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上 海 瞬 渺 光 电 技 术 有 限 公 司
Rayscience Optoelectronic Innovation Co., Ltd
ENERGETIQ 激 光 驱 动 宽 带 光 源
ENERGETI 光 源 是 一 款 高 亮 度 、 高 稳 定 、 长 寿 命 的 宽 谱 光 源 , 其 采 用 革 命 性 的 光 源 技 术 ——
LDLS 激 光 驱 动 光 源 技 术 , 利 用 连 续 激 光 直 接 加 热 氙 离 子 至 需 要 的 温 度 , 以 产 生 高 效 的 宽
频 谱 光 。 该 产 品 具 有 很 宽 的 光 谱 范 围 , 谱 线 包 括 软 X 射 线 (SXR), 远 紫 外 线 (EUV), 深
紫 外 线 (DUV), 并 覆 盖 从 可 见 光 到 红 外 光 区 (IR), 波 长 范 围 从 170 nm 到 2100 nm 以 上 。
无 电 极 的 LDLS 技 术 可 以 产 生 小 体 积 高 亮 度 的 等 离 子 体 , 实 现 高 效 的 集 光 和 从 深 紫 外 到 可 见
光 甚 至 更 长 波 段 的 宽 光 谱 , 并 且 延 长 了 灯 的 使 用 寿 命 。
如 图 所 示 LDLS 的 EQ-99、EQ1500 与 30 瓦 氘 灯 和 75 瓦 氙 灯 的 光 谱 辐 射 度 对 比 。
下 面 介 绍 LDLS 系 列 的 几 个 款 式 , 它 们 与 传 统 的 氘 灯 和 氙 灯 相 比 有 明 显 的 光 谱 辐 射 强 度
优 势 , 详 情 页 可 登 录 http://www.rayscience.com/catalog_348.html 。
Tel:021-34635258/59 www.rayscience.com E-mail:saleschina@rayscience.com

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LDLS EQ-99
EQ-99 是 一 款 紧 凑 型 的 超 高 亮 度 、 高 稳 定 性 的 宽 带 光 源 , 专
门 用 于 苛 刻 的 成 像 和 光 谱 应 用 。 EQ-99 对 高 度 可 重 复 的 光 谱 测 量
提 供 出 色 的 空 间 稳 定 性 和 功 率 稳 定 性 。EQ-99 采 用 其 专 利 的 激 光
驱 动 灯 泡 技 术 , 是 需 要 超 长 灯 泡 寿 命 的 应 用 的 理 想 选 择 。 EQ-99
可 与 自 由 空 间 宽 带 反 射 光 学 耦 合 器 件 搭 配 使 用 , 可 匹 配 100 μm
的 等 离 子 体 , 满 足 相 应 客 户 的 仪 器 或 应 用 。EQ-99 具 有 高 亮 度 和
小 体 积 等 离 子 , 特 别 适 合 于 一 些 应 用 如 窄 狭 缝 光 谱 仪 , 小 直 径 的
光 纤 或 其 它 小 型 拓 展 型 光 学 器 件 。
特 点
• CW 激 光 等 离 子 体 放 电
• 在 整 个 光 谱 范 围 内 亮 度 非 常 高 : 紫 外 - 可
见 - 近 红 外 光 谱 (170 nm - 2100 nm)
• 无 需 多 个 灯 ( 取 代 氘 / 钨 / 氙 弧 光 灯 ):
光 学 系 统 简 化
• 卓 越 的 空 间 稳 定 性 : 可 重 复 测 量
• 长 期 和 短 期 功 率 稳 定 性 : 可 重 复 测 量
• 无 电 极 工 作 寿 命 长 : 降 低 耗 材 成 本 ; 仪 器
重 新 校 准 次 数 少
应 用
• 紫 外 - 可 见 光 谱 学
• 显 微 镜 照 明
• 环 境 分 析
• 材 料 特 性 分 析
• 气 相 测 量
• HPLC( 高 性 能 液 体 色 谱 )
• 需 要 超 长 寿 命 灯 泡 的 应 用
左 图 为 EQ-99
的 光 谱 辐 射 度
与 氘 灯 的 比 较 。
产 品 型 号
EQ-99
光 波 范 围
170 - 2100 nm
输 出 功 率
0.5 W
数 值 孔 径 Up to 0.47
光 源 寿 命
约 10000 hrs
同 步 输 出
自 由 空 间
光 源 重 量
0.7 kg
光 源 尺 寸
82.3 × 85.7 ×76.2 mm
应 用 紫 外 - 可 见 光 光 谱 测 定 法 , 光 学 组 件 测 试 , 显 微 镜 照 明 , 环 境 分 析 , 材 料 特 性
分 析 , 高 性 能 液 体 色 谱 (HPLC), 气 相 测 量 , 长 寿 命 灯 的 应 用 需 求 。
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LDLS EQ-99FC
