MR thèse 2006-21 - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon
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Chapitre V – Interface BSA/métal<br />
modifications chimiques au cours de la formation de l’interface. En admettant l’homogénéité des dépôts,<br />
l’épaisseur des couches de CrMet est estimée pour λ N1s = 1,48 nm.<br />
L’allure générale des spectres XPS obtenus sur la BSA au cours de la métallisation est illustrée sur la<br />
figure V-35 en fonction de l’épaisseur croissante de la couche de CrMet. Les intensités des pics des<br />
éléments caractéristiques de la BSA diminuent alors que les signaux émis par le chrome augmentent<br />
lorsque l’épaisseur de la couche de CrMet croît.<br />
Cr LM<br />
Cr2p<br />
Na1s<br />
O<br />
KL<br />
Cr2s<br />
Intensité (unit arb)<br />
3,6nm<br />
2,1 nm<br />
1,2 nm<br />
O1s<br />
Na<br />
N1s<br />
C1s<br />
S2p<br />
0,9 nm<br />
0,2 nm<br />
BSA<br />
1100<br />
1000<br />
900<br />
800<br />
700<br />
600<br />
500<br />
400<br />
Energie de liaison (eV)<br />
Figure V-35 : Spectres XPS obtenus au cours de la métallisation de la BSA en fonction de<br />
l’épaisseur croissante de la couche de chrome métallique.<br />
300<br />
200<br />
100<br />
0<br />
Une analyse quantitative de la composition élémentaire de la surface analysée en fonction de l’épaisseur<br />
croissante de la couche de CrMet est présentée sur la figure V-36. Cette analyse montre effectivement une<br />
diminution des pourcentages atomiques du carbone, de l’azote et du soufre simultanément à<br />
l’augmentation du pourcentage atomique de chrome, ce qui indique un effet d’écrantage du carbone, de<br />
l’azote et du soufre par le chrome. En revanche, la quantité d’oxygène augmente avec l’épaisseur de la<br />
couche. Cette augmentation est liée à un apport extérieur d’oxygène, comme le montre l’augmentation du<br />
rapport O/C de la figure V-37.<br />
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