σχολη εφαρμοσμένων μαθηματικων και φυσικων ... - DSpace

Στη περίπτωση των 300 mJ/cm 2 η συνολική κρυσταλλοποίηση είναι περιορισμένη
σε μικρότερη επιφάνεια, ενώ οι μέγιστες τιμές του ποσοστού κρυστάλλωσης
είναι μειωμένες. Ταυτόχρονα, υπάρχει ένας σχεδόν διπλασιασμός (από το
4.2% μέγιστη τιμή στο 8%) στο ποσοστό των ορίων των κρυσταλλιτών στη περιοχή
της μέγιστης κρυστάλλωσης, κάτι που υποδηλώνει μία πιο ήπια διαδικασία
κατά την οποία δημιουργούνται μικρότεροι σε μέγεθος κρυσταλλίτες. Η χρήση
όμως περισσότερων του ενός παλμών, έχει οδηγήσει και σε αυτή την περίπτωση
σε αρκετά μεγάλους κρυσταλλίτες οι οποίοι δίνουν μία στενή φασματική ζώνη σε
όλες τις περιοχές ανεξάρτητα από το ποσοστό κρυστάλλωσης, όπως φαίνεται
από τα ενδεικτικά φάσματα Raman (Εικ. 61d).
Δείγμα της 3 ης κατηγορίας χωρίς n-layer (22wz20#4e)
Εικόνα 62: Χαρτογράφηση των ποσοστών των ζωνών για τα δείγματα της 3 ης κατηγορίας με
πυκνότητα ενέργειας 350 mJ/cm 2 . (a) Η ζώνη του μικροκρυσταλλικού πυριτίου. (b) Η ζώνη των
ορίων των κρυσταλλιτών. (c) Η ζώνη του αμόρφου. (d) Χαρακτηριστικά φάσματα Raman από τις
αντίστοιχα αριθμημένες περιοχές που φαίνονται στην (a).
Η χαρτογράφηση των ποσοστών των ζωνών των δειγμάτων της 3 ης κατηγορίας
ύστερα από ακτινοβόληση με τις ίδιες συνθήκες που ακτινοβολήθηκαν και τα
110