LDLS EQ-99FC 与 LDLS EQ-99 相 似 , 但 其 集 成 了 光 学 器 件 , 在 需 要 光 纤 连 接 的 应 用
中 更 方 便 使 用 。 高 性 能 椭 球 形 光 线 收 集 器 , 确 保 超 高 的 亮 度 和 功 率 稳 定 性 , 并 在 整 个 光 谱
范 围 从 170 nm 到 2100 nm 内 得 以 保 持 , 有 效 地 将 光 束 耦 合 到 小 直 径 光 纤 。
特 点
• SMA 光 纤 耦 合 输 出 的 易 用 性
• 高 效 , 高 性 能 的 椭 圆 形 集 光 器 件
• 亮 度 非 常 高 , 频 谱 完 整 : 紫 外 - 可 见 -
近 红 外 光 谱 (170 nm - 2100 nm)
• 光 学 系 统 简 化 : 无 需 多 个 灯 ( 取 代 D2/
Tungsten/Xenon 弧 )
• 长 期 和 短 期 功 率 稳 定 性
• CW 激 光 等 离 子 体 放 电
• 无 电 极 工 作 寿 命 长
应 用
• 高 性 能 光 谱
• 高 级 图 像
• 光 纤 测 试
• 显 微 镜 照 明
• 环 境 分 析 与 监 测
• 材 料 表 征 与 测 试
• 气 相 测 量
• HPLC
• 过 程 质 量 监 控
• 适 用 于 需 要 超 长 灯 泡 寿 命
下 图 为 EQ-99FC 的 典 型 性 能 。
产 品 型 号
EQ-99-FC
光 波 范 围
170-2100 nm
输 出 功 率
0.3 W
数 值 孔 径 0.22
光 源 寿 命
约 10000 hrs
同 步 输 出
SMA 连 接 器 , 光 纤 耦 合 宽 带 光 输 出
光 源 重 量
0.7 kg
光 源 尺 寸
82.3 × 85.7 × 76.2 mm
应 用 紫 外 - 可 见 光 光 谱 定 法 , 光 纤 测 试 , 高 性 能 光 谱 学 , 高 端 成 像 , 高 性 能 液 体
色 (HPLC), 显 微 镜 照 明 , 环 境 分 析 和 监 测 , 材 料 表 征 和 测 试 , 气 相 测 量 ,
过 程 质 量 监 测 , 长 寿 命 灯 的 应 用 需 求 。
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LDLS EQ-99 Manager
具 有 开 创 性 的 LDLS 光 源 是 现 存
最 亮 、 寿 命 最 长 的 宽 带 光 源 。 它 的 特
点 使 之 成 为 高 精 度 成 像 和 光 谱 学 应 用
研 究 的 有 效 工 具 。 采 用 自 主 研 发 的 光
源 技 术 ——LDLS 激 光 驱 动 光 源 技
术 , 产 生 高 亮 度 的 从 170 nm 到 近 红
外 的 宽 谱 光 。
EQ-99 控 制 器 为 EQ-99 系 列
LDLS 提 供 增 强 型 的 控 制 功 能 。 增 加
的 功 能 使 之 成 为 现 有 最 明 亮 的 、 持 续
性 长 的 宽 带 光 源 。
控 制 器 特 点
USB 电 脑 接 口 使 用 USB 接 口 , 使 得 控 制 器 对 LDLS 容 易 控 制 和 连 接 。
LDLS 状 态 监 控 通 过 USB 接 口 连 接 电 脑 或 者 通 过 高 清 晰 度 的 前 显 示 面 板 , 可 以
监 控 LDLS 包 括 灯 泡 在 内 器 件 的 工 作 时 间 。
先 进 的 快 门 控 制 EQ-99 控 制 器 包 含 先 进 快 门 控 制 装 置 , 其 拥 有 多 种 控 制 模 式 和 可
编 程 的 快 门 速 度 。 可 选 的 快 门 控 制 装 置 可 以 直 接 安 装 在 EQ-99 的
出 光 窗 口 或 者 在 光 具 组 上 。
通 用 的 电 源 不 需 要 附 加 的 电 源 , 内 置 电 源 适 用 于 全 世 界 范 围 的 通 用 电 压 。
兼 容 最 新 的 EQ-99 产 品 适 用 于 EQ-99、EQ-99FC 和 EQ-99CAL 激 光 驱 动 光 源 产 品 。
该 控 制 器 具 有 如 下 优 势 :
1. 宽 谱 光 源 覆 盖 全 部 光 谱 范 围 , 避 免 需 要 多 个 光 源 。
2. 在 整 个 光 谱 范 围 内 都 有 很 高 的 亮 度 。
3. 专 利 的 激 光 驱 动 光 源 有 超 长 的 寿 命 。
4. 优 秀 的 空 间 和 功 率 稳 定 性 提 高 了 重 复 性 。
5. 无 电 极 操 作 降 低 了 消 耗 成 本 也 减 少 了 校 准 量 。
尺 寸 :
重 量 :
电 源 :
认 证 :
47 x 215 x 280 mm (1.8 x 8.5 x 11 in.)
