31.07.2015 Views

Etudes par microscopie en champ proche des phénomènes de ...

Etudes par microscopie en champ proche des phénomènes de ...

Etudes par microscopie en champ proche des phénomènes de ...

SHOW MORE
SHOW LESS

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.

Chapitre III – Réalisation et caractérisations d’un filtre à spin MF/SCd’énergie comm<strong>en</strong>ce à 2.8 eV. Nous attribuons cette valeur au gap <strong>de</strong> l’oxy<strong>de</strong> As 2 O 3 , qui est <strong>de</strong> 3 eV. Pourun recuit à 400°C, l’énergie seuil <strong>de</strong> perte se situe à 4.4 eV. Cette valeur est <strong>proche</strong> du gap <strong>de</strong> Ga 2 O 3 (4.4eV [Passlack94]), ce qui semble confirmer l’exist<strong>en</strong>ce d’un seul oxy<strong>de</strong> Ga 2 O 3 .Afin d’avoir un oxy<strong>de</strong> <strong>de</strong> composition bi<strong>en</strong> contrôlé, nous avons avant chaque dépôt chauffé lesubstrat ozoné à 400°C p<strong>en</strong>dant 10 minutes. L’oxy<strong>de</strong> d’épaisseur 2 nm est alors ess<strong>en</strong>tiellem<strong>en</strong>tformé <strong>de</strong> Ga 2 O 3 et son gap vaut 4.4 eV. La rugosité mesurée <strong>en</strong> AFM est <strong>de</strong> 1 nm pic à pic.Fig III.14 : spectre XPS <strong>de</strong> As3d (gauche) et Ga3d (droite) <strong>de</strong> la surface <strong>de</strong> GaAs oxydée selon leprocédé UVOCS pour différ<strong>en</strong>tes températures <strong>de</strong> recuit. A gauche, la déconvolution <strong><strong>de</strong>s</strong> pics(com<strong>par</strong>ée avec le spectre sans oxy<strong>de</strong>) permet <strong>de</strong> distinguer ess<strong>en</strong>tiellem<strong>en</strong>t <strong>de</strong>ux énergies <strong>de</strong>liaison : l’une c<strong>en</strong>trée autour <strong>de</strong> 41.4 eV et est attribuée au GaAs, et l’autre c<strong>en</strong>trée autour <strong>de</strong> 44.5eV et correspond au pic <strong>de</strong> l‘oxy<strong>de</strong> As 2 O 3 . A droite, la déconvolution <strong><strong>de</strong>s</strong> pics montre la prés<strong>en</strong>ced’une énergie <strong>de</strong> liaison c<strong>en</strong>trée autour <strong>de</strong> 19.1 eV (attribuée à GaAs), l’autre c<strong>en</strong>tré autour <strong>de</strong> 20.2eV (attribuée à l’oxy<strong>de</strong> Ga 2 O 3 ). (L’offset d’int<strong>en</strong>sité mesuré sur les spectres <strong>de</strong> droite, à hauteénergie, est lié à l’effet Doniach-Sunjic).63

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!