σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace

φορά τους στην επιφάνεια του δείγματος μέσω διάχυσης λόγω διαφοράς συγκέντρωσης,
με (PECVD) ή χωρίς βοήθεια. Στην επιφάνεια του δείγματος συντελούνται
οι αντιδράσεις και οι διεργασίες εκείνες που δημιουργούν την επιθυμητή
στρώση [14].
Ανάλογα με τις συνθήκες υπό τις οποίες πραγματοποιείται η εναπόθεση, ευνοείται
κάποιο από τα παραπάνω στάδια, ενώ τα άλλα επιφέρουν αμελητέα επίδραση
στο αποτέλεσμα της εναπόθεσης. Επιλέγοντας συνθήκες, όπου τα δύο
πρώτα στάδια πραγματοποιούνται με μεγάλη ευκολία, καθιστώντας με αυτό τον
τρόπο αμελητέα την επίδρασή τους στην εναπόθεση, καταφέρνουμε να έχουμε
ένα ομοιόμορφο αποτέλεσμα εναπόθεσης χωρίς ιδιαίτερη δυσκολία και χρησιμοποιώντας
διατάξεις εναπόθεσης (Εικ. 10a) [19], οι οποίες επιτρέπουν την ταυτόχρονη
εναπόθεση σε πολλά δείγματα μαζί (κάθετη και σε μικρή απόσταση τοποθέτηση
δειγμάτων), εξοικονομώντας χρόνο και χρήμα.
Αυτές οι συνθήκες μπορούν να επιτευχθούν με την μείωση της θερμοκρασίας
εναπόθεσης, ωστόσο με αυτόν τον τρόπο μειώνεται σημαντικά και ο ρυθμός ε-
ναπόθεσης. Επιπρόσθετα, εμφανίζονται προβλήματα στη ποιότητα της εναποτιθέμενης
στρώσης. Στην LPCVD το περιβάλλον μερικού κενού που δημιουργείται
με την χρήση αντλίας κενού, δίνει τη δυνατότητα εναπόθεσης σε μεγάλες θερμοκρασίες
χωρίς τη σημαντική εξάρτηση από τα στάδια μεταφοράς των αερίων. Αυτό
συμβαίνει καθώς ο συντελεστής διάχυσης των αερίων εξαρτάται αντιστρόφως
ανάλογα από τον αριθμό των συγκρούσεων στις οποίες υπόκεινται οι διάφορες
ενώσεις κατά την μεταφορά τους στην επιφάνεια. Σε χαμηλές ολικές πιέσεις, οι
συγκρούσεις αυτές ελαχιστοποιούνται με αποτέλεσμα την αύξηση του συντελεστή
διάχυσης και την εύκολη μεταφορά των αερίων στην επιφάνεια του δείγματος. Οι
πιέσεις που χρησιμοποιούνται εδώ κυμαίνονται από τα 0.3 έως τα 2.5mbar, ενώ
οι θερμοκρασίες από τους 300 έως τους 900 ο C.
Τα αέρια που χρησιμοποιήθηκαν για την εναπόθεση του ZnO:B ήταν το Διέθυλο
Ψευδαργύρου (C 2 H 5 ) 2 Zn (Diethyl Zinc, DEZ), ατμοί νερού και για τη νόθευση
με Βόριο, το διβοράνιο (B 2 H 6 ).
Η δομή της στρώσης και οι οπτικές και ηλεκτρικές της ιδιότητες, καθορίζονται
και από το πάχος της καθώς και από το ποσοστό νόθευσης [20]. Ενδεικτικά, η
τραχύτητα και άρα η σκεδαστική ικανότητα της στρώσης αυξάνει με αύξηση του
πάχους και μείωση του ποσοστού νόθευσης. Εδώ έχουμε να επιλέξουμε κατάλληλα
τις τιμές για να επιτευχθούν τα αντικρουόμενα χαρακτηριστικά της στρώσης.
Το μεγάλο πάχος συνεπάγεται καλή τραχύτητα, αλλά ταυτόχρονα συνεπάγεται
μείωση της διαπερατότητας στο ηλιακό φώς. Επίσης η μικρή νόθευση συνεπάγεται
μικρή ηλεκτρική αγωγιμότητα, αλλά ταυτόχρονα καλή διαπερατότητα, λόγω
λιγότερων ελεύθερων φορέων (Εικ. 10 b, c).
20