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isotrope et, enfin transmis à travers les COPs idéales et linéaires (et tournées à
des angles azimutaux arbitraires) d'un ellipsomètre hybride en configuration
PREAA comme le vecteur de Jones issu du produit matriciel des matrices de
Jones des différentes COPs (dans l'ordre inverse du trajet optique parcouru par le
faisceau lumineux) tel que
avec
et 113,114
- 1 [1]
E i =(2)1/ 2 ±i
2
J (8 )=C [COS 8p sin8pcos8p ]
PPP.
sin
8 8 .28
P COS P sin P
152
(3.06)
(3.07)
(3.08a)
(3.08b)
J iso = [R P 0]
E 0 R S (3.08c)
J (8 ) = C [ cos 2 8 A sin 8 A COS 8 A]
A A A. 8 8 . 28
Sin A COS A Sin A
(3.08e)
où CA, CA" Cp, CR, JA, JA" Jlo, Jp, et J/R représentent, respectivement, les
constantes d'absorption et de phase (sauf pour E), et les matrices de Jones de A
(tourné de BA)' de Ar (tourné de BA')' de E isotrope, de P (tourné de Bp ) et de R2 de
un état de polarisation circulaire droit (c'est-à-dire qu'en regardant dans le faisceau lumineux, le
vecteur champ électrique décrira une trajectoire circulaire dans le sens anti-horaire).
113 On considérera, dans l'éq. (3.08b), R comme étant idéal ('R = 1). En fait, il a été montré
expérimentalement avec le précédent montage de l'ellipsomètre à annulation que la lame quart
d'onde montée à la position de R2 était quasi-idéale ('R '" 1) (Ducharme, 1986).
114 On rappellera, dans l'éq. (3.08c), que R' = fi: ou Ru: (x = p, s) pour un milieu stratifié constitué
de deux ou trois milieux simples et non absorbants.