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cavaliers, les profilés, les platines de rotation manuelles, les platines de rotation
motorisées des prismes et leur module de contrôle, ainsi que le système actif de la
table anti-vibration de l'ellipsomètre hybride; le détecteur et le module
d'alimentation et d'acquisition du tensiomètre) (Figure 4.1). Évidemment, la
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conception et l'élaboration du montage à partir de toutes ces pièces s'est avéré
être un processus fastidieux; l'agencement correct de ces pièces ne s'est pas non
plus fait sans problème, en particulier, si l'on pense au positionnement (latéral et
longitudinal) du faisceau lumineux sur tout le parcours optique. Comme mentionné
au chapitre précédent (voir Section 3.1.1.1), on ne dispose pour le moment que
d'un ajustement grossier des bras et des différentes composantes optiques
(exception faite de la source lumineuse) de l'ellipsomètre hybride, ainsi que de
l'enceinte du tensiomètre. L'absence d'un système et d'une procédure permettant
un ajustement de précision, particulièrement au niveau de l'alignement du faisceau
lumineux avec l'axe longitudinal des profilés des bras GEP et DEP, pourrait
s'avérer critique surtout lors de l'alignement des composantes optiques dans le
plan d'incidence. En effet, pour réaliser un alignement correct, il faut idéalement
que la lecture de B; corresponde bien à l'angle fait par le faisceau lumineux
relativement à la normale à l'interface et pas seulement à celui fait par l'axe
longitudinal du profilé.
Par ailleurs, avec son système en porte-à-faux, le montage est relativement plus
léger et moins encombrant que le montage précédent. Malgré tout, le passage
d'un système doublement supporté dans le précédent montage à un système en
porte-à-faux dans le présent montage fait en sorte qu'il est plus difficile de
s'assurer de l'unicité du plan d'incidence étant donné la plus grande déviation (en
flexion et en torsion) des profilés verticaux 124. Or, tous les angles azimutaux des
COPs sont mesurés relativement à ce plan et l'exactitude de \f et 11 dépend de
124 Avec des profilés verticaux en aluminium dotés de tolérances en flexion et en torsion,
respectivement, de 0.08°/m et de 0.75°/m, on parle ici de déviations potentielles,
respectivement, d'environ 0.05° et 0.48°.