σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace

Γενικά Συμπεράσματα
Ολοκληρώνοντας την παρούσα εργασία θα συνοψίσουμε τα βασικά συμπεράσματα
που προέκυψαν.
Για τα δείγματα της ολοκληρωμένης δομής και των δειγμάτων με το διαδοχικά
αυξανόμενο πάχος του μcSi όπου το πολυκρυσταλλικό πυρίτιο έχει εναποτεθεί
με PECVD:
Η μελέτη του πολυκρυσταλλικού πυριτίου με SEM ανέδειξε τα αδρά χαρακτηριστικά
του υμενίου στη μικρομετρική κλίμακα, όπου φάνηκαν τα συσσωματώματα
νανοκρυσταλλιτών που σχηματίζονται μεγέθους μερικών εκατοντάδων νανομέτρων.
Από τις εικόνες των τομών προέκυψε η ανάστροφα κωνοειδής μορφή
που παρουσιάζουν σε βάθος τα συσσωματώματα αυτά, κάτι που επιβεβαιώθηκε
και από τις επιφανειακές εικόνες των δειγμάτων με το διαδοχικά αυξανόμενο πάχος
της στρώσης, όπου το μέγεθος των συσσωματωμάτων αυξάνεται με την αύξηση
του πάχους. Από τις τελευταίες προέκυψε επίσης η παρατήρηση ότι στα μεγάλα
πάχη της στρώσης εντοπίζονται ακόμα συσσωματώματα με μεγέθη ίδια με
αυτά των συσσωματωμάτων στα μικρά πάχη, κάτι που μπορεί να συνεπάγεται
περιοχές με λιγότερο ανεπτυγμένους νανοκρυσταλλίτες.
Από τα ακτινογραφήματα αυτών των δειγμάτων μπορέσαμε να προσδιορίσουμε
το μέσο μέγεθος των νανοκρυσταλλιτών σε όλο το πάχος της πολυκρυσταλλικής
στρώσης, καθώς το βάθος διείσδυσης των ακτίνων-Χ φτάνει τουλάχιστον μέχρι
την επόμενη στρώση του ZnO. Αυτό προέκυψε να κυμαίνεται μεταξύ των 9-
11nm ενώ προέκυψε μία μικρή προτίμηση ανάπτυξης στη κρυσταλλογραφική
διεύθυνση [220]. Από τα ακτινογραφήματα των δειγμάτων με τα διαδοχικά πάχη
μcSi προέκυψε ότι το μέγεθος των νανοκρυσταλλιτών αυξάνει με μεγαλύτερο
ρυθμό στα αρχικά στάδια της εναπόθεσης του υμενίου με προτίμηση στην [220]
και στη συνέχεια τα μεγέθη μένουν σχεδόν αμετάβλητα με μία μικρή αύξηση στην
διεύθυνση [111]. Η συγκεκριμένη τεχνική δεν μπορεί να παρακολουθήσει με καλή
ακρίβεια την ανάστροφα κωνική ανάπτυξη του υμενίου, εξαιτίας του μεγάλου βάθους
διείσδυσης των ακτίνων-Χ.
Από τα φάσματα Raman αυτών των δειγμάτων προέκυψαν ενδιαφέροντα αποτελέσματα
για το μέγεθος και το σχήμα των νανοκρυσταλλιτών.
Η πρωταρχική μελέτη στη διάταξη του Macro-Raman ανέδειξε τον τρόπο με
τον οποίο επηρεάζονται τα φάσματα από τις διάφορες παραμέτρους των μετρήσεων.
Προέκυψε ότι για να γίνει εφικτή η μελέτη των δομικών χαρακτηριστικών
της πολυκρυσταλλικής στρώσης, πρέπει να χρησιμοποιείται όσο το δυνατόν μικρότερο
μήκος κύματος (πράσινο ή μπλε) για τη μελέτη επιφανειακών στρωμάτων,
ώστε να αναδειχτεί η επίδραση της ανάστροφα κωνικής ανάπτυξης στο μέγεθος
και στο σχήμα των νανοκρυσταλλιτών. Ταυτόχρονα πρέπει η πυκνότητα
ισχύος με την οποία ακτινοβολείται το δείγμα να μην προκαλεί φαινόμενα επαγόμενης
θέρμανσης σε αυτό τα οποία επηρεάζουν την θέση και το εύρος των κορυφών
του φάσματος Raman.
121