REPUBLIQUE ALGERIENNE DEMOCRATIQUE ET POPULAIRE

Chapitre IV Modélisation de la décharge électrostatique dans un film de polyimide
RH 30% 50% 80%
0
600V
V
α
x10 -2
Tf
(s)
Tp
(s)
µ (m 2 /vs)
x10 -15
α
x10 -2
Tf
(s)
Tp
(s)
µ(m 2 /vs)
x10 -15
α
x10 -2
Tf
(s)
Tp
(s)
µ (m 2 /vs)
x10 -15
11 17 61 6 13 30 52 7 14 35 48 7.5
1000V 16 19 59 6 20 30 50 7 21 33 47
1500V 17 19 59 6 20 22 58 7 23 24 56
2000V 18 21 58 6.5 21 24 55 8.5 32 25 54
2500V 20 23 57 7.5 30 25 54 9
62 28 52
Tableau IV.2 : Evolution des paramètres du modèle de transport de charge déterminés par
la procédure de fittage avec la tension de grille et le taux de RH.
IV.4.2. Effet de RH sur la mobilité des charges
L'étude de la cinétique du déclin du potentiel de surface V(t) est un outil puissant pour
l’investigation des procédés de transport de porteurs de charges. Cette méthode permet une
détermination convenable de la mobilité de porteurs de charges et des paramètres de piège
[16,17]. L’augmentation de la conductivité du film de polyimide avec l'humidité relative peut
être expliquée par l'augmentation de la mobilité de porteurs libres. L’évolution de la mobilité
des charges libres avec le taux d’humidité relative pour différentes tension de grille est
représentée sur la figure IV.8. Les résultats montrent que la mobilité augmente avec
l’augmentation du taux de RH Pour les faibles tensions de grille, la mobilité augmente
légèrement avec le taux de RH, la valeur de cette dernière passe de 6.10 -15 m 2 /vs à 7.5.10 -15 m 2 /vs
lorsque le taux de RH augmente de 30 % à 80 %. Cette faible augmentation est due au faible
taux de dissociation de la molécule d’eau dû à la faible valeur du champ électrique local. Par
conséquent, la concentration de proton H + issue de la dissociation de l’eau est faible, ce qui
entraîne une faible valeur de la mobilité. Cependant, pour les tensions de grille élevées,
l’augmentation de la valeur de la mobilité avec le taux de RH est plus prononcée, la valeur de
cette dernière passe de 7.5.10 -15 m 2 /vs à 20.10 -15 m 2 /vs lorsque le taux de RH augmente de
66
8
8.5
13
20