1.6 kg (3.4 lbs)
100-240 v, 50/60 Hz, 2.5 A
欧 洲 合 格 认 证
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LDLS EQ-99CAL
传 统 的 辐 射 度 校 准 源 , 如 氘 、 石 英 卤 钨 灯 、 氙 弧 光 灯 , 其 光 谱 范 围 都 有 限 制 。 没 有 一 个 光
源 覆 盖 了 整 个 紫 外 - 可 见 光 范 围 , 并 且 具 有 相 似 的 输 出 性 能 。 此 外 , 传 统 的 光 源 在 使 用 100
小 时 后 都 需 要 重 新 校 准 , 通 常 经 过 使 用 500 小 时 后 都 要 更 换 灯 泡 。
EQ-99CAL 结 合 辐 射 度 计 的 功 能 , 具 有 长 寿 命 , 更 长 的 二 次 校 准 间 隔 和 低 成 本 。 在 350
nm 的 范 围 内 进 行 校 准 是 具 有 挑 战 性 的 , 尤 其 对 象 是 氘 灯 和 石 英 卤 钨 灯 。 氘 灯 在 350 nm 处 ,
其 照 度 相 比 它 在 深 紫 外 线 200 nm 处 的 数 值 要 低 一 个 数 量 级 。 同 样 , 石 英 钨 卤 素 灯 在 350 nm
处 的 照 度 较 低 , 其 在 可 见 光 范 围 内 的 值 要 高 一 个 数 量 级 以 上 。 此 外 , 两 个 单 独 校 准 的 灯 在 重
叠 波 长 区 会 增 加 额 外 的 不 确 定 性 。LDLS 作 为 一 个 校 准 的 单 光 源 覆 盖 整 个 从 200 nm 到 800
nm 范 围 , 在 350 nm 处 照 度 高 于 传 统 校 准 的 氘 和 石 英 卤 钨 灯 一 个 量 级 。
特 点 和 优 势
• 最 高 的 性 能 和 稳 定 性
• 单 光 源 覆 盖 200-800 nm
- 可 完 全 取 代 多 个 传 统 的 氘 / 钨
丝 灯 / 氙 光 源
- 在 关 键 350 nm 的 范 围 内 信 号
够 强 ( 氘 钨 交 替 )
• 灯 泡 长 寿 命 :>5000 小 时 的 典
型 寿 命
• 二 次 校 准 间 隔 时 间 长
• 相 比 氘 / 钨 / 氙 光 源 低 温 度 漂
移
• 可 溯 源 校 准
• 我 们 的 合 作 伙 伴 会 提 供 校 准 服
务 , 溯 源 至 NPL
• 温 度 稳 定 灯 外 壳
- 适 合 高 稳 定 测 量 应 用
应 用
• 光 源 光 谱 辐 射 度 测 量
• 传 感 器 , 探 测 器 , 摄 像 机 光 谱
灵 敏 度 测 量
• 制 造 进 程 质 量 控 制
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LDLS EQ-1500
EQ-1500 是 一 个 极 其 明 亮 、 稳 定 的 宽 带 光 源 , 是 专 门 用 于 光 谱 学 和 成 像 应 用 。 EQ-1500
拥 有 卓 越 的 空 间 和 功 率 稳 定 性 , 可 高 重 复 的 测 量 , 并 提 供 了 用 于 仪 器 优 化 耦 合 的 等 离 子 体 直
接 成 像 。 EQ-1500 采 用 已 获 专 利 的 激 光 驱 动 灯 泡 技 术 , 满 足 要 求 超 长 灯 泡 寿 命 的 应 用 。 EQ-
1500 可 与 一 系 列 宽 带 反 射 自 由 空 间 光 学 耦 合 器 搭 配 使 用 , 以 匹 配 200 μm 的 等 离 子 体 , 满 足
定 制 仪 器 和 应 用 需 求 。 因 其 具 有 高 亮 度 、 等 离 子 体 体 积 小 ,EQ-1500 是 特 别 适 合 一 些 应 用 ,
例 如 光 谱 仪 窄 狭 缝 , 小 直 径 的 光 纤 或 其 它 小 型 的 拓 展 光 学 器 件 等 。
特 点 和 优 势
• CW 激 光 等 离 子 体 放 电
• 光 谱 范 围 内 极 高 亮 度
- 紫 外 - 可 见 - 近 红 外 光 谱 (170
nm - 2100 nm)
