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Chapitre IV : La projection par plasma inductif supersonique 213
kW, le gaz central plasma de 22 NL/min d'argon et 7NL/min d’hélium, le gaz de gainage
plasma de 70 NL/min d'oxygène
Les paramètres variables sont la position de l’injecteur, la nature du gaz de gainage
autour de la sonde d'injection via une sonde initiale de 2,75 mm de diamètre, la position
hypothétique du substrat.
Le débit du gaz de collimation est fixé à 5NL/min compte tenu des résultats obtenus
dans le paragraphe IV.2.2.2b).
Les paramètres variables sont présentés dans le Tableau IV-10
Tableau IV-10 : Paramètres variables du troisième plan d’expériences
Nature du gaz de
collimation dans la
sonde d’injection*
Distance de mesure
Position de la sonde
d’injection -20mm/milieu de la
spire
*variable catégorique.
-1 0 +1
Hélium 5NL/min aucun Argon 5NL/min
-250 mm -225 mm -200 mm
-10 mm/milieu de
la spire
Les paramètres « résultats » sont les mêmes que précédemment.
Les résultats et le plan statistique sont présentés dans le Tableau IV-11.
Milieu de la spire