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上 海 瞬 渺 光 电 技 术 有 限 公 司
Rayscience Optoelectronic Innovation Co., Ltd
Energetiq 的 EQ-10HR EUV 光 源 是 一 个 结 构 紧 凑 、 使 用 方 便 、 可 靠 性 强 并 且 成 本 低 的
EUV 光 源 。 对 于 需 要 HVM 模 拟 计 量 和 研 究 的 应 用 ,EQ-10HR 高 重 复 率 EUV 光 源 无 疑 是 最
适 合 的 。
EQ-10HR 系 列 无 电 极 Z-Pinch 10
kHz 高 重 复 率 极 紫 外 光 源
EQ-10HR 是 一 个 独 立 的 系 统 , 也 可 被 集 成 到 大 型 仪 器 中 。 该 光 源 系 统 包 括 电 极 Z-Pinch
光 源 组 件 , 磁 悬 浮 抽 真 空 子 系 统 , 气 体 输 送 子 系 统 , 电 力 输 送 子 系 统 , 与 电 子 控 制 设 备 。
EQ-10HR 是 能 够 2π 球 面 度 内 提 供 的 EUV 高 达 0.5 兆 焦 耳 / 脉 冲 , 在 持 续 运 行 时 脉 冲 重 复 率
高 达 10 kHz。
特 点 和 优 势
• 拥 有 独 特 专 利 的 无 电 极
Z-Pinch 技 术
• 10 kHz 脉 冲 频 率
• 等 离 子 尺 寸
- 直 径 为 1 mm 以 下
• 性 价 比 高 , 外 形 紧 凑
• CE 认 证 和 SEMI S2-0703 标 准
应 用
• EUV 计 量 学
• 加 速 极 紫 外 光 学 测 试
• EUV 光 刻 胶 开 发
• 缺 陷 检 测
• EUV 显 微 镜
Tel:021-34635258/59 www.rayscience.com E-mail:saleschina@rayscience.com