
Μεταξύ των δύο μηκώ
Page 108 and 109:
Στην Εικ. 54 απεικον
Page 110 and 111:
Σειρά μετρήσεων με
Page 112 and 113:
4.3.4. Πειράματα Laser α
Page 114 and 115:
N G w Z (34) j ij i i 1 Με βάσ
Page 116 and 117:
Τα ποσοστά των τριώ
Page 118 and 119:
Στη περίπτωση των 30
Page 120 and 121:
Δείγμα της 3 ης κατη
Page 122 and 123:
Ο αριθμός των παλμώ
Page 124 and 125:
οχή σε μεγαλύτερη μ
Page 126 and 127:
Εικόνα 69: Εικόνες τ
Page 128 and 129:
Η μείωση της πυκνότ
Page 130 and 131:
Για τον δομικό χαρα
Page 132 and 133:
Παράρτημα Α: Χαρακτ
Page 134 and 135:
Crystallographic parameters Crystal
Page 136 and 137:
Παράρτημα Β: Διάταξ
Page 138 and 139:
Παράρτημα Γ: Επαναλ
Page 140 and 141:
2 η Επανάληψη Εικόν
Page 142 and 143:
Παράρτημα Δ: Βασικά
Page 144 and 145:
1 ( x, y) ( zi z j) 2 N( x, y) ( i,
Page 146 and 147:
[19] S.N.R. Kazmi, A.Y. Kovalgin, A
show all

σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

Delete template?

Save as template?