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Circuits et systemes de modelisation analogique de neurones ...

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Chapitre III : circuits intégrés réalisésspécifique pour la tension <strong>de</strong> programmation. De plus l'amélioration du ren<strong>de</strong>ment d'injectionnécessite <strong>de</strong>s structures pouvant violer les règles <strong>de</strong> <strong>de</strong>ssin <strong>de</strong>s fon<strong>de</strong>urs.3.1.2. Dispositif tunnel.Deux oxy<strong>de</strong>s peuvent servir à la réalisation <strong>de</strong> l'injecteur tunnel, l'oxy<strong>de</strong> <strong>de</strong> grille ou l'oxy<strong>de</strong>interpolysilicium si la technologie employée comporte <strong>de</strong>ux niveaux <strong>de</strong> polysilicium.Plusieurs auteurs considèrent que l'oxy<strong>de</strong> <strong>de</strong> grille est <strong>de</strong> meilleure qualité que l'oxy<strong>de</strong>interpolysilicium, notamment en raison du moins grand nombre supposé <strong>de</strong> sites <strong>de</strong> piégeage àl'interface silicium/oxy<strong>de</strong>. Mais c'est aussi, dans la plupart <strong>de</strong>s cas, l'oxy<strong>de</strong> le plus fin oumême le seul disponible.La technologie BiCMOS que nous utilisons comporte <strong>de</strong>ux niveaux <strong>de</strong> polysilicium avec uneépaisseur d'oxy<strong>de</strong> interpolysilicium réduite (T interpolysilicium = 19,5 nm typique) qui estnécessaire à la réalisation <strong>de</strong> con<strong>de</strong>nsateur <strong>de</strong> capacité importante. L'oxy<strong>de</strong> <strong>de</strong> grille estlégèrement plus fin (T ox = 16 nm typique). La qualité <strong>de</strong> l'interface est très dépendante duprocédé <strong>de</strong> fabrication <strong>et</strong>, hormis la tension <strong>de</strong> claquage, aucun paramètre la concernant n'estfourni par le fon<strong>de</strong>ur. Il ne nous est donc pas possible <strong>de</strong> faire un choix en utilisant ce critère.Finalement, nous réalisons l'injection au travers <strong>de</strong> l'oxy<strong>de</strong> interpolysilicium, l'avantaged'utiliser un vrai con<strong>de</strong>nsateur plutôt qu'un con<strong>de</strong>nsateur MOS étant décisif. En eff<strong>et</strong>l'injection au travers <strong>de</strong> l'oxy<strong>de</strong> <strong>de</strong> grille suppose qu'une <strong>de</strong>s armatures du con<strong>de</strong>nsateur soitréalisée par le substrat en silicium. La variation <strong>de</strong> l'épaisseur effective d'isolant en fonction <strong>de</strong>la tension appliquée vient alors perturber l'eff<strong>et</strong> tunnel.Nous avons testé plusieurs structures <strong>de</strong>stinés à réduire la tension <strong>de</strong> programmationnécessaire. Nous supposons qu'elle restera inférieure aux limites imposées par le procédé <strong>et</strong>les étages <strong>de</strong> commutations n'utilisent pas <strong>de</strong> transistors spéciaux.3.1.3. Métho<strong>de</strong> <strong>de</strong> programmation.Afin que le processus tunnel soit bidirectionnel, il est nécessaire d'utiliser une métho<strong>de</strong>perm<strong>et</strong>tant l'inversion <strong>de</strong> polarité aux bornes du con<strong>de</strong>nsateur d'injection. L'utilisation d'un<strong>et</strong>ension négative est beaucoup trop délicate à m<strong>et</strong>tre en œuvre <strong>et</strong> nous avons donc utilisé un<strong>et</strong>echnique plus classique <strong>de</strong> couplage capacitif (Voir figure 2-23 B).C'est la métho<strong>de</strong> généralement r<strong>et</strong>enue dès qu'il s'agit <strong>de</strong> contrôler plus d'un point mémoire.En eff<strong>et</strong> nombre d'auteurs qui ont testé <strong>de</strong>s mémoires à grilles flottantes ont occulté ceproblème101

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