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Chapitre III : La projection par plasma d’arc 173
A priori, dans les deux cas, le degré d’étalement à basse pression est meilleur que
celui obtenu à pression plus élevée. Cependant, en ce qui concerne les paramètres plasma
(58,8-46,2-15), la Figure III-34 et le Tableau III-22 montrent que le diamètre moyen et
l’épaisseur moyenne des lamelles sous pression réduite sont nettement inférieurs à ceux
obtenus à la pression atmosphérique. Ce qui induit qu’une partie des particules ne sont pas
collectées.
Tableau III-22 : Propriétés des particules à l’impact et des lamelles résultantes.
Ar en He en H2 Pression
(NL/min) (NL/min) (NL/min) (kPa)
Vitesse
(m/s)
Température Diamètre Epaisseur
(°C) (µm) (µm)
degré d'étalement
58,8 46,2 15 8 200+/-42,5 2400+/-400 61+/-13 1,3+/-0,15 3,1+/-0,2
58,8 46,2 15 100 350+/-46,5 3155+/-80 78+/-12 2,6+/-0,45 2,7+/-0,25
40 0 6 8 165+/-35 2330+/-300 58+/-8,5 1,7+/-0,15 2,8+/-0,15
40 0 6 20 145+/-40 2585+/-245 49+/-6,5 1,75+/-0,3 2,7+/-0,22
Une explication possible à ce phénomène peut être donnée en observant la forme
générale des lamelles obtenues sous pression réduite.
La Figure III-34 montre en effet (b) que les lamelles élaborées à une pression de 8 kPa
ont une forme relativement déchiquetée avec de nombreux « doigts » d’écoulement et des
éclaboussures tout autour. Par ailleurs, celles-ci semblent présenter un centre sans matière ce
qui correspondrait à un centre de particule infondu éjecté lors le la manipulation des
plaquettes. Ceci expliquerait la faible épaisseur de lamelle conjuguée à un faible diamètre en
plus du possible rebond des grosses particules insuffisamment fondues.
Cet aspect est tout a fait envisageable car la température moyenne des particules à
l’impact est nettement inférieure à la température de fusion et montre qu’une vitesse d’impact
élevée des particules conjuguée à un préchauffage du substrat n’est pas suffisante à
l’obtention d’un bon étalement des particules.