REPUBLIQUE ALGERIENNE DEMOCRATIQUE ET POPULAIRE
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Chapitre IV Modélisation de la décharge électrostatique dans un film de polyimide<br />
∂E(<br />
x,<br />
t)<br />
∂ρF<br />
( x,<br />
t)<br />
J ( t)<br />
= µ . ρ F ( x,<br />
t).<br />
E(<br />
x,<br />
t)<br />
+ ε 0ε<br />
r.<br />
− D.<br />
.......... (IV-01)<br />
∂t<br />
∂x<br />
L’expression de la densité du courant est composée de trois termes représentant<br />
respectivement:<br />
La densité du courant de conduction<br />
La densité du courant de déplacement<br />
La densité du courant de diffusion<br />
Au l’instant t après la fin de décharge, ρ ( x,<br />
t)<br />
, ( x,<br />
t)<br />
F<br />
ρ et E ( x,<br />
t)<br />
représentent<br />
respectivement les densités de charges libres et piégées et le champ local à la profondeur x à<br />
l’instant t.<br />
En l’absence de diffusion Dans une configuration de circuit ouvert, le courant extérieur est<br />
nul et on a alors [07,08]:<br />
J(t)= ( t ) ⋅ μ ⋅ E ( x,<br />
t )<br />
( x,<br />
t )<br />
∂E<br />
ρ F x, + ε oε<br />
r ⋅ = 0 (IV-02)<br />
∂t<br />
L’équation de Poisson s’exprime comme :<br />
o<br />
r<br />
( x t)<br />
∂E(<br />
x,<br />
t)<br />
ρ F ( x,<br />
t)<br />
ρT<br />
,<br />
= +<br />
∂x<br />
ε ε ε ε<br />
o<br />
r<br />
T<br />
(IV-03)<br />
En plus de ces équations, pour des centres de piégeage situés à une force simple; il faut<br />
rajouter l'équation qui caractérise le phénomène de piégeage et de dépiégeage [07,08]:<br />
ρ ,<br />
F<br />
τ<br />
F<br />
∂ρ<br />
T ( x,<br />
t)<br />
ρ F ( x,<br />
t)<br />
ρ T ( x,<br />
t)<br />
= −<br />
∂t<br />
τ τ<br />
T<br />
( x t)<br />
représente le taux d'augmentation des charges ( x,<br />
t)<br />
[08].<br />
F<br />
53<br />
T<br />
(IV-04)<br />
ρ dû au piégeage des porteurs libres