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Etudes par microscopie en champ proche des phénomènes de ...

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Chapitre IV – Réalisation d’un transistor à vanne <strong>de</strong> spin sous ultra-vi<strong>de</strong>.Fig. IV.8 : Photographie du spectromètre à électrons l<strong>en</strong>ts.2.B.1. Les l<strong>en</strong>tilles électrostatiquesL’optique électronique représ<strong>en</strong>tée sur la figure (Fig.IV.7), se compose d’une série <strong>de</strong> l<strong>en</strong>tillesélectrostatiques (optique <strong>de</strong> décélération et optique <strong>de</strong> sortie), dont l’objectif est <strong>de</strong> focaliser un pointobjet <strong>en</strong> un point image. Ces optiques comport<strong>en</strong>t égalem<strong>en</strong>t <strong><strong>de</strong>s</strong> jeux <strong>de</strong> déflecteurs afin d’améliorerla collimation du faisceau d’électrons. Leur fonctionnem<strong>en</strong>t est <strong>en</strong> fait très similaire à celui <strong><strong>de</strong>s</strong>l<strong>en</strong>tilles utilisées <strong>en</strong> optique géométrique. La trajectoire d’une <strong>par</strong>ticule chargée est elle aussi régit <strong>par</strong>la loi <strong>de</strong> Snell-Descartes : E1sinα1= E2sinα2, où E 1 et E 2 représ<strong>en</strong>t<strong>en</strong>t les énergies cinétiques<strong>de</strong> <strong>par</strong>t et d’autre d’une interface. En pratique, pour réaliser <strong><strong>de</strong>s</strong> surfaces équipot<strong>en</strong>tielles, nousutilisons au laboratoire <strong><strong>de</strong>s</strong> électro<strong><strong>de</strong>s</strong> à symétrie cylindrique <strong>de</strong> diamètre D=10 mm et espacées d’unedistance d=1 mm <strong>par</strong> <strong><strong>de</strong>s</strong> billes <strong>de</strong> saphir. Une <strong>par</strong>ticule chargée qui traverse ces cylindres va donc êtreaccélérée ou décélérée dans la zone intermédiaire, et sa trajectoire sera incurvée <strong>de</strong> sorte qu’un effet <strong>de</strong>focalisation (effet <strong>de</strong> l<strong>en</strong>tille) peut-être observé (Fig.IV.9). Comme <strong>en</strong> optique géométrique, lesl<strong>en</strong>tilles électrostatiques sont alors décrites <strong>par</strong> une focale et un grandissem<strong>en</strong>t dont les définitionsrespect<strong>en</strong>t les lois <strong>de</strong> l’optique classique. Cette analogie est fort utile pour la conception d’une optiqueélectronique [Harting76] 4 . La différ<strong>en</strong>ce majeure avec les l<strong>en</strong>tilles optiques provi<strong>en</strong>t <strong>de</strong> la naturemême <strong><strong>de</strong>s</strong> <strong>par</strong>ticules <strong>en</strong> mouvem<strong>en</strong>t : les électrons peuv<strong>en</strong>t interagir <strong>en</strong>semble (zone <strong>de</strong> charged’espace), et limit<strong>en</strong>t <strong>en</strong> général les performances (transmission, résolution…) <strong><strong>de</strong>s</strong> optiques quand lescourants <strong>de</strong>vi<strong>en</strong>n<strong>en</strong>t importants. L’<strong>en</strong>semble <strong>de</strong> notre optique <strong>par</strong> exemple, ne permet pas <strong>de</strong>laisser passer efficacem<strong>en</strong>t <strong><strong>de</strong>s</strong> courants supérieurs à quelques micro-ampères. Compte t<strong>en</strong>u dur<strong>en</strong><strong>de</strong>m<strong>en</strong>t <strong>de</strong> nos sources à électrons, l’utilisation d’un laser <strong>de</strong> puissance supérieure au mW est doncpeu utile.4 Le lecteur intéressé pourra trouver un excell<strong>en</strong>t ouvrage sur les optiques électroniques dans [Klemperer71].74

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