σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace
σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace
σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
εμφανίζονται με την αύξηση του πάχους του αμόρφου, ενώ ταυτόχρονα αποφεύγετε<br />
ο μεγάλος χρόνος εναπόθεσης που οδηγεί σε οικονομικά ασύμφορες διαδικασίες<br />
(κυρίως στη περίπτωση του μcSi). Η σκεδαστική ικανότητα συνδέεται με<br />
την τραχύτητα της επιφάνειας του TCO.<br />
Η τεχνική της LPCVD παρέχει τη δυνατότητα γρήγορης <strong>και</strong> οικονομικής εναπόθεσης<br />
της στρώσης του TCO εξασφαλίζοντας ταυτόχρονα <strong>και</strong> την επιθυμητή<br />
μορφολογία για την ιδιαίτερη χρήση του στην Micromorph κυψελίδα.<br />
Εικόνα 10: (a) Σχηματική απεικόνιση μίας διάταξης για LPCVD [19]. (b) Αριστερά: Η εξάρτηση<br />
της διαπερατότητας από το πάχος του υμενίου. Δεξιά: Εικόνες SEM διαφορετικού πάχους ZnO:B<br />
<strong>και</strong> ίδιας νόθευσης [20]. (c) Αριστερά: Η εξάρτηση της διαπερατότητας από το ποσοστό ντοπαρίσματος<br />
με Βόριο. Δεξιά: Εικόνες SEM υμενίων διαφορετικής νόθευσης <strong>και</strong> ίδιου πάχους [20].<br />
Στην τεχνική εναπόθεσης από ατμούς τα στάδια της εναπόθεσης είναι τρία.<br />
Πρώτον εισάγονται τα αέρια μέσα στον θάλαμο. Στη συνέχεια ακολουθεί η μετα-<br />
19