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2.3.2.2.3 Équation ellipsométrique de Drude pour un
milieu intermédiaire isotrope mince ................. 112
2.3.2.2.4 Équations variationnelles des angles
ellipsométriques ......................................... 113
III. MATÉRIEL ET MÉTHODES EXPÉRIMENTALES ............................... 115
3.1 Description de l'ellipsomètre hybride, à annulation et à modulation par
analyseur rotatif, en configuration PREAA ......................................... 116
3.1.1 Partie opto-mécanique .......................................................... 116
3.1.1.1 Montage ellipsométrique ............................................ 116
3.1.1.2 Station de travail anti-vibration ..................................... 124
3.1.2 Partie électronique ............................................................... 124
3.1.2.1 Micro-ordinateur et carte d'acquisition ........................... 124
3.1.2.2 Module d'alimentation et d'intégration des signaux .......... 125
3.1.2.3 Module de contrôle du système motorisé de
viii
positionnement vertical .............................................. 126
3.1.2.4 Module d'alimentation et de conversion des signaux des
encodeurs angulaires absolus ...................................... 126
3.1.2.5 Module de contrôle des platines de rotation motorisées .... 126
3.1.2.6 Détecteur de l'ellipsomètre hybride ............................... 127
3.1.2.7 Module de contrôle actif des isolateurs de la plate-forme
optique ................................................................... 127
3.1.3 Partie informatique ............................................................... 129
3.1.3.1 Logiciel de pilotage de la carte d'acquisition PCI-6023E .... 129
3.1.3.2 Logiciel de pilotage du câble GPIB-USB-B ..................... 129
3.1.3.3 Logiciel de gestion de l'ellipsomètre hybride ................... 129
3.2 Description du tensiomètre .............................................................. 131
3.2.1 Partie mécanique .................................................................. 131
3.2.1.1 Montage tensiométrique ............................................. 131
3.2.2 Partie électronique ................................................................ 138