σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace

συνεπώς σε μείωση της απόδοσης του φωτοβολταϊκού. Γι’ αυτό το λόγο η τάση
είναι να μειωθεί αυτός ο βομβαρδισμός, επιλέγοντας όπως θα δούμε μεγαλύτερες
συχνότητες διέγερσης του πλάσματος.
Η ουσιαστική συνεισφορά των παραπάνω διεργασιών που οφείλονται στο
πλάσμα είναι το ότι η εναπόθεση μπορεί να πραγματοποιηθεί σε πολύ χαμηλότερες
θερμοκρασίες σε σύγκριση με τα συστήματα που δεν διαθέτουν πλάσμα.
Εικόνα 9: Σχηματική απεικόνιση της νανοδομής του μcSi:H σε σχέση με την συγκέντρωση της
Σιλάνης στο αέριο μείγμα (H 2 + SiH 4 ) [17].
Ο άμορφος η ο κρυσταλλικός χαρακτήρας της στρώσης και τα ποσοστά τους
ρυθμίζονται από τις παραμέτρους της εναπόθεσης, τις πιο βασικές από τις ο-
ποίες θα παρουσιάσουμε εν συντομία [14]:
Συχνότητα Διέγερσης του πλάσματος: Η συχνότητα που χρησιμοποιήθηκε
για την παρασκευή των δειγμάτων μας είναι τα 40 MHz. Σε σύγκριση με την
συμβατική RF συχνότητα των 13.56 MHz, προσφέρει αξιοσημείωτη αύξηση
στον ρυθμό εναπόθεσης και των δύο στρώσεων (aSi και μcSi) πετυχαίνοντας
ταυτόχρονα πολύ καλής ποιότητας υλικό. Με τη μεγαλύτερη τιμή της συχνότητας
οδηγούμαστε σε μία πιο ομαλή διαφορά δυναμικού μεταξύ δειγμάτων
και πλάσματος με αποτέλεσμα την μείωση της ενέργειας των ιόντων και συνεπώς
μείωση των καταστροφικών συνεπειών που προκαλούν στη σχηματιζόμενη
επιφάνεια [15]. Σε πρόσφατες δουλείες έχει φανεί [16], ότι η χρήση
συχνοτήτων στην VHF περιοχή (70 - 130 MHz) για τη στρώση του μcSi, όπου
το αρκετά μεγαλύτερο πάχος σε σύγκριση με τη στρώση του aSi καθυστερεί
την διαδικασία, οδηγεί σε πολύ πιο γρήγορο ρυθμό εναπόθεσης και ταυτόχρονα
φαίνεται πως κατασκευάζεται μία καλύτερη ως προς τις ιδιότητες της
στρώση.
Θερμοκρασία εναπόθεσης: Στις κλασσικές μεθόδους ο ρόλος της είναι σημαντικός,
καθώς μαζί με τις συγκεντρώσεις των αερίων, ρυθμίζουν τον ρυθμό
17