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Instruments Canada; 8.3 cm x 30.5 cm x 41.9 cm; 3 axes moteurs potentiels dont
deux actifs, processeur DSP 60 MHz, mémoire non volatile 64 kB, 16 canaux
d'entrée/sortie numériques et bidirectionnels, interface RS-232-C) (Figure 3.3),
lequel établit une liaison entre le micro-ordinateur (par l'intermédiaire d'un câble
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GPIB-USB-B (National Instruments; capacité de contrôle maximale: 14 instruments
GPIB; /0 = 200 cm) et les platines de rotation motorisées (par deux ports série)
décrites précédemment (voir Section 3.1.1.1). Ce module est doté d'une librairie de
pilotes LabVIEW incluant toutes les commandes de motorisation des platines de
rotation et de communication DLL du logiciel d'exploitation Windows.
3.1.2.6 Détecteur de l'ellipsomètre hybride
La détection du signal lumineux à la sortie du parcours optique de
l'ellipsomètre hybride se fait par l'intermédiaire d'un détecteur (modèle HUV-
4000B, EG&G Electro-Optics, Salem [MA], États-Unis; d = 1.1 cm; aire effective: 1
cm 2 ; domaine spectral: 185-1150 nm), lequel est essentiellement constitué d'une
photodiode circulaire à quatre quadrants en silicium, doublée d'un amplificateur,
tous deux montés dans un boîtier en plastique (0.6 cm x 2.4 cm x 2.9 cm). Le
détecteur est relié au module d'intégration des signaux (voir Section 3.1.2.2) par
une connexion BNC et à un module d'alimentation (source de tension double) en
courant continu (modèle 950, Analog Devices, Norwood [MA], États-Unis; / = 50
mA, V= ±15 V) par une connexion triple (-15 V, +15 Vet mise à terre).
3.1.2.7 Module de contrôle actif des isolateurs de la plate-forme optique
Le contrôle actif des isolateurs de la plate-forme optique se fait par
l'intermédiaire d'un module électronique (Newport Instruments Canada; 16.5 cm x
28.0 cm x 42.7 cm) (Figure 3.3), qui est relié à trois isolateurs piézoélectriques 87
avec un couplage élastomère (modèle AIM3-A3-DO, Newport Instruments Canada;
87 En fait, les isolateurs sont dotés, pour l'amortissement horizontal et vertical, respectivement, d'un
système de pendule amorti à l'huile et d'un système d'actuation piézoélectrique.