• 光 学 系 统 简 化
- 避 免 了 多 灯 的 需 求 ( 取 代 氘 / 钨
/ 氙 弧 灯 等 光 源 )
• 卓 绝 的 空 间 稳 定 性
• 长 期 和 短 期 功 率 稳 定 性
• 工 作 寿 命 长
应 用
• 光 电 子 显 微 镜 (PEEM)
• 圆 二 色 光 谱
• 原 子 吸 收 光 谱 法
• 紫 外 - 可 见 光 光 谱 学
• 材 料 特 性 分 析
• 环 境 分 析
• 高 光 谱 成 像
• 气 相 测 量
• 先 进 的 显 微 镜
产 品 型 号 EQ-1500
光 波 范 围 170 - 2100 nm
输 出 功 率 1.5 W
数 值 孔 径 Up to 0.5
光 源 寿 命 约 10000 hrs
同 步 输 出 灵 活 的 光 学 界 面 , 自 由 空
间 或 者 光 纤 接 口 。
光 源 重 量
5 kg
光 源 尺 寸 160 × 142.2 × 218.4 mm
应 用 紫 外 - 可 见 光 光 谱 测 定
法 , 光 电 发 射 电 子 显 微 镜
(PEEM ), 圆 二 色 性 光
谱 学 , 原 子 吸 收 光 谱 学 ,
材 料 表 征 , 环 境 分 析 , 高
光 谱 成 像 , 气 相 测 量 , 高
级 显 微 镜 。
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现 有 的 照 射 光 源 往 往 功 率 过 于 低 , 操 作 可 靠 性 差 , 仪 器 体 积 大 、 昂 贵 并 且 复 杂 。
EQ-10 是 一 个 结 构 紧 凑 、 使 用 方 便 、 可 靠 性 强 并 且 成 本 低 的 EUV 光 源 , 基 于 Energetiq
专 利 的 Z-Pinch 技 术 , 在 使 用 氙 气 的 光 源 中 ,EQ-10 EUV 光 源 是 无 疑 是 最 具 竞 争 力 的 。
Energetiq 的 EQ-10 EUV 光 源 的 模 块 化 设 计 使 得 它 容 易 被 集 成 到 大 型 仪 器 中 。 该 光 源 系
统 包 括 : 无 电 极 Z-Pinch 组 件 , 真 空 和 气 体 子 系 统 , 电 力 传 送 子 系 统 和 电 子 控 制 设 备 。
EQ-10 是 能 够 提 供 在 2PI 球 面 度 内 高 达 10 W 的 极 紫 外 光 , 在 连 续 运 行 下 , 脉 冲 重 复 率 高 达
2 kHz。
EQ-10 系 列 无 电 极 Z-Pinch 10 W
极 紫 外 光 源
特 点 和 优 势
• 拥 有 独 特 专 利 的 无 电 极 Z-Pinch
技 术
• 使 用 氙 气 ,2PI 立 体 角 内 发 射 功
率 10 W
• 高 达 2 kHz 的 重 复 率
- 连 续 模 式 下 ,24/7
• 等 离 子 体 尺 寸
- 直 径 为 1 mm 以 下
• 性 价 比 高 , 外 形 紧 凑
• CE 认 证 和 SEMI S2-0703 标 准
应 用
• EUV 计 量 学
• EUV 光 刻 胶 开 发
• 缺 陷 检 验
• EUV 显 微 镜
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Energetiq 的 EQ-10HR EUV 光 源 是 一 个 结 构 紧 凑 、 使 用 方 便 、 可 靠 性 强 并 且 成 本 低 的
EUV 光 源 。 对 于 需 要 HVM 模 拟 计 量 和 研 究 的 应 用 ,EQ-10HR 高 重 复 率 EUV 光 源 无 疑 是 最
适 合 的 。
EQ-10HR 系 列 无 电 极 Z-Pinch 10
kHz 高 重 复 率 极 紫 外 光 源
EQ-10HR 是 一 个 独 立 的 系 统 , 也 可 被 集 成 到 大 型 仪 器 中 。 该 光 源 系 统 包 括 电 极 Z-Pinch
光 源 组 件 , 磁 悬 浮 抽 真 空 子 系 统 , 气 体 输 送 子 系 统 , 电 力 输 送 子 系 统 , 与 电 子 控 制 设 备 。
