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A2.6 Obtention de l'éq. (2.57) ............................................................... 236 A2.7 Obtention des éqs. (2.65) et (2.66) ................................................. 237 A2.7.1 Polarisation parallèle au plan d'incidence ............................. 243 A2.7.2 Polarisation perpendiculaire au plan d'incidence .................... 244 A2.7.3 Lois de Snell ................................................................... 245 A2.8 Obtention des éqs. (2.67a,b), (2.68a,b), (2.70), (2.75) et (2.76) ............ 249 A2.8.1 Coefficients locaux de réflexion de Fresnel ........................... 255 A2.8.2 Relation d'interdépendance des coefficients locaux de réflexion de Fresnel .......................................................... 257 A2.8.3 Rapport ellipsométrique pour un milieu stratifié constitué de deux milieux simples et non absorbants ........................... 260 A2.9 Obtention des éqs. (2.80a,b), (2.81 a-d), (2.86), (2.91 )-(2.94) ............... 263 A2.9.1 Coefficients globaux de réflexion de Fresnel ......................... 263 A2.9.2 Rapport ellipsométrique pour un milieu stratifié constitué de trois milieux simples et non absorbants: développement exact. ....................................................... 265 A2.9.2.1 Développement du numérateur N(y) ....................... 266 A2.9.2.1.1 Développement du numérateur du terme N1 ••••••••••••••••••••••••••••••••••••••••••• 268 A2.9.2.1.2 Développement du numérateur du terme N2 •••••••••••••••.••••••••••••••••••••••••••• 270 A2.9.2.1.3 Développement du numérateur du terme N 3 ........................................... 274 A2.9.2.1.4 Développement des termes N1, N2 et N 3 .. 276 A2.9.2.2 Développement du dénominateur O(y) .................... 277 A2.9.2.2.1 Développement du dénominateur du terme 0 1 ........................................... 279 A2.9.2.2.2 Développement du dénominateur du terme O2 ........................................... 281 A2.9.2.2.3 Développement du dénominateur du terme 0 3 ........................................... 285 xi
A2.9.2.2.4 Développement des termes 0 1 , O 2 et 0 3 •• 287 A2.9.3 Rapport ellipsométrique pour un milieu stratifié constitué de trois milieux simples et non absorbants: développement approximatif d'ordre 0 ................................. 288 A2.9.4 Rapport ellipsométrique pour un milieu stratifié constitué de trois milieux simples et non absorbants: développement approximatif d'ordre 1 ................................. 292 A2.9.4.1 Développement du facteur FN ............................... 294 A2.9.4.2 Développement du facteur Fo ............................... 297 A2.9.4.3 Développement du facteur (FN - Fo) ....................... 301 A2.10 Obtention des éqs. (2.98) et (2.99) ................................................. 307 A3.1 Équation de B;ex p .......................................................................... 309 A3.2 Obtention des éqs. (3.09) et (3.10a,b) .............................................. 312 A3.3 Obtention des éqs. (3.12)-(3.16a-d) ................................................ 317 A3.4 Obtention des éqs. (3.26a-d) ......................................................... 337 A3.5 Obtention des éqs. (3.29) et (3.30a-e) ............................................. 339 A3.6 Obtention des éqs. (3.33) et (3.34) ................................................. 344 A3.7 Obtention des éqs. (3.40) et (3.41) ................................................. 353 xii
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A2.6 Obtention de l'éq. (2.57) ............................................................... 236<br />
A2.7 Obtention des éqs. (2.65) et (2.66) ................................................. 237<br />
A2.7.1 Polarisation parallèle au plan d'incidence ............................. 243<br />
A2.7.2 Polarisation perpendiculaire au plan d'incidence .................... 244<br />
A2.7.3 Lois de Snell ................................................................... 245<br />
A2.8 Obtention des éqs. (2.67a,b), (2.68a,b), (2.70), (2.75) et (2.76) ............ 249<br />
A2.8.1 Coefficients locaux de réflexion de Fresnel ........................... 255<br />
A2.8.2 Relation d'interdépendance des coefficients locaux de<br />
réflexion de Fresnel .......................................................... 257<br />
A2.8.3 Rapport ellipsométrique pour un milieu stratifié constitué<br />
de deux milieux simples et non absorbants ........................... 260<br />
A2.9 Obtention des éqs. (2.80a,b), (2.81 a-d), (2.86), (2.91 )-(2.94) ............... 263<br />
A2.9.1 Coefficients globaux de réflexion de Fresnel ......................... 263<br />
A2.9.2 Rapport ellipsométrique pour un milieu stratifié constitué<br />
de trois milieux simples et non absorbants:<br />
développement exact. ....................................................... 265<br />
A2.9.2.1 Développement <strong>du</strong> numérateur N(y) ....................... 266<br />
A2.9.2.1.1 Développement <strong>du</strong> numérateur <strong>du</strong><br />
terme N1 ••••••••••••••••••••••••••••••••••••••••••• 268<br />
A2.9.2.1.2 Développement <strong>du</strong> numérateur <strong>du</strong><br />
terme N2 •••••••••••••••.••••••••••••••••••••••••••• 270<br />
A2.9.2.1.3 Développement <strong>du</strong> numérateur <strong>du</strong><br />
terme N 3 ........................................... 274<br />
A2.9.2.1.4 Développement des termes N1, N2 et N 3 .. 276<br />
A2.9.2.2 Développement <strong>du</strong> dénominateur O(y) .................... 277<br />
A2.9.2.2.1 Développement <strong>du</strong> dénominateur <strong>du</strong><br />
terme 0 1 ........................................... 279<br />
A2.9.2.2.2 Développement <strong>du</strong> dénominateur <strong>du</strong><br />
terme O2 ........................................... 281<br />
A2.9.2.2.3 Développement <strong>du</strong> dénominateur <strong>du</strong><br />
terme 0 3 ........................................... 285<br />
xi
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