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Chapitre II : Dispositifs expérimentaux et Méthodologie 95
Afin de déterminer le profil des lamelles étalées ainsi que leur forme générale en 3
dimensions, un appareil de mesure sans contact l’AltiSurf®500 développé par COTEC a été
utilisé. Cet appareil de mesure permet l’acquisition sans contact de la topographie des
surfaces avec les caractéristiques suivantes :
• Spot d’analyse de moins de 100 micronmètres de diamètre.
• Résolution verticale de 3 nm.
La station AltiSurf®500 est composée d’un capteur optique, d’une station de pilotage
d’axes, de tables de déplacement et d’un logiciel d’étude microtopographique basé sur la
technologie Mountains®.
La Figure II-19 est une représentation en 3 D de synthèse de particules étalées sur un
substrat plat. La Figure II-20 représente le profil d’une lamelle et permet de déterminer son
épaisseur.
Figure II-19 : Type de représentation de lamelles en 3 dimensions obtenue.