28.02.2014 Views

σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace

σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace

σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace

SHOW MORE
SHOW LESS

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.

Ο αριθμός των παλμών ανά ακτινοβόληση, στο εύρος των ενεργειακών πυκνοτήτων<br />

που εξετάστηκε, φαίνεται να είναι η κύρια αιτία για την έντονη κρυστάλλωση,<br />

καθώς <strong>και</strong> στις μικρές πυκνότητες ενέργειας η κρυσταλλική ζώνη<br />

προσαρμόζεται με Λορεντζιανή κατανομή στις περισσότερες περιπτώσεις.<br />

Λαμβάνοντας υπόψη τα παραπάνω συμπεράσματα, η δεύτερη προσπάθεια<br />

ανόπτησης έγινε με έναν παλμό ανά ακτινοβόληση, όπου όπως αναφέραμε, στα<br />

1064nm δεν πήραμε εμφανή αποτελέσματα <strong>και</strong> έτσι παρουσιάζουμε παρακάτω<br />

τα αποτελέσματα με την χρήση των 266nm.<br />

4.3.4.3. 2 η προσπάθεια ανόπτησης με μηχανική σάρωση στα 266nm<br />

Σε αυτή την απόπειρα, χρησιμοποιήσαμε την γραμμή 266nm του Nd-YAG. Με<br />

τη χρήση τετράγωνης οπής, πλευράς 220μm, σαρώσαμε ακτινοβολώντας με ένα<br />

παλμό σε κάθε σημείο, μία περιοχή 20x20 spots. Χρησιμοποιήσαμε τρεις διαφορετικές<br />

πυκνότητες ενέργειας. 100, 150 <strong>και</strong> 200mJ/cm 2 (Εικ. 66).<br />

Εικόνα 66: Εικόνες των ακτινοβολημένων περιοχών στα 266nm για τις τρεις πυκνότητες ενέργειας<br />

που χρησιμοποιήσαμε. Το δείγμα που χρησιμοποιήθηκε ήταν της 1 ης κατηγορίας με το n-<br />

layer (18zw20). Η ακτινοβόληση έγινε με έναν παλμό ανά σημείο με τετραγωνική μάσκα πλευράς<br />

220μm <strong>και</strong> με μηχανική σάρωση 20x20 σημείων.<br />

Μπορούμε εύκολα να δούμε πως η ακτινοβολούμενη περιοχή παρουσιάζει μεγάλη<br />

ανομοιομορφία σε πολλά επίπεδα. Καταρχήν δεν έχει οριστεί σωστά το βή-<br />

114

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!