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d'onde), (4) un analyseur (A) et (5) un détecteur (par exemple, une photodiode).
C'est la configuration de base (PREA) d'un ellipsomètre à annulation. Dans le cas
d'un ellipsomètre à modulation par élément rotatif, il faut ajouter à cette même
série de composantes, une ou plusieurs composantes polarisantes rotatives (par
exemple, un analyseur (Ar), un polariseur (Pr) ou un retardateur (Rr) rotatif). On
obtient alors des configurations formées de combinaisons entre des composantes
fixe et rotative du même genre (PPrEA, PEAA) et de genres différents (PrEA, PEAr,
PRE Ar, PERA, PRrEA) mais aussi entre des composantes rotatives de genres
différents (PrEAr, PERAr, PREAA, PERAA) (pour une revue complète des
différentes configurations, consulter Collins (1990)). Parmi les configurations les
plus utilisées, on retrouve surtout celles avec un analyseur ou un polariseur
comme seule composante optique rotative. Pour l'ellipsométrie à modulation par
analyseur rotatif, il faut remonter à l'avant-guerre pour trouver, dans un montage
rudimentaire composé d'un retardateur et d'une cellule photoélectrique en guise de
détecteur, la première utilisation d'un analyseur rotatif à des fins polarimétriques
(Kent et Lawson, 1937); toutefois, ce n'est qu'au cours des trois dernières
décennies qu'on a pu voir un développement soutenu de l'ellipsométrie à
modulation par analyseur rotatif. En effet, on peut maintenant répertorier plusieurs
configurations instrumentales, à savoir: (1) PEAr (Suits, 1971; van der Meulen et
Hien, 1974; Aspnes, 1974), (2) PREAr (Cahan et Spanier, 1969; Greef, 1970;
Hauge et Dili, 1973; Scholtens et aL, 1973; Russev, 1988), (3) PEAA (Archard et
aL, 1952; Faber et Smith, 1968; Straaijer et al., 1980) et (4) PRE ArA (Russev et
Arguirov, 1999). Ces dernières configurations utilisant la combinaison analyseur
rotatif-analyseur fixe ont été développées afin d'éliminer les effets de polarisation
résiduelle au niveau du détecteur (Aspnes, 1975).
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