MR thèse 2006-21 - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon

Chapitre V – Interface BSA/métal
modifications chimiques au cours de la formation de l’interface. En admettant l’homogénéité des dépôts,
l’épaisseur des couches de CrMet est estimée pour λ N1s = 1,48 nm.
L’allure générale des spectres XPS obtenus sur la BSA au cours de la métallisation est illustrée sur la
figure V-35 en fonction de l’épaisseur croissante de la couche de CrMet. Les intensités des pics des
éléments caractéristiques de la BSA diminuent alors que les signaux émis par le chrome augmentent
lorsque l’épaisseur de la couche de CrMet croît.
Cr LM
Cr2p
Na1s
O
KL
Cr2s
Intensité (unit arb)
3,6nm
2,1 nm
1,2 nm
O1s
Na
N1s
C1s
S2p
0,9 nm
0,2 nm
BSA
1100
1000
900
800
700
600
500
400
Energie de liaison (eV)
Figure V-35 : Spectres XPS obtenus au cours de la métallisation de la BSA en fonction de
l’épaisseur croissante de la couche de chrome métallique.
300
200
100
0
Une analyse quantitative de la composition élémentaire de la surface analysée en fonction de l’épaisseur
croissante de la couche de CrMet est présentée sur la figure V-36. Cette analyse montre effectivement une
diminution des pourcentages atomiques du carbone, de l’azote et du soufre simultanément à
l’augmentation du pourcentage atomique de chrome, ce qui indique un effet d’écrantage du carbone, de
l’azote et du soufre par le chrome. En revanche, la quantité d’oxygène augmente avec l’épaisseur de la
couche. Cette augmentation est liée à un apport extérieur d’oxygène, comme le montre l’augmentation du
rapport O/C de la figure V-37.
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