σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace
σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace
σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
2.3. Τεχνική Ανόπτησης του aSi με Laser για την δημιουργία μcSi<br />
Όπως είδη αναφέραμε, στα πλαίσια του προγράμματος Συνεργασία ήταν <strong>και</strong> η<br />
δημιουργία δομών όπου η μcSi στρώση δημιουργήθηκε με ανόπτηση laser α-<br />
μόρφου Πυριτίου. Η τεχνική της ανόπτησης με laser χρησιμοποιείται ήδη σε διάφορες<br />
εφαρμογές, όπως στην κατασκευή TFT οθονών [21]. Όταν ακτινοβολήσουμε<br />
άμορφο Πυρίτιο με παλμούς laser υψηλής έντασης <strong>και</strong> μικρής χρονικής<br />
διάρκειας, καταφέρνουμε να θερμάνουμε το υλικό σε επίπεδα όπου αρχίζει να<br />
κρυσταλλώνεται, καθώς παρέχουμε την απαραίτητη ενέργεια που χρειάζονται τα<br />
άτομα για να καταλάβουν θέσεις καλά διατεταγμένες στο χώρο. Η θερμοκρασία<br />
πάνω από την οποία αρχίζει η διαδικασία της κρυσταλλοποίησης του aSi βρίσκεται<br />
κοντά στους 500 με 600 ο C, ενώ στους 1200 ο C αρχίζει η τήξη του [22].<br />
Η κρυσταλλοποίηση του aSi με ανόπτηση laser έχει αποτελέσει αντικείμενο ε-<br />
κτενούς έρευνας για αρκετό <strong>και</strong>ρό. Η πιο διαδεδομένη τεχνική για ανόπτηση με<br />
laser περιλαμβάνει την χρήση lasers διεγερμένων διμερών. Το βασικό πλεονέκτημα<br />
αυτών των lasers είναι η ισχυρή απορρόφηση του αμόρφου στη UV ακτινοβολία<br />
που αυτά εκπέμπουν. Σε αυτή την περίπτωση η περισσότερη από την<br />
ενέργεια του laser απορροφάται κοντά στην επιφάνεια του λεπτού, με αποτέλεσμα<br />
πολύ καλής ποιότητας κρυσταλλοποίηση σε αυτή τη περιοχή. Τα lasers XeCl<br />
(308nm) <strong>και</strong> KrF (248nm) χρησιμοποιούνται ευρέως σε τέτοιες τεχνικές [23].<br />
Εικόνα 11: Σχηματική απεικόνιση της διάταξης που χρησιμοποιήθηκε για την ανόπτηση του ά-<br />
μορφου πυριτίου. (1) Nd:YAG laser, (2) Εξασθενητής δέσμης (Attenuator), (3) Καθρέφτης M1, (4)<br />
Ίριδα αποκοπής δέσμης, (5) Καθρέφτης M2 (6) Condenser lens, (7) Κάμερα CCD, (8) Διαμοιραστής<br />
δέσμης - Beam Splitter, (9) Διάταξη LED για τον φωτισμό του συγκεντρωτικού φακού, (10)<br />
Φακός, (11). Διάταξη motorized stepper κατά τους άξονες x <strong>και</strong> y <strong>και</strong> βάση στήριξης του δείγματος,<br />
(12) Η/Υ για τον έλεγχο του stepper, αλλά <strong>και</strong> την απεικόνιση του ειδώλου της CCD camera.<br />
Ωστόσο υπάρχουν περιορισμοί στη χρήση των laser διεγερμένων διμερών,<br />
όπως το ακριβό κόστος αγοράς, συντήρησης <strong>και</strong> χρήσης. Επιπρόσθετα, για ε-<br />
21
Change language