EQ-10HR 是 能 够 2π 球 面 度 内 提 供 的 EUV 高 达 0.5 兆 焦 耳 / 脉 冲 , 在 持 续 运 行 时 脉 冲 重 复 率
高 达 10 kHz。
特 点 和 优 势
• 拥 有 独 特 专 利 的 无 电 极
Z-Pinch 技 术
• 10 kHz 脉 冲 频 率
• 等 离 子 尺 寸
- 直 径 为 1 mm 以 下
• 性 价 比 高 , 外 形 紧 凑
• CE 认 证 和 SEMI S2-0703 标 准
应 用
• EUV 计 量 学
• 加 速 极 紫 外 光 学 测 试
• EUV 光 刻 胶 开 发
• 缺 陷 检 测
• EUV 显 微 镜
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EQ-10HP 系 列 无 电 极 Z-Pinch 20 W
极 紫 外 光 源
EQ-10HP Energetiq EUV 光 源 是 一 个 结 构 紧 凑 、 使 用 方 便 、 可 靠 性 强 并 且 成 本 低 的 EUV
光 源 。 EQ-10HP EUV 光 源 无 疑 最 适 合 用 于 计 量 和 研 究 应 用 。
EQ-10HP 是 Energetiq EQ-10 的 升 级 产 品 。 EQ-10HP 输 入 功 率 更 高 , 并 提 供 双 倍 的 EUV
功 率 和 更 高 的 亮 度 , 使 得 它 适 合 用 于 成 像 应 用 , 如 EUV 掩 模 检 查 。
Energetiq 的 EQ-10HP EUV 光 源 的 模 块 化 设 计 使 得 它 容 易 被 集 成 到 一 个 大 型 仪 器 中 。 该
光 源 系 统 包 括 : 无 电 极 Z-Pinch 光 源 组 件 , 真 空 和 气 体 子 系 统 , 电 力 传 送 子 系 统 和 电 子 控
制 设 备 。 EQ-10HP 能 够 在 2PI 球 面 度 内 发 射 高 达 20 W EUV, 在 连 续 运 行 , 脉 冲 重 复 率 高 达
2.5 kHz。
特 点 和 优 势
• 拥 有 独 特 专 利 的 无 电 极
Z-Pinch 技 术
• 使 用 氙 气 ,2PI 立 体 角 内 发 射
功 率 20 W
• 等 离 子 体 尺 寸
- 直 径 为 1 mm 以 下
• 性 价 比 高 , 外 形 紧 凑
• CE 认 证 和 SEMI S2-0703 标 准
应 用
• EUV 掩 模 检 查
• EUV 计 量 学
• 抗 缺 陷 开 发
• EUV 显 微 镜
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Energetiq 的 EQ-10SXR 是 结 构 紧 凑 、 使 用 方 便 、 可 靠 性 强 并 且 成 本 低 的 软 X 射 线 光 源
系 统 , 基 于 Energetiq 专 利 的 无 电 极 Z-pinch 技 术 。
Energetiq 的 EQ-10SXR 的 19" 机 箱 内 含 气 体 子 系 统 , 电 力 输 送 子 系 统 和 电 子 控 制 器 件 ;
无 电 极 Z-pinch 光 源 组 件 还 包 含 了 集 成 的 真 空 泵 和 高 效 率 的 脉 冲 调 制 器 。 这 种 模 块 化 的 设
计 , 使 之 易 于 集 成 到 显 微 镜 或 其 它 的 应 用 设 备 上 。
2 kHz。
EQ-10SXR 系 列 无 电 极 Z-Pinch
软 X 射 线 光 源
EQ-10SXR 能 够 发 射 高 达 400 mW 的 2.8 nm 光 束 , 在 连 续 运 行 下 功 率 脉 冲 的 重 复 率 高 达
特 点 和 优 势
• 独 特 的 无 电 极 Z-Pinch 技 术
• 用 氮 气 , 产 生 2-4 nm 的 软 X 射
线
• 等 离 子 体 尺 寸
- 直 径 为 1 mm 以 下
• 性 价 比 高 , 外 形 紧 凑
应 用
• 水 窗 显 微 镜
• 微 束 探 测 细 